显示基板的缺陷检查方法与流程

1.本发明涉及一种显示基板的缺陷检查方法，更详细而言，涉及一种利用光学检查设备的显示基板的缺陷检查方法。


背景技术：

2.根据市场需求，已经向高分辨率的方向不断开发了诸如有机发光显示装置和液晶显示装置之类的显示装置。在该过程中，为了实现相同的空间内的高分辨率，向工艺的临界尺寸(cd：critical dimension)和子像素的尺寸逐渐减小的方向进行开发，这将导致电路的复杂度增加的结果。
3.但是，分辨率的增加成为导致相同面积内布线的集成度上升、不良的微细化的直接因素。因此，导致绝对不良数量的增加，由此需要修复处理的不良数量增加。
4.但是，由于在生产线的生产效率方面工序的节拍时间(tact time)和设备的电容有限，因此，将面临无法对所有不良进行修复处理的情况。结果，为了最大化生产效率和良率增益，需要一种能够优先修复处理表现为致命(killing)不良的可能性较高的不良的方法。
5.目前为止，利用光学检查来检测出不良并根据不良的大小或不良的类型来设定修复的优先顺序来处理修复，但是这种方式存在局限性，因此可能需要在电路内以损坏率(kill-ratio)较高的位置为目标来选择性地强化检查并处理修复的方案。


技术实现要素：

6.因此，本发明的技术问题着眼于这些方面，本发明的目的在于提供一种能够以线跟踪信息为基础来获取显示基板的构成要素的边界位置的显示基板的缺陷检查方法。
7.用于实现上述的本发明的目的的根据一实施例的一种显示基板的缺陷检查方法包括如下步骤：拍摄显示基板的图像；提取所述图像的x轴分布；提取所述图像的y轴分布；以所述x轴分布及所述y轴分布为基础来生成线跟踪信息；以所述线跟踪信息为基础来获取所述显示基板的构成要素的边界位置；以所述边界位置为基础来将预先设定的感兴趣区域和所述图像的实际感兴趣区域进行匹配；以及检查匹配的所述实际感兴趣区域的缺陷。
8.在本发明的一实施例中，所述x轴分布可以通过累积对于y轴方向上的n个相机像素组的亮度而生成。
9.在本发明的一实施例中，所述n个相机像素组可以对应于所述显示基板的子像素的第一边的长度。
10.在本发明的一实施例中，所述y轴分布可以通过累积对于x轴方向上的m个相机像素组的亮度而生成。
11.在本发明的一实施例中，所述m个相机像素组可以对应于所述显示基板的子像素的第二边的长度。
12.在本发明的一实施例中，所述显示基板的缺陷检查方法还可以在提取所述x轴分
布的步骤之前包括如下步骤：在所述图像的基准位置判断所述图像的倾斜(tilting)。
13.在本发明的一实施例中，检查所述实际感兴趣区域的缺陷的步骤可以包括如下步骤：生成所述实际感兴趣区域和与所述实际感兴趣区域相邻的相邻感兴趣区域的差异图像。
14.在本发明的一实施例中，生成所述差异图像的步骤可以包括如下步骤：生成所述实际感兴趣区域和与所述实际感兴趣区域在上侧、下侧、右侧和左侧方向上相邻的4个相邻感兴趣区域的差异图像。
15.在本发明的一实施例中，所述显示基板的缺陷检查方法还可以在检查所述实际感兴趣区域的缺陷的步骤之后包括如下步骤：验证所述缺陷的准确位置。
16.在本发明的一实施例中，验证所述缺陷的准确位置的步骤可以包括如下步骤：存储所述缺陷的缺陷位置；以及过滤所述缺陷位置的准确度。
17.在本发明的一实施例中，过滤所述缺陷位置的准确度的步骤可以包括如下步骤：比较所述缺陷位置和与所述缺陷位置相邻的相邻感兴趣区域。
18.在本发明的一实施例中，验证所述缺陷的准确位置的步骤还可以包括如下步骤：以所述缺陷位置和所述相邻感兴趣区域的比较结果为基础来移动所述缺陷位置；以及在移动的所述缺陷位置再次判断是否存在缺陷。
