一种反应腔中反应气体输送控制装置的制作方法

1.本实用新型涉及等离子反应器技术领域，具体为一种反应腔中反应气体输送控制装置。


背景技术：

2.等离子反应器是以等离子处理设备为基础，通过改造创新，从而达到实验要求，仪器主要包括等离子体处理设备和反应腔两部分，在等离子体处理设备的基础上加入反应腔体部分，通入惰性气体或者反应气体达到所需的反应氛围。
3.目前在等离子反应腔中输送的气体没有控制装置进行控制，导致输送气体的量无法进行控制，从而无法使得反应正常进行。
4.因此需要一种反应腔中反应气体输送控制装置对上述问题做出改善。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种反应腔中反应气体输送控制装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种反应腔中反应气体输送控制装置，包括连接头，所述连接头的上表面中部固定连接有连接筒，所述连接筒的上端固定连接有连接管，所述连接头的中部开设有气体储存腔，所述气体储存腔的内部下表面等间距开设有出气槽，且每个所述出气槽的下端均开设有安装腔，所述连接管的内部安装有电磁阀，所述连接筒的内部设置有微型气泵，且所述微型气泵的输入端与连接管连通，所述微型气泵的输出端通过导管与气体储存腔内部连通，所述气体储存腔的内部等间距安装有气缸，且每个所述气缸的输出端均固定连接有密封块，且每个所述密封块分别设置在每个所述出气槽的内部。
8.作为本实用新型优选的方案，每个所述安装腔的内部均安装有用于计量气体输出量的气体流量传感器。
9.作为本实用新型优选的方案，每个所述出气槽的截面均为等边梯形，每个所述密封块的截面同样为等边梯形，且每个所述密封块的尺寸分别与每个所述出气槽的上端尺寸相适配。
10.作为本实用新型优选的方案，所述气体流量传感器的型号为wk—17a—200。
11.作为本实用新型优选的方案，所述电磁阀的型号为dfb-20/10。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.本实用新型结构设置合理，在使用时，能够对气体的输出量进行计量以及控制，相对于现有的等离子反应器的反应腔来说，能够对输出的气体量进行有效的控制，从而确保反应的正常进行，避免气体输入的量过多或者过少。
附图说明
14.图1为本实用新型的立体图；
15.图2为本实用新型的剖面图；
16.图3为本实用新型图2中a处的放大图。
17.图中：连接头1、连接筒2、连接管3、电磁阀4、微型气泵5、导管6、气体储存腔7、气缸8、出气槽9、密封块10、安装腔11、气体流量传感器12。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关对本实用新型进行更全面的描述。给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
20.需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
21.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
22.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：
23.实施例，请参照图1、2和3，一种反应腔中反应气体输送控制装置，包括连接头1，连接头1的上表面中部固定连接有连接筒2，连接筒2的上端固定连接有连接管3，连接头1的中部开设有气体储存腔7，气体储存腔7的内部下表面等间距开设有出气槽9，且每个出气槽9的下端均开设有安装腔11，连接管3的内部安装有电磁阀4，连接筒2的内部设置有微型气泵5，且微型气泵5的输入端与连接管3连通，微型气泵5的输出端通过导管6与气体储存腔7内部连通，气体储存腔7的内部等间距安装有气缸8，且每个气缸8的输出端均固定连接有密封块10，且每个密封块10分别设置在每个出气槽9的内部，每个安装腔11的内部均安装有用于计量气体输出量的气体流量