一种真空镀膜机的冷却装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，更具体地说，涉及一种真空镀膜机的冷却装置。


背景技术：

2.真空镀膜机是一种集成化的设备，主要分为蒸发和溅射两大类在较高真空度下进行镀膜，由于真空镀膜机的工作模式，真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，因此需要使用冷却设备对腔体进行降温。
3.市场上常见的冷却设备通常是在镀膜的高温腔体外侧设置若干圈用于降温的水管，并在水管内部输送冷却水，通过流动的冷却水带走高温腔体外壁逸散出来的热量，但是这种方式对高温腔体的降温效果不佳，鉴于此，我们提出一种真空镀膜机的冷却装置。


技术实现要素：

4.1.要解决的技术问题
5.本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机的冷却装置，以解决上述背景技术中提出现有冷却设备对高温腔体降温效果不佳的问题。
6.2.技术方案
7.一种真空镀膜机的冷却装置，包括真空腔体和将安装于真空腔体外部的外壳，所述外壳的下方开设有下连接管，所述外壳的上方开设有上连接管，所述真空腔体和外壳之间安装有换热组件和散热组件，所述外壳的一侧设有鼓气泵，所述外壳的另一侧设置有抽水泵。
8.优选地，所述上连接管的内部安装有用以抽气的抽气扇，所述下连接管的内部安装有用以鼓气的鼓气扇。
9.优选地，所述换热组件包括安装在外壳内部的若干换热管道，若干个所述换热管道平行且等距设置，若干个所述换热管道之间连接有第一连接诶管道，所述第一连接诶管道与若干个换热管道相通连接，所述换热管道的一侧相通连接有进气管道，所述换热管道的另一侧相通连接有出气管。
10.优选地，所述散热组件包括位于真空腔体外侧的若干个输水管道和若干个与真空腔体外侧壁固定连接的导热块，若干个所述输水管道之间相通连接有第二连接管道，所述导热块的中部位置处开设有开口槽，所述输水管道和抽水泵之间设置有进水管道。
11.优选地，所述进水管道的一端部与所述输水管道相通连接，所述进水管道的另一端部穿过外壳的内侧壁并延伸至外壳外部与抽水泵的输出端相连接，所述抽水泵与所述输水管道通过所述进水管道相连通。
12.优选地，若干个所述导热块围绕真空腔体的外侧壁均匀分布，若干个所述导热块分成与输水管道数量相同的若干组，每个所述输水管道均位于对应位置处那一组导热块开设的开口槽中。
13.优选地，若干组所述换热管道与若干组所述输水管道间隔设置，所述换热管道位于所述输水管道外侧。
14.3.有益效果
15.相比于现有技术，本实用新型的优点在于：
16.1、通过本实用新型设计的整体结构，利用散热组件将真空腔体内部的热量通过汽化的冷却水均匀散发到外壳中，使得真空腔体产生的热量可以均匀分布到体积较大的外壳中，同时通过换热组件，利用换热管道与水蒸气的接触将水蒸气的热量传输到第一连接管道中移动的冷却气体中，双管齐下，从而带走真空腔体产生的热量，提高对真空腔体的冷却效率。
17.2、本实用新型利用相互配合的抽气扇和鼓气扇，使外壳内部的气体由下向上进行流动，从而使对真空腔体降温的水蒸气随气流一道由下向上流动，换热管道中流动的冷却气体在水平方向上移动，从而使得两者的移动方向相切，从而使得换热管道与水蒸气的接触速率进一步提高，从而使得换热效率进一步提高。
附图说明
18.图1为本实用新型的整体结构右侧示意图；
19.图2为本实用新型的整体结构左侧示意图；
20.图3为本实用新型的整体结构去除外壳的结构示意图；
21.图4为本实用新型去除外壳和换热组件的结构示意图；
22.图5为本实用新型真空腔体和导热块的结构示意图；
23.图6为本实用新型图5中a处结构放大图；
24.图中标号说明：1、真空腔体；2、外壳；3、下连接管；4、上连接管；5、换热管道；6、第一连接管道；7、进气管道；8、鼓气泵；9、出气管；10、抽水泵；11、进水管道；12、输水管道；13、第二连接管道；14、导热块；15、开口槽；16、抽气扇；17、鼓气扇。
具体实施方式
25.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
26.在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
27.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
28.请参阅图1-6,本实用新型提供一种技术方案：
29.一种真空镀膜机的冷却装置，包括真空腔体1和将安装于真空腔体1外部的外壳2，外壳2的下方开设有下连接管3，外壳2的上方开设有上连接管4，真空腔体1和外壳2之间安装有换热组件和散热组件，外壳2的一侧设有鼓气泵8，外壳2的另一侧设置有抽水泵10。
30.具体的，上连接管4的内部安装有用以抽气的抽气扇16，将外壳2外部的空气抽送进外壳2内部，下连接管3的内部安装有用以鼓气的鼓气扇17，鼓气扇17将外壳2内部的气体抽离至外界。
31.进一步的，换热组件包括安装在外壳2内部的若干换热管道5，若干个换热管道5平行且等距设置，若干个换热管道5之间连接有第一连接诶管道6，第一连接诶管道6与若干个换热管道5相通连接，换热管道5的一侧相通连接有进气管道7，换热管道5的另一侧相通连接有出气管9，鼓气泵8通过进气管道7为换热管道5中输送低温气体，空气中的热量经过换热管道5进行热量交换，换热管道5中的气体被加热从而带走外壳2内部的热量，进而对真空腔体1进行降温。