19.用于实现上述的本发明的目的的根据一实施例的一种显示基板的缺陷检查方法包括如下步骤：以高分辨率拍摄显示基板的彩色图像；从所述彩色图像获得感兴趣区域的信息；将所述彩色图像转换为第一黑白图像；通过补偿所述彩色图像及所述第一黑白图像的亮度偏差来生成第二黑白图像；通过对所述第二黑白图像的边界进行一次模糊来生成第三黑白图像；通过对所述第三黑白图像的边界进行二次模糊来生成第四黑白图像；以及通过所述第四黑白图像的尺寸进行尺寸调整来生成第五黑白图像。
20.在本发明的一实施例中，所述彩色图像包括红色值、绿色值及蓝色值，所述第一黑白图像具有第一黑白亮度值，当所述红色值为r、所述绿色值为g、所述蓝色值为b、所述第一黑白亮度值为gr、第一转换常数为a、第二转换常数为b、第三转换常数为c时，可以是gr＝r*a g*b b*c。
21.在本发明的一实施例中，生成所述第二黑白图像的步骤可以利用亮度降低滤波器来降低所述第一黑白图像的亮度。
22.在本发明的一实施例中，生成所述第三黑白图像的步骤可以利用边界模糊滤波器来对所述第二黑白图像的边界进行模糊。
23.在本发明的一实施例中，所述边界模糊滤波器可以是高斯滤波器、平均值滤波器及中值滤波器中的任意一个。
24.在本发明的一实施例中，生成所述第四黑白图像的步骤可以将区域(area)相机的图像特性改变为时间延迟积分(tdi：time delay integration)相机的图像特性。
25.在本发明的一实施例中，所述显示基板的缺陷检查方法还可以包括如下步骤：以低分辨率拍摄所述显示基板的图像；以及利用所述第五黑白图像和与所述第五黑白图像对应的所述感兴趣区域而在以所述低分辨率拍摄的图像中标记新的感兴趣区域。
26.根据如上所述的显示基板的缺陷检查方法，能够通过利用位置搜索技术、复合验证的缺陷检查技术及利用多层图像处理的一致性最大化技术等的补偿技术，来对在光学检
查设备中因多样的物理误差及限制而发生的问题进行选择性缺陷检查。
27.例如，可以增加由显示为比周围区域相对较亮的亮点缺陷引起的不良的检测，可以增加由显示为比周围区域相对较暗的暗点缺陷引起的不良的检测，可以发现尽管不是实际不良但被认为是不良的假性缺陷，并且可以按缺陷类型进行详细监视及管理。
28.并且，可以通过经选择性缺陷检查的选择性检阅来获得缩短节拍时间(tact time)的效果。
附图说明
29.图1是示出根据本发明的一实施例的显示基板的缺陷检查系统的示意图。
30.图2是示出利用图1的显示基板的缺陷检查系统的显示基板的缺陷检查方法的示意图。
31.图3是示出图2的显示基板的缺陷检查方法的流程图。
32.图4是示出根据比较例的显示基板的缺陷检查方法的图。
33.图5至图8是示出图2的显示基板的缺陷检查方法的图。
34.图9是示出根据本发明的一实施例的显示基板的缺陷检查方法的流程图。
35.图10至图15是示出图9的显示基板的缺陷检查方法的图。
36.附图标记说明：
37.st：显示基板
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cm1、cm2、cm3、cm4：拍摄装置
具体实施方式
38.以下，参照附图来更加详细说明本发明。
39.图1是示出根据本发明的一实施例的显示基板的缺陷检查系统的示意图。
40.参照图1，所述显示基板的缺陷检查系统包括显示基板st及拍摄所述显示基板st的拍摄装置cm1、cm2、cm3、cm4。
41.所述显示基板st可以在所述拍摄装置cm1、cm2、cm3、cm4的下方沿特定方向移动，所述拍摄装置cm1、cm2、cm3、cm4可以拍摄所述显示基板st的区域。
42.所述显示基板的缺陷检查系统可以包括以所述拍摄到的显示基板的图像为基础来判断显示基板是否存在缺陷的软件。与此不同地，也可以用肉眼检查所述拍摄到的显示基板的图像来判断所述显示基板是否存在缺陷。
