激光退火设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种激光退火设备。


背景技术：

2.半导体芯片制造工艺中，如salicide工艺中，需要对沉积有金属层的晶圆进行退火处理，以使金属层与晶圆反应生成金属硅化物。激光退火因其瞬时温度高、作用时间短、热预算低等优势而广泛用于半导体芯片的退火工艺；由于激光退火设备运行时需要外部电源为其供电、冷却水对其进行冷却处理、惰性气体的输送以对工艺腔室等制造惰性氛围以及工艺腔室的抽真空等，因此激光退火设备的线路及输排管与工厂的电源端及水接口、气源口等的连接较为繁琐，相应地，激光退火设备的线路及输排管的连接、检修均较为繁琐，操作人员劳动量较大。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的包括提供一种激光退火设备，以解决现有激光退火设备的线路及输排管的连接、检修均较为繁琐，操作人员劳动量较大的技术问题。
4.为解决上述问题，本实用新型提供一种激光退火设备，包括激光退火装置、电控柜和水气柜，所述电控柜与所述激光退火装置电连接，所述水气柜用于向所述激光退火装置输排液及输排气；所述激光退火装置包括激光退火组件和位于所述激光退火组件前端区域的前端输送组件，所述电控柜和所述水气柜均位于所述激光退火组件的后端区域，且所述电控柜和所述水气柜沿所述激光退火组件的左右方向排布。
5.可选地，所述前端输送组件包括装载室和位于所述装载室后端区域的输送室，所述输送室、所述激光退火组件、所述电控柜和所述水气柜形成的整体轮廓为矩形体。
6.可选地，所述电控柜的控制面板位于所述电控柜的电控后柜板，所述水气柜的水气观察窗位于所述水气柜的水气后柜板。
7.可选地，所述水气柜的水气后柜板和水气右柜板均为开关门。
8.可选地，所述电控柜和所述水气柜的底部均设有第一高度调节支脚，所述电控柜的底部设有过线孔，所述水气柜的底部设有过管孔。
9.可选地，所述激光退火组件的箱体设有退火观察窗；
10.和/或，所述激光退火设备还包括显示屏，所述激光退火组件内设有摄像头，所述摄像头与所述显示屏连接。
11.可选地，所述激光退火组件设有净化组件，所述净化组件用于对所述激光退火组件内部的环境进行净化处理。
12.可选地，所述激光退火组件的箱体包括底框、围设于所述底框周围的侧围板和封盖于所述侧围板顶部开口的顶板，所述底框的底部设有多个第二高度调节支脚；所述激光退火组件还包括位于所述箱体内的支架，所述支架安装于所述底框，且所述支架与所述底框之间形成维修口；所述激光退火组件的激光退火模块安装于所述支架。
13.可选地，所述第二高度调节支脚包括支撑脚和固接于所述支撑脚顶部的螺杆，所述螺杆螺纹连接于所述底框的底部，所述支撑脚的顶面固接有多个加强臂，多个所述加强臂沿所述螺杆的周向呈放射状排布，且多个所述加强臂均向外伸出所述支撑脚。
14.可选地，所述底框的底面设有多个限位板，所述限位板设有限位孔，多个所述限位板与多个所述第二高度调节支脚一一对应，所述第二高度调节支脚的螺杆活动插接于相对应的所述限位孔。
15.本实用新型提供的激光退火装置的电控柜和水气柜均位于激光退火设备的后端区域，激光退火装置相关的供电线路、冷却水管路、惰性气体输送管路、空气抽出管路等均集中延伸至整个激光退火设备的后端区域，一方面，操作人员可以在该后端区域对各线路和管路进行拆装操作，不仅提高激光退火装置与工厂的线路及管路的连接便捷性，还能够减少线路及管路杂乱延伸对激光退火设备周围操作空间造成的阻碍，相应提高激光退火设备的使用便捷性及安全性；另一方面，各线路和管路集中延伸至激光退火设备的后端区域，操作人员可以于该后端区域对各线路和管路的开关状态、运行状态等进行全面及时的查看，无需围绕激光退火设备对分散的线路和管路等进行单个查看，从而提高操作人员对激光退火设备相关参数的查看、检修和维护，提高对激光退火设备的监控，并相应降低操作人员的劳动量；再一方面，电控柜和水气柜的柜体能够对其内的线路和输排管等起到保护作用，以减少线路和输排管在移动或使用过程被碰撞损坏等情况的发生。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