传感器12，每个出气槽9的截面均为等边梯形，每个密封块10的截面同样为等边梯形，且每个密封块10的尺寸分别与每个出气槽9的上端尺寸相适配，气体流量传感器12的型号为wk—17a—200，电磁阀4的型号为dfb-20/10，使用时通过连接管3外接气体，通过控制电磁阀4的开关，从而对气体的进入进行控制，通过微型气泵5以及导管6将气体导入到气体储存腔7的内部，当需要导入反应所需的气体时，控制每个气缸8进行工作，使得密封块10在出气槽9内部进行下降，从而气体通过出气槽9导入到反应腔的内部，每个出气槽9导出的气体均可通过气体流量传感器12进行计量，对导入的气体总量进行计量，
从而能够方面使用者清楚地知道导入气体量的多少，避免导入的量过多或者过少对反应造成不良的影响，并且出气槽9开启的数量可调节，能够便捷地对导入反应气体的速率进行控制。
24.工作原理：使用时，使用时通过连接管3外接气体，通过控制电磁阀4的开关，从而对气体的进入进行控制，通过微型气泵5以及导管6将气体导入到气体储存腔7的内部，当需要导入反应所需的气体时，控制每个气缸8进行工作，使得密封块10在出气槽9内部进行下降，从而气体通过出气槽9导入到反应腔的内部，每个出气槽9导出的气体均可通过气体流量传感器12进行计量，对导入的气体总量进行计量，从而能够方面使用者清楚地知道导入气体量的多少，避免导入的量过多或者过少对反应造成不良的影响，并且出气槽9开启的数量可调节，能够便捷地对导入反应气体的速率进行控制。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种反应腔中反应气体输送控制装置，包括连接头(1)，其特征在于：所述连接头(1)的上表面中部固定连接有连接筒(2)，所述连接筒(2)的上端固定连接有连接管(3)，所述连接头(1)的中部开设有气体储存腔(7)，所述气体储存腔(7)的内部下表面等间距开设有出气槽(9)，且每个所述出气槽(9)的下端均开设有安装腔(11)，所述连接管(3)的内部安装有电磁阀(4)，所述连接筒(2)的内部设置有微型气泵(5)，且所述微型气泵(5)的输入端与连接管(3)连通，所述微型气泵(5)的输出端通过导管(6)与气体储存腔(7)内部连通，所述气体储存腔(7)的内部等间距安装有气缸(8)，且每个所述气缸(8)的输出端均固定连接有密封块(10)，且每个所述密封块(10)分别设置在每个所述出气槽(9)的内部。2.根据权利要求1所述的一种反应腔中反应气体输送控制装置，其特征在于：每个所述安装腔(11)的内部均安装有用于计量气体输出量的气体流量传感器(12)。3.根据权利要求1所述的一种反应腔中反应气体输送控制装置，其特征在于：每个所述出气槽(9)的截面均为等边梯形，每个所述密封块(10)的截面同样为等边梯形，且每个所述密封块(10)的尺寸分别与每个所述出气槽(9)的上端尺寸相适配。4.根据权利要求2所述的一种反应腔中反应气体输送控制装置，其特征在于：所述气体流量传感器(12)的型号为wk—17a—200。5.根据权利要求1所述的一种反应腔中反应气体输送控制装置，其特征在于：所述电磁阀(4)的型号为dfb-20/10。

技术总结
本实用新型涉及等离子反应器技术领域，尤其为一种反应腔中反应气体输送控制装置，包括连接头，所述连接头的上表面中部固定连接有连接筒，所述连接筒的上端固定连接有连接管，所述连接头的中部开设有气体储存腔，所述气体储存腔的内部下表面等间距开设有出气槽，且每个所述出气槽的下端均开设有安装腔，所述连接管的内部安装有电磁阀，所述连接筒的内部设置有微型气泵，且所述微型气泵的输入端与连接管连通，所述微型气泵的输出端通过导管与气体储存腔内部连通，本实用新型结构设置合理，能够对气体的输出量进行计量以及控制，并且能够对输出的气体的速率进行有效的控制，从而确保反应的正常进行，避免气体输入的量过多或者过少。避免气体输入的量过多或者过少。避免气体输入的量过多或者过少。


技术研发人员：李冰妍
受保护的技术使用者：富时精工（南京）有限公司
技术研发日：2021.09.17
技术公布日：2022/5/25