43.图2是示出利用图1的显示基板的缺陷检查系统的显示基板的缺陷检查方法的示意图。图3是示出图2的显示基板的缺陷检查方法的流程图。
44.参照图1至图3，所述显示基板st的缺陷检查方法可以包括线跟踪步骤及双重检查步骤。
45.所述线跟踪步骤可以包括如下步骤：以所述显示基板st的图像为基础搜索图像位置；以及以所述搜索到的图像位置为基础对特定感兴趣区域选择性地执行缺陷检查。
46.所述双重检查步骤可以存储在所述线跟踪步骤中检测出的不良位置，对所述不良位置执行准确位置验证(例如，裁剪模板匹配(crop template matching))，在所述准确位置再次执行缺陷检查。
47.在所述显示基板st的缺陷检查方法中，首先，拍摄所述显示基板st的图像(步骤
s10)。所述显示基板st的图像可以借由图1的拍摄装置cm1、cm2、cm3、cm4而拍摄。
48.当拍摄到所述图像时，可以从所述图像中提取x轴分布(步骤s20)。并且，可以从所述图像中提取y轴分布(步骤s30)。
49.可以以所述x轴分布及所述y轴分布为基础生成线跟踪信息(步骤s40)。例如，所述线跟踪信息可以表示所述图像内的亮度分布信息。
50.可以以所述线跟踪信息为基础来获取所述显示基板st的构成要素的边界位置(步骤s50)。例如，可以通过所述线跟踪信息来确认所述显示基板st内的子像素的所有坐标信息。例如，可以通过所述线跟踪信息来确认所述显示基板st内的栅极线的所有边界、数据线的所有边界等。例如，可以通过所述线跟踪信息来确认所述显示基板st内的子像素内的晶体管的所有位置。
51.可以以所述边界位置为基础来将预先设定的感兴趣区域与所述图像的实际感兴趣区域进行匹配(步骤s60)。所述预先设定的感兴趣区域表示发生致命(killing)缺陷的可能性较高的区域，可以借由检查员而被预先设定。
52.因此，可以对匹配的所述实际感兴趣区域选择性地执行缺陷检查(步骤s70)。
53.图4是示出根据比较例的显示基板的缺陷检查方法的图。
54.参照图4，在现有的方式中，如浅绿色框那样预先设定参考位置信息，并将所述拍摄到的图像与预先设定的参考位置进行彼此比较，从而可以执行所述缺陷检查。
55.例如，在图4中，所述参考位置的浅绿色框可以表示一个子像素。在图4中，左侧最上端的第一子像素、向右侧移动4格的第五子像素、向右侧移动4格的第九子像素、向右侧移动4格的第十三子像素、向右侧移动4格的第十七子像素、向右侧移动4格的第二十一子像素、向右侧移动4格的第二十五子像素、向右侧移动4格的第二十九子像素等被表示为参考位置。在对整个区域来比较参考图像和拍摄图像的情况下，由于负载增加较大且节拍时间(tact time)增加较大，因此，为了仅对特定的参考位置进行比较，可以设定所述参考位置。
56.在现有的方式中，将预先设定的参考位置与拍摄的图像的参考位置进行比较时，可以确认发生因设备的物理性误差导致的误差，诸如，如图4所示，可能在右侧及下侧分别发生 3相机像素( 3px)的误差，或者可能在右侧及下侧分别发生-2相机像素(-2px)的误差等。
57.相反，在本实施例的方式中，不需要单独设定参考位置，可以以x轴分布和y轴分布为基础生成针对显示基板st的整个区域的线跟踪信息。
58.图5至图8是示出图2的显示基板st的缺陷检查方法的图。
59.以下，参照图1至图8对显示基板st的缺陷检查方法进行具体说明。
60.参照图5，可以提取所述图像的x轴分布。在图5中，横轴可以表示所述显示基板内的x轴位置，纵轴可以表示在x轴位置处的亮度。图5的曲线图表现出的周期性可能起因于所述显示基板st的子像素及构成要素。所述x轴分布可以通过累积对于y轴方向上的n个相机像素组的亮度而生成。所述n个相机像素组可以对应于所述显示基板st的子像素的第一边的长度。