17.图1为本实用新型提供的激光退火设备的第一视角示意图；
18.图2为本实用新型提供的激光退火设备的第二视角示意图；
19.图3为本实用新型提供的激光退火设备的第三视角示意图；
20.图4为图3中a的局部放大图；
21.图5为图3中b的局部放大图；
22.图6为本实用新型提供的激光退火设备的第四视角示意图。
23.附图标记说明：
24.100-电控柜；110-电控后柜板；120-控制面板；130-过线孔；200-水气柜；210-水气后柜板；220-水气右柜板；230-水气观察窗；240-过管孔；250-液体输排管；260-气体输排管；300-激光退火组件；310-箱体；311-底框；312-侧围板；312a-左侧围板；312b-右侧围板；313-顶板；314-限位板；320-退火观察窗；330-净化组件；340-第二高度调节支脚；341-支撑脚；342-螺杆；343-加强臂；350-支架；360-维修口；400-前端输送组件；410-装载室；420-输送室；421-输送右柜板；422-输送左柜板；423-输送前柜板；424-输送观察窗；500-第一高度调节支脚；600-万向轮；700-连接座。
具体实施方式
25.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
26.本实施例提供一种激光退火设备，如图1-图3所示，包括激光退火装置、电控柜100和水气柜200，所述电控柜100与激光退火装置电连接，水气柜200用于向激光退火装置输排液及输排气；激光退火装置包括激光退火组件300和位于激光退火组件300前端区域的前端输送组件400，电控柜100和水气柜200均位于激光退火组件300的后端区域，且电控柜100和水气柜200沿激光退火组件300的左右方向排布。
27.本实施例提供的激光退火设备，包括用于对晶圆等退火元件进行激光退火处理的激光退火装置，还包括用于向激光退火装置供电的电控柜100以及用于向激光退火装置输送冷却液、惰性气体等的水气柜200。
28.使用时，激光退火装置的前端输送组件400承载退火元件并将其输送至激光退火组件300的工艺腔室内，激光退火组件300能够对位于其工艺腔室内的退火元件进行激光退火处理。其中，前端输送组件400和激光退火组件300的供电线路可以延伸经过电控柜100后直接与工厂的电源端连接；或电控柜100设有电源接口，前端输送组件400和激光退火组件300的供电线路延伸与电控柜100的电源接口电连接，电控柜100的电源接口进而通过导线与工厂的电源端连接，电控柜100设置有能够控制、检测、查看各供电线路开关状态、供电状态的控制面板120，操作人员可以位于激光退火设备的后端区域对电控柜100相关线路进行连接、对激光退火装置进行电路控制操作及其运行状态的查看等。其中，前端输送组件400和激光退火组件300的冷却水管路、惰性气体输送管路、空气抽出管路等均延伸至水气柜200，并与水气柜200中相应的输排管连接，水气柜200中的输排管的接头进而与工厂的水接口、气源口等连接，则操作人员可以位于激光退火设备的后端区域对水气柜200相关管路进行连接、对激光退火装置进行水气控制操作及其运行状态的查看等。
29.则该激光退火装置的电控柜100和水气柜200均位于激光退火设备的后端区域，激光退火装置相关的供电线路、冷却水管路、惰性气体输送管路、空气抽出管路等均集中延伸至整个激光退火设备的后端区域，一方面，操作人员可以在该后端区域对各线路和管路进行拆装操作，不仅提高激光退火装置与工厂的线路及管路的连接便捷性，还能够减少线路及管路杂乱延伸对激光退火设备周围操作空间造成的阻碍，相应提高激光退火设备的使用便捷性及安全性；另一方面，各线路和管路集中延伸至激光退火设备的后端区域，操作人员可以于该后端区域对各线路和管路的开关状态、运行状态等进行全面及时的查看，无需围绕激光退火设备对分散的线路和管路等进行单个查看，从而提高操作人员对激光退火设备相关参数的查看、检修和维护，提高对激光退火设备的监控，并相应降低操作人员的劳动量；再一方面，电控柜100和水气柜200的柜体能够对其内的线路和输排管等起到保护作用，以减少线路和输排管在移动或使用过程被碰撞损坏等情况的发生。
