一种用于安装MOCVD陶瓷螺丝的装置的制作方法

一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置
技术领域
1.本实用新型属于陶瓷螺丝安装器械技术领域，具体涉及一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置。


背景技术：

2.金属有机化学气相沉积(metal-organic chemical vapor deposition，mocvd)设备被大量应用于半导体外延领域。由于其能够精确控制外延层厚度、材料组分等参数，形成陡峭的材料界面，在激光器、探测器等光电器件的制造领域有着广泛的应用。
3.随着外延和制造技术的发展，mocvd的反应室结构也在发生变化。目前，aixtron品牌的g3、g4、g5、g5 等型号的设备，都会采用“天花板(ceiling)”设计，来控制生长过程中颗粒(particle)的数量。而在设备的安装及维护过程中，天花板的装卸，成为其中重要的一个环节。由于设备在维护时，需要使反应室的舱门处于开启状态，且要保持手套箱及反应室内的环境，操作员就只能从侧面，透过手套，来对备件进行更换。更换的备件包括固定天花板的石墨挡板和陶瓷螺丝，由于受到手套和手臂长度的限制，操作员从侧面安装陶瓷螺丝非常困难，并且陶瓷螺丝不具备磁性，在安装过程中也无法被吸附、固定，导致陶瓷螺丝在装卸过程中极易发生脱落，甚至被损坏的情况。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是：旨在提供一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置，用来解决操作员不便于从侧面安装螺丝的问题。
5.为实现上述技术目的，本实用新型采用的技术方案如下：
6.一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置，包括垂直套筒、主动转杆和从动转杆，所述主动转杆的一端转动安装于垂直套筒的一端内并固定有主动锥齿轮，所述从动转杆的一端转动安装于垂直套筒的另一端内并固定有从动锥齿轮，所述从动锥齿轮与主动锥齿轮啮合连接，所述从动转杆远离垂直套筒的一端固定有用于卡固陶瓷螺丝的螺丝套筒；所述从动转杆上设有支撑组件，所述支撑组件包括滑套和握把，所述握把固定于滑套上，所述滑套套设于从动转杆上。
7.通过采用上述方案，使得该装置自带垂直结构，通过转动主动转杆能够带动从动转杆转动，当操作员位于舱门侧面时，无需转动臂腕，即可完成陶瓷螺丝的安装，以此克服mocvd设备手套箱结构的限制，使得操作员便于从侧面安装陶瓷螺丝。
8.进一步限定，所述从动转杆上设有推进组件，所述推进组件包括环形凸缘、第一弹簧和多个支撑杆，所述环形凸缘固定于从动转杆上螺丝套筒和滑套之间，所述第一弹簧套设从动转杆上，所述第一弹簧的一端抵靠于环形凸缘上，所述第一弹簧的另一端抵靠于滑套上，多根所述支撑杆呈圆周阵列结构并固定于滑套外，所述支撑杆倾斜于从动转杆设置，所述支撑杆远离滑套的一端朝向螺丝套筒一侧，且当滑套未压缩第一弹簧时，所述支撑杆远离滑套的一端不超过螺丝套筒。
9.通过采用上述方案，当操作员安装陶瓷螺丝时，首先将陶瓷螺丝的头部卡在螺丝套筒内，然后将陶瓷螺丝抵在螺丝孔处，然后朝螺丝孔一侧推动握把，使滑套压缩第一弹簧，直到支撑杆抵靠在mocvd设备的舱门上，多个支撑杆共同作用，能够对整个装置起到支撑和稳定的作用，便于对陶瓷螺丝的旋拧；与此同时，第一弹簧受到压迫，能够给陶瓷