61.参照图6，可以提取所述图像的y轴分布。在图6中，横轴可以表示所述显示基板内的y轴位置，纵轴可以表示在y轴位置处的亮度。图6的曲线图表现出的周期性可能起因于所述显示基板st的子像素及构成要素。所述y轴分布可以通过累积对于x轴方向上的m个相机
像素组的亮度而生成。所述m个相机像素组可以对应于所述显示基板st的子像素的第二边的长度。
62.例如，若所述子像素在x轴上较短且在y轴上较长，则n可以大于m。相反，若所述子像素在x轴上较长且在y轴上较短，则m可以大于n。
63.在提取所述x轴分布的步骤之前，还可以包括如下步骤：在所述图像的基准位置判断所述图像的倾斜(tilting)。根据所述图像的倾斜(tilting)，可以将所述x轴的方向及所述y轴的方向设定为与所述图像的边缘倾斜，在所述x轴的方向及所述y轴的方向预先倾斜的情况下，可以在所述x轴分布及所述y轴分布的曲线图内准确地设定轴方向。
64.与此不同地，在提取所述x轴分布的步骤之前，可以省略在所述图像的基准位置判断所述图像的倾斜(tilting)的步骤。即使不考虑所述图像的倾斜(tilting)，也可以通过所述x轴分布及所述y轴分布的曲线图来获取所述线跟踪信息。
65.检查所述实际感兴趣区域的缺陷的步骤可以包括如下步骤：生成所述实际感兴趣区域和与所述实际感兴趣区域相邻的相邻感兴趣区域之间的差异图像。例如，若所述实际感兴趣区域和相邻的相邻感兴趣区域之间的差异为0，则可以认为所述实际感兴趣区域和所述相邻感兴趣区域一致，而若所述实际感兴趣区域和相邻的相邻感兴趣区域之间的差异不为0，则可以认为所述实际感兴趣区域和所述相邻感兴趣区域不一致。并且，若所述实际感兴趣区域和相邻的相邻感兴趣区域之间的差异较大，则可以认为所述实际感兴趣区域和所述相邻感兴趣区域在较大程度上不一致。
66.例如，检查所述实际感兴趣区域的缺陷的步骤可以包括如下步骤：生成所述实际感兴趣区域和与实际感兴趣区域在上侧、下侧、右侧和左侧方向上相邻的4个相邻感兴趣区域的差异图像。
67.并且，在检查所述实际感兴趣区域的缺陷的步骤中，在所述实际感兴趣区域和与所述实际感兴趣区域在上侧、下侧、右侧和左侧方向上相邻的4个相邻感兴趣区域的差异分图像中的p个差异图像不为0的情况下，可以判断为存在所述缺陷。p可以是1至4。
68.在本实施例中，可以在检查所述实际感兴趣区域的缺陷的步骤之后获取检测出缺陷的区域(步骤s80)。并且，在判断缺陷位置之后，还可以包括如下步骤：验证所述缺陷的准确位置(步骤s90)。
69.验证所述缺陷的准确位置的步骤(步骤s90)可以包括如下步骤：存储所述缺陷的缺陷位置以及过滤所述缺陷位置的准确度。例如，若在所述选择性缺陷检查进行步骤(步骤s70)中判断了q个缺陷位置，则在经过验证所述缺陷的准确位置的步骤之后，可以将小于q个的r个缺陷位置最终被判定为缺陷位置。
70.作为所述线跟踪的结果，一个相机像素内的整齐排列可能被扭曲，因此，在验证所述缺陷的准确位置的步骤(步骤s90)中，可以提高缺陷位置的准确度，并且可以在提高所述缺陷位置的准确度之后再次执行精确的缺陷判断，从而提高所述缺陷判断的准确度。
71.在过滤所述缺陷位置的准确度的步骤中，可以再次执行对所述缺陷位置和与所述缺陷位置相邻的相邻感兴趣区域进行比较的步骤。验证所述缺陷的准确位置的步骤(步骤s90)可以包括如下步骤：以所述缺陷位置和所述相邻感兴趣区域的比较结果为基础来移动所述缺陷位置以及在移动的所述缺陷位置再次判断是否存在缺陷。
72.图7示出了借由线跟踪而确认所有所述子像素的位置。示出了即使在这种情况下
也可能在一个相机像素(例如， 1px)内整齐排列被扭曲。
73.图8示出了获取检测出缺陷的区域的步骤及验证所述缺陷的准确位置的步骤(步骤s90)。
74.图9是示出根据本发明的一实施例的显示基板st的缺陷检查方法的流程图。图10至图15是示出图9的显示基板st的缺陷检查方法的图。