30.具体地，激光退火组件300包括箱体310和位于箱体310内部的激光退火模块，激光退火模块可以包括用于容纳退火元件的工艺腔室、用于对工艺腔室内的退火元件进行激光退火的激光器和用于驱动激光器运动的运动模块，箱体310能够将激光退火模块整体容纳于其内，从而将激光退火模块和外部环境进行隔离，以减少激光外漏对操作人员造成的伤
害，以及外界因素等对高精度激光器等造成的碰撞损坏等，相应提高激光退火组件300的使用安全性，并确保其使用精度。较佳地，箱体310设有退火观察窗320，激光退火组件300运行时，操作人员可以通过退火观察窗320查看内部激光退火模块，以便于实时了解激光退火模块的运行状态；具体地，退火观察窗320可以选用激光防护玻璃制成。
31.除在箱体310设置退火观察窗320以观察激光退火模块的运行状态外，还可以在箱体310内设置摄像头，激光退火设备包括显示屏，摄像头与显示屏电连接。激光退火模块运行时，摄像头能够实时拍摄激光退火模块的运行状态，并将相应的视频通过显示屏显示，操作人员可以通过显示屏查看激光退火模块的运行状态。
32.本实施例中，激光退火组件300可以设有净化组件330，如图1和图2所示，净化组件330设置于箱体310的顶部，净化组件330用于对箱体310内部的环境进行净化处理。激光退火模块运行过程中，运动模块运行过程会摩擦产生颗粒，净化组件330能够对箱体310内部空间的环境进行净化处理，将其内的颗粒、粉尘等带走，从而确保箱体310内部空间的洁净环境，减少颗粒、粉尘等对激光器的运行以及对工艺腔室内退火反应造成的不良影响，相应确保激光退火组件300的退火精度。
33.具体地，本实施例中，如图2所示，前端输送组件400包括装载室410和位于装载室410后端区域的输送室420，输送室420、激光退火组件300、电控柜100和水气柜200形成的整体轮廓为矩形体。前端输送组件400装载室410的传送盒用于接收并容纳退火元件，输送室420内的机械手等用于将传送盒内的退火元件传送至激光退火模块的工艺腔室内；其中，输送室420、激光退火组件300、电控柜100和水气柜200四者形成宽度、高度近似一致的矩形体，从而提高激光退火设备的整体规则性，相应提高放置激光退火设备空间的整齐性。
34.可选地，输送室420的侧板包括输送前柜板423、输送后柜板、输送左柜板422和输送右柜板421，其中输送后柜板与箱体310的前端连接，输送前柜板423、输送左柜板422和输送右柜板421外露，且三者中的至少一者设有输送观察窗424，操作人员可以通过输送观察窗424查看输送室420内的输送状态。较佳地，输送前柜板423、输送左柜板422和输送右柜板421三者均可以设有输送观察窗424，如图1和图2所示，输送右柜板421上设有设置输送观察窗424；如图3所示，输送前柜板423上也设有输送观察窗424；如图6所示，输送左柜板422上也设有输送观察窗424，则输送室420外露的三侧柜板上均设有输送观察窗424，操作人员可以从各个角度对输送室420内的输送状态进行查看，从而提高输送室420的使用便捷性。其中，输送左柜板422和输送右柜板421可以设置为开关门形式，操作人员可以打开输送左柜板422或输送右柜板421对输送室420内的机械手等进行检修，从而提高输送室420的维护便捷性。
35.较佳地，电控柜100及水气柜200与激光退火组件300的箱体310之间可以设置有减振件，如橡胶垫等，以减少电控柜100和水气柜200振动对激光退火精度的影响。
36.可选地，本实施例中，如图1所示，电控柜100的控制面板120位于电控柜100的电控后柜板110，水气柜200的水气观察窗230位于水气柜200的水气后柜板210。操作人员可以通过控制面板120查看电控柜100内各供电线路的运行状态，相应知晓激光退火装置的运行状态；类似地，操作人员可以通过水气观察窗230查看其内各输排管的开关状态、流量状态、真空度等，相应知晓激光退火装置的冷却情况、惰性情况、真空情况等，从而全面了解激光退火装置的运行状态，便于对其的控制。其中，将电控柜100的控制面板120和水气柜200的水