32.值得说明的是，散热组件包括位于真空腔体1外侧的若干个输水管道12和若干个与真空腔体1外侧壁固定连接的导热块14，若干个输水管道12之间相通连接有第二连接管道13，导热块14的中部位置处开设有开口槽15，输水管道12和抽水泵10之间设置有进水管道11，真空腔体1产生的热量通过导热性能好的导热块14进行散热，并且输水管道12的表面均匀开设有若干个喷水孔，当抽水泵10通过进水管道11为输水管道12输送冷却水后，水流会从透气孔中喷出并被导热块14散发的热量蒸发成气态，从形成蒸汽，蒸汽与换热管道5相接触，提高换热效率。
33.值得注意的是，进水管道11的一端部与输水管道12相通连接，进水管道11的另一端部穿过外壳2的内侧壁并延伸至外壳2外部与抽水泵10的输出端相连接，抽水泵10与输水管道12通过进水管道11相连通，抽水泵10外接冷却水，并将冷却水输入到输水管道12中，从而为外壳2内部提供水份。
34.除此之外，若干个导热块14围绕真空腔体1的外侧壁均匀分布，若干个导热块14分成与输水管道12数量相同的若干组，每个输水管道12均位于对应位置处那一组导热块14开设的开口槽15中，当输水管道12位于开口槽15中，输水管道12中喷射出的水流被导热块14的侧壁加热，并将液态冷却水加热形成水蒸气，从而增大与换热管道5的接触面积，并且液态冷却水蒸发吸热，带走真空腔体1的部分热量。
35.不得不说的是，若干组换热管道5与若干组输水管道12间隔设置，换热管道5位于输水管道12外侧，水蒸气在抽气扇16和鼓气扇17的作用下由下向上移动，从而与换热管道5的流动方向相切，进而使得换热效果更好，并且间隔设置的输水管道12和换热管道5，输水管道12将热量更加均匀的散发在外壳2内部，并被换热管道5中流动的冷却气体带走。
36.工作原理：驱动抽气扇16和鼓气扇17，鼓气扇17和抽气扇16相互配合使得外壳2内部的气体流动起来，并整体呈现由下向上的移动趋势，真空腔体1内部的热量通过导热块14散发到空气中，并且冷却水通过输水管道12喷射到外壳2内部，冷却水吸收导热块14散发的热量蒸发成水蒸气并随着气流一起流动，同时鼓气泵8将冷却气体通过进气管道7输送至换热管道5中，换热管道5中流动的气体通过换热管道5的管壁与水蒸气接触，从而将水蒸气中的热量带走。
37.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行
业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：
1.一种真空镀膜机的冷却装置，包括真空腔体(1)和将安装于真空腔体(1)外部的外壳(2)，其特征在于：所述外壳(2)的下方开设有下连接管(3)，所述外壳(2)的上方开设有上连接管(4)，所述真空腔体(1)和外壳(2)之间安装有换热组件和散热组件，所述外壳(2)的一侧设有鼓气泵(8)，所述外壳(2)的另一侧设置有抽水泵(10)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述上连接管(4)的内部安装有用以抽气的抽气扇(16)，所述下连接管(3)的内部安装有用以鼓气的鼓气扇(17)。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述换热组件包括安装在外壳(2)内部的若干换热管道(5)，若干个所述换热管道(5)平行且等距设置，若干个所述换热管道(5)之间连接有第一连接诶管道(6)，所述第一连接诶管道(6)与若干个换热管道(5)相通连接，所述换热管道(5)的一侧相通连接有进气管道(7)，所述换热管道(5)的另一侧相通连接有出气管(9)。4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述散热组件包括位于真空腔体(1)外侧的若干个输水管道(12)和若干个与真空腔体(1)外侧壁固定连接的导热块(14)，若干个所述输水管道(12)之间相通连接有第二连接管道(13)，所述导热块(14)的中部位置处开设有开口槽(15)，所述输水管道(12)和抽水泵(10)之间设置有进水管道(11)。5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述进水管道(11)的一端部与所述输水管道(12)相通连接，所述进水管道(11)的另一端部穿过外壳(2)的内侧壁并延伸至外壳(2)外部与抽水泵(10)的输出端相连接，所述抽水泵(10)与所述输水管道(12)通过所述进水管道(11)相连通。6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：若干个所述导热块(14)围绕真空腔体(1)的外侧壁均匀分布，若干个所述导热块(14)分成与输水管道(12)数量相同的若干组，每个所述输水管道(12)均位于对应位置处那一组导热块(14)开设的开口槽(15)中。7.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：若干组所述换热管道(5)与若干组所述输水管道(12)间隔设置，所述换热管道(5)位于所述输水管道(12)外侧。

技术总结
本实用新型公开了一种真空镀膜机的冷却装置，属于真空镀膜机技术领域。一种真空镀膜机的冷却装置，包括真空腔体和将安装于真空腔体外部的外壳，所述外壳的下方开设有下连接管，所述外壳的上方开设有上连接管，所述真空腔体和外壳之间安装有换热组件和散热组件，所述外壳的一侧设有鼓气泵，所述外壳的另一侧设置有抽水泵。本实用新型利用散热组件将真空腔体内部的热量通过汽化的冷却水均匀散发到外壳中，使得真空腔体产生的热量可以均匀分布到体积较大的外壳中，同时通过换热组件，利用换热管道与水蒸气的接触将水蒸气的热量传输到第一连接管道中移动的冷却气体中，双管齐下，从而带走真空腔体产生的热量，提高对真空腔体的冷却效率。的冷却效率。的冷却效率。


技术研发人员：李林
受保护的技术使用者：李林
技术研发日：2021.09.15
技术公布日：2022/5/25