75.参照图9至图15，在本实施例的显示基板st的缺陷检查方法中，以高分辨率对显示基板st进行彩色拍摄，在高分辨率彩色图像上标记感兴趣区域之后，将标记感兴趣区域的彩色图像转换为黑白图像，从而确保黑白的低分辨率参考图像。
76.若以高分辨率彩色图像执行不良检查，则准确度较高，但由于需要很长的时间，因此实质上无法将高分辨率彩色图像利用于不良检查。
77.然而，在利用低分辨率黑白图像执行不良检查时，存在难以准确地标记感兴趣区域的问题。因此，在从高分辨率彩色图像准确地获取感兴趣区域的信息之后，将该高分辨率彩色图像转换为低分辨率来获取包括准确的感兴趣区域的信息的低分辨率黑白图像。
78.本实施例的显示基板st的缺陷检查方法包括如下步骤：以高分辨率拍摄显示基板st的彩色图像(步骤s110)；从所述彩色图像(例如，rgb图像)获得感兴趣区域的信息；将所述彩色图像转换为第一黑白图像(例如，灰度图像)(步骤s120)；通过补偿所述彩色图像及所述第一黑白图像的亮度偏差来生成第二黑白图像(步骤s130)；通过对所述第二黑白图像的边界进行一次模糊来生成第三黑白图像(步骤s140)；通过对所述第三黑白图像的边界进行二次模糊来生成第四黑白图像(步骤s150)；以及通过对所述第四黑白图像的尺寸进行尺寸调整来生成第五黑白图像(步骤s160)。
79.图10示出所述显示基板st的彩色图像。图11示出所述显示基板st的所述第一黑白图像。图12示出所述显示基板st的所述第二黑白图像。图13示出所述显示基板st的所述第三黑白图像。图14示出所述显示基板st的所述第四黑白图像。图15示出所述显示基板st的所述第五黑白图像。
80.在步骤s120中，在将所述彩色图像转换为第一黑白图像时可以利用如下的数学式。所述彩色图像包括红色值、绿色值及蓝色值，所述第一黑白图像具有第一黑白亮度值，当所述红色值为r、所述绿色值为g、所述蓝色值为b、所述第一黑白亮度值为gr、第一转换常数为a、第二转换常数为b、第三转换常数为c时，gr＝r*a g*b b*c。
81.生成所述第二黑白图像的步骤(s130)可以利用亮度降低滤波器来降低所述第一黑白图像的亮度。例如，所述亮度降低滤波器可以是平均滤波器。例如，所述亮度降低滤波器中，可以将平均滤波器乘以用于降低亮度的亮度降低增益。
82.生成所述第三黑白图像的步骤(s140)可以利用边界模糊滤波器来对所述第二黑白图像的边界进行模糊。生成所述第三黑白图像的步骤可以执行高斯模糊。
83.例如，所述边界模糊滤波器可以是高斯滤波器。例如，所述边界模糊滤波器可以是平均值滤波器及中值滤波器中的任意一个。在本实施例中，举例示出了高斯滤波器、平均值滤波器及中值滤波器作为所述边界模糊滤波器，但是所述边界模糊滤波器并不限于此。
84.例如，在生成所述第四黑白图像的步骤(s150)中，可以将区域(area)相机的图像特性改变为时间延迟积分(tdi：time delay integration)相机的图像特性。在步骤s110中，可以利用高分辨率区域(area)相机，并可以利用低分辨率tdi相机来拍摄用于检查的图
像。因此，可以在步骤s150中将利用高分辨率区域(area)相机拍摄的所述彩色图像转换成符合低分辨率tdi相机的特性。
85.本实施例的显示基板st的缺陷检查方法还可以包括如下步骤：以低分辨率拍摄所述显示基板st的图像；以及利用所述第五黑白图像和与所述第五黑白图像对应的所述感兴趣区域而在以低分辨率拍摄的所述图像中标记新的感兴趣区域。
86.标记有所述新的感兴趣区域的低分辨率拍摄图像可以利用于图3的实施例的步骤s60。