气观察窗230均设置于相应柜体的后柜板，操作人员位于电控柜100和水气柜200的后端区域时，控制面板120和水气观察窗230同时位于操作人员的视觉范围，即操作人员无需移动即可通过控制面板120和水气观察窗230获取激光退火装置供电、冷却、气体状态等情况，从而进一步提高激光退火设备的使用便捷度。
37.具体地，本实施例中，如图1所示，水气柜200的水气后柜板210和水气右柜板220均为开关门。激光退火装置的冷却水、惰性气体、抽真空等管路均延伸至水气柜200内，且位于水气柜200内的管段上安装有流量计、真空计等检测表，操作人员可以根据需要检修的管段的位置，打开相近的水气后柜板210或水气右柜板220对其进行检修，从而提高对水气柜200内输排管的检修便捷度，并减少检修过程对其他管路造成的碰撞损坏。
38.本实施例中，如图3、图4和图6所示，电控柜100和水气柜200的底部均设有第一高度调节支脚500，电控柜100的底部设有过线孔130，水气柜200的底部设有过管孔240。激光退火装置的供电线路延伸至电控柜100后，可以向下经过线孔130穿出，并进而与工厂的电源端连接；或电源接口设置在电控柜100的底部，共线线路延伸至电控柜100后经过线孔130穿出并与电源接口连接，电源接口进而通过导线与工厂的电源端连接。激光退火装置的冷却水管路、惰性气体输送管路、空气抽出管路等均延伸至水气柜200，并与水气柜200中相应的输排管连接，输排管的接头可以经过管孔240向下伸出，进而与工厂的水接口、气源口等连接。使用时，可以调高第一高度调节支脚500，相应调高电控柜100及水气柜200底部与地基的间隙，以便于操作人员对线路及输排管等的连接操作；连接完成后，可以将第一高度调节支脚500调低至设定高度。当然，需要对线路及输排管进行拆卸、检修等操作时，也可以调高第一高度调节支脚500，通过电控柜100和水气柜200的底部间隙进行相应操作。
39.其中，将过线孔130和过管孔240分别设置在电控柜100和水气柜200的底部，在实现电控柜100内供电线路、水气柜200内输排管接头与工厂相应电源端、水接口、气源口等连接的基础上，能够有效减少供电线路及输排管接头自侧部伸出增大激光退火设备整体体积，并且容易绊倒操作人员等情况的发生。
40.具体地，如图4所示，水气柜200内的输排管可以包括液体输排管250和气体输排管260，其中，液体输排管250用于向激光退火装置输送冷却水，气体输排管260中的一路管路用于向激光退火装置输送惰性气体，另一路管路用于对激光退火装置的工艺腔室进行抽真空。
41.具体地，本实施例中，如图1-图3所示，激光退火组件300的箱体310可以包括底框311、围设于底框311周围的侧围板312和封盖于侧围板312顶部开口的顶板313，底框311的底部设有多个第二高度调节支脚340；如图6所示，激光退火组件300还包括位于箱体310内的支架350，支架350安装于底框311，且支架350与底框311之间形成维修口360；激光退火组件300的激光退火模块安装于支架350。箱体310呈盖状，其底部的底框311内部围成开口；由多根连接梁连接形成的支架350安装于箱体310内部，支架350的顶部形成工作台，激光退火模块的运动模块、激光器和工艺腔室等均设置于工作台，支架350的底端与底框311连接，支架350未封堵底框311且与底框311之间形成维修口360。使用时，可以调高第二高度调节支脚340，自底框311与地基之间的间隙，经维修口360对箱体310内部的供电线路、输排管等进行检修操作，从而提高激光退火设备的维护便捷性。检修操作完成后，可以将第二高度调节支脚340调节至设定高度，激光退火模块运行过程产生的热量能够经维修口360向外散出，
从而减少箱体310内部温度较高影响运动模块和激光器等运行精度情况的发生。