87.如图3所述，在本实施例中，也可以以所述边界位置为基础来将预先设定的感兴趣区域与所述图像的实际感兴趣区域进行匹配(步骤s60)。因此，可以对匹配的所述实际感兴趣区域选择性地执行缺陷检查(步骤s70)。并且，在检查所述实际感兴趣区域的缺陷的步骤之后，可以获取检测出缺陷的区域(步骤s80)。并且，在判断缺陷位置之后，可以执行验证所述缺陷的准确位置的步骤(步骤s90)。
88.根据本实施例，能够通过利用位置搜索技术、复合验证的缺陷检查技术及利用多层图像处理的一致性最大化技术等的补偿技术，来对在光学检查设备中因多样的物理误差及限制而发生的问题进行选择性缺陷检查。
89.例如，可以增加由显示为比周围区域相对较亮的亮点缺陷引起的不良的检测，可以增加由显示为比周围区域相对较暗的暗点缺陷引起的不良的检测，可以发现尽管不是实际不良但被认为是不良的假性缺陷，并且可以按缺陷类型进行详细监视及管理。
90.并且，可以通过经选择性缺陷检查的选择性检阅来获得缩短节拍时间(tact time)的效果。
91.根据以上说明的根据本发明的显示基板的检查方法及检查系统，能够进行选择性缺陷检查。
92.以上，虽然参照实施例进行了说明，但是对应技术领域的熟练的技术人员可以理解的是，在不脱离权利要求书中记载的本发明的思想和构思的范围内，可以对本发明进行多样的修改和变更。

技术特征：
1.一种显示基板的缺陷检查方法，包括如下步骤：拍摄显示基板的图像；提取所述图像的x轴分布；提取所述图像的y轴分布；以所述x轴分布及所述y轴分布为基础来生成线跟踪信息；以所述线跟踪信息为基础来获取所述显示基板的构成要素的边界位置；以所述边界位置为基础来将预先设定的感兴趣区域和所述图像的实际感兴趣区域进行匹配；以及检查匹配的所述实际感兴趣区域的缺陷。2.根据权利要求1所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，所述x轴分布通过累积对于y轴方向上的n个相机像素组的亮度而生成。3.根据权利要求2所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，所述n个相机像素组对应于所述显示基板的子像素的第一边的长度。4.根据权利要求1所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，所述y轴分布通过累积对于x轴方向上的m个相机像素组的亮度而生成。5.根据权利要求4所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，所述m个相机像素组对应于所述显示基板的子像素的第二边的长度。6.根据权利要求1所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，在提取所述x轴分布的步骤之前还包括如下步骤：在所述图像的基准位置判断所述图像的倾斜。7.根据权利要求1所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，检查所述实际感兴趣区域的缺陷的步骤包括如下步骤：生成所述实际感兴趣区域和与所述实际感兴趣区域相邻的相邻感兴趣区域的差异图像。8.根据权利要求7所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，生成所述差异图像的步骤包括如下步骤：生成所述实际感兴趣区域和与所述实际感兴趣区域在上侧、下侧、右侧和左侧方向上相邻的4个相邻感兴趣区域的差异图像。9.根据权利要求1所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，在检查所述实际感兴趣区域的缺陷的步骤之后还包括如下步骤：验证所述缺陷的准确位置。10.