42.较佳地，箱体310侧围板312的左侧围板312a和右侧围板312b呈外露状态，可以将左侧围板312a和右侧围板312b设置为开关门形式，操作人员可以打开开关门对箱体310内部的激光退火模块进行检修，以进一步提高激光退火设备的维护便捷性。进一步地，可以在左侧围板312a和右侧围板312b设置安全门锁，当激光退火模块处于运行状态时，安全门锁处于锁定状态，以减少操作人员等误操作打开箱体310造成激光外漏情况的发生。此外，退火观察窗320可以在左侧围板312a或右侧围板312b上。
43.可选地，本实施例中，如图5所示，第二高度调节支脚340包括支撑脚341和固接于支撑脚341顶部的螺杆342，螺杆342螺纹连接于底框311的底部，支撑脚341的顶面固接有多个加强臂343，多个加强臂343沿螺杆342的周向呈放射状排布，且多个加强臂343均向外伸出支撑脚341。这里是第二高度调节支脚340的一种具体形式，其中，支撑脚341用于与地基抵接形成支撑；螺杆342连接于底框311与支撑脚341之间，用于调节支撑高度；加强臂343呈放射状围设于螺杆342周围，用于提高支撑脚341的强度以及支撑脚341与螺杆342连接的稳定性的同时，加强臂343向外伸出支撑脚341的部分还可以作为把手，使用时，操作人员可以通过对加强臂343伸出的部分施力，从而旋转螺杆342，调节第二高度调节支脚340的支撑高度，进而提高第二高度调节支脚340的调节便捷性。
44.具体地，本实施例中，如图3和图5所示，底框311的底面设有多个限位板314，限位板314设有限位孔，多个限位板314与多个第二高度调节支脚340一一对应，第二高度调节支脚340的螺杆342活动插接于相对应的限位孔。螺杆342背离支撑脚341的一端螺纹连接于底框311，螺杆342位于底框311和支撑脚341之间的杆段则穿过限位板314的限位孔，通过加强臂343旋转螺杆342对其支撑长度进行调节的过程中，螺杆342相对限位孔进行周向转动以及轴向运动，限位孔能够对螺杆342的运动位置进行限定导向，从而提高螺杆342及第二高度调节支脚340对箱体310的支撑稳定性，减少螺杆342偏移等影响支撑脚341与地基贴合度，进而影响箱体310稳定性情况的发生。
45.可选地，本实施例中，如图1、图2和图6所示，可以在电控柜100、水气柜200、箱体310、输送室420的底部设置万向轮600，需要对其进行移动时，可以调节其底部的第一高度调节支脚500和第二高度调节支脚340使其支撑高度小于万向轮600的支撑高度，则万向轮600对激光退火设备进行支撑，万向轮600能够随着激光退火设备的受力而转动，从而实现对激光退火设备的位置移动。当激光退火设备的位置确定后，可以调高第一高度调节支脚500和第二高度调节支脚340的高度，使其支撑高度大于万向轮600的支撑高度，则万向轮600悬空，第一高度调节支脚500和第二高度调节支脚340对激光退火设备进行支撑固定。
46.较佳地，本实施例中，如图3和图4所示，电控柜100、水气柜200、箱体310和输送室420的底部均设有连接座700，当上述柜体等的位置及高度确定后，可以使用地脚螺栓等将连接座700连接于地基，以对激光退火设备进行固定，从而提高激光退火设备运行过程中的稳定性，减少激光退火设备移动等情况的发生。
47.具体地，可以在电控柜100、水气柜200、箱体310、输送室420和装载室410的外壁设置急停按钮，激光退火设备运行过程中，当操作人员发现运行异常时，可以通过距离最近的急停按钮断掉设备电源，以减少设备的损坏以及设备异常运行对操作人员造成的伤害，相应提高激光退火设备的使用安全性。
48.最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
49.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

技术特征：
1.一种激光退火设备，其特征在于，包括激光退火装置、电控柜(100)和水气柜(200)，所述电控柜(100)与所述激光退火装置电连接，所述水气柜(200)用于向所述激光退火装置输排液及输排气；所述激光退火装置包括激光退火组件(300)和位于所述激光退火组件(300)前端区域的前端输送组件(400)，所述电控柜(100)和所述水气柜(200)均位于所述激光退火组件(300)的后端区域，且所述电控柜(100)和所述水气柜(200)沿所述激光退火组件(300)的左右方向排布。2.根据权利要求1所述的激光退火设备，其特征在于，所述前端输送组件(400)包括装载室(410)和位于所述装载室(410)后端区域的输送室(420)，所述输送室(420)、所述激光退火组件(300)、所述电控柜(100)和所述水气柜(200)形成的整体轮廓为矩形体。3.根据权利要求1或2所述的激光退火设备，其特征在于，所述电控柜(100)的控制面板(120)位于所述电控柜(100)的电控后柜板(110)，所述水气柜(200)的水气观察窗(230)位于所述水气柜(200)的水气后柜板(210)。4.根据权利要求1或2所述的激光退火设备，其特征在于，所述水气柜(200)的水气后柜板(210)和水气右柜板(220)均为开关门。5.根据权利要求1或2所述的激光退火设备，其特征在于，所述电控柜(100)和所述水气柜(200)的底部均设有第一高度调节支脚(500)，所述电控柜(100)的底部设有过线孔(130)，所述水气柜(200)的底部设有过管孔(240)。6.根据权利要求1或2所述的激光退火设备，其特征在于，所述激光退火组件(300)的箱体(310)设有退火观察窗(320)；和/或，所述激光退火设备还包括显示屏，所述激光退火组件(300)内设有摄像头，所述摄像头与所述显示屏连接。7.根据权利要求1或2所述的激光退火设备，其特征在于，所述激光退火组件(300)设有净化组件(330)，所述净化组件(330)用于对所述激光退火组件(300)内部的环境进行净化处理。8.根据权利要求1或2所述的激光退火设备，其特征在于，所述激光退火组件(300)的箱体(310)包括底框(311)、围设于所述底框(311)周围的侧围板(312)和封盖于所述侧围板(312)顶部开口的顶板(313)，所述底框(311)的底部设有多个第二高度调节支脚(340)；所述激光退火组件(300)还包括位于所述箱体(310)内的支架(350)，所述支架(350)安装于所述底框(311)，且所述支架(350)与所述底框(311)之间形成维修口(360)；所述激光退火组件(300)的激光退火模块安装于所述支架(350)。9.根据权利要求8所述的激光退火设备，其特征在于，所述第二高度调节支脚(340)包括支撑脚(341)和固接于所述支撑脚(341)顶部的螺杆(342)，所述螺杆(342)螺纹连接于所述底框(311)的底部，所述支撑脚(341)的顶面固接有多个加强臂(343)，多个所述加强臂(343)沿所述螺杆(342)的周向呈放射状排布，且多个所述加强臂(343)均向外伸出所述支撑脚(341)。10.根据权利要求9所述的激光退火设备，其特征在于，所述底框(311)的底面设有多个限位板(314)，所述限位板(314)设有限位孔，多个所述限位板(314)与多个所述第二高度调节支脚(340)一一对应，所述第二高度调节支脚(340)的螺杆(342)活动插接于相对应的所述限位孔。

技术总结
本实用新型提供一种激光退火设备，涉及半导体技术领域。该激光退火设备包括激光退火装置、电控柜和水气柜，电控柜与激光退火装置电连接，水气柜用于向激光退火装置输排液及输排气；激光退火装置包括激光退火组件和位于激光退火组件前端区域的前端输送组件，电控柜和水气柜均位于激光退火组件的后端区域，且电控柜和水气柜沿激光退火组件的左右方向排布。该激光退火设备的供电线路和输排管均集中至其后端区域，操作人员可以于后端区域对供电线路和输排管进行连接、拆卸、检修等操作，操作便捷度高，耗费劳动量少。耗费劳动量少。耗费劳动量少。


技术研发人员：王建 郭浩
受保护的技术使用者：北京华卓精科科技股份有限公司
技术研发日：2021.09.22
技术公布日：2022/5/25