根据权利要求9所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，验证所述缺陷的准确位置的步骤包括如下步骤：存储所述缺陷的缺陷位置；以及过滤所述缺陷位置的准确度。11.根据权利要求10所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，过滤所述缺陷位置的准确度的步骤包括如下步骤：将所述缺陷位置和与所述缺陷位置相邻的相邻感兴趣区域进行比较。12.根据权利要求11所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，
验证所述缺陷的准确位置的步骤还包括如下步骤：以所述缺陷位置和所述相邻感兴趣区域的比较结果为基础来移动所述缺陷位置；以及在移动的所述缺陷位置再次判断是否存在缺陷。13.一种显示基板的缺陷检查方法，包括如下步骤：以高分辨率拍摄显示基板的彩色图像；从所述彩色图像获得感兴趣区域的信息；将所述彩色图像转换为第一黑白图像；通过补偿所述彩色图像及所述第一黑白图像的亮度偏差来生成第二黑白图像；通过对所述第二黑白图像的边界进行一次模糊来生成第三黑白图像；通过对所述第三黑白图像的边界进行二次模糊来生成第四黑白图像；以及通过对所述第四黑白图像的尺寸进行尺寸调整来生成第五黑白图像。14.根据权利要求13所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，所述彩色图像包括红色值、绿色值及蓝色值，所述第一黑白图像具有第一黑白亮度值，当所述红色值为r、所述绿色值为g、所述蓝色值为b、所述第一黑白亮度值为gr、第一转换常数为a、第二转换常数为b、第三转换常数为c时，gr＝r*a g*b b*c。15.根据权利要求13所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，在生成所述第二黑白图像的步骤中，利用亮度降低滤波器来降低所述第一黑白图像的亮度。16.根据权利要求13所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，在生成所述第三黑白图像的步骤中，利用边界模糊滤波器来对所述第二黑白图像的边界进行模糊。17.根据权利要求16所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，所述边界模糊滤波器是高斯滤波器、平均值滤波器及中值滤波器中的任意一个。18.根据权利要求13所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，在生成所述第四黑白图像的步骤中，将区域相机的图像特性改变为时间延迟积分相机的图像特性。19.根据权利要求13所述的显示基板的缺陷检查方法，其特征在于，还包括如下步骤：以低分辨率拍摄所述显示基板的图像；以及利用所述第五黑白图像和与所述第五黑白图像对应的所述感兴趣区域而在以所述低分辨率拍摄的图像中标记新的感兴趣区域。

技术总结
公开一种显示基板的缺陷检查方法。显示基板的缺陷检查方法包括如下步骤：拍摄显示基板的图像；提取所述图像的X轴分布；提取所述图像的Y轴分布；以所述X轴分布及所述Y轴分布为基础来生成线跟踪信息；以所述线跟踪信息为基础来获取所述显示基板的构成要素的边界位置；以所述边界位置为基础来将预先设定的感兴趣区域和所述图像的实际感兴趣区域进行匹配；以及检查匹配的所述实际感兴趣区域的缺陷。检查匹配的所述实际感兴趣区域的缺陷。检查匹配的所述实际感兴趣区域的缺陷。


技术研发人员：李东勳 金孝眞 崔慧媛 金明铁 徐智勳 粱炅镐
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2021.10.18
技术公布日：2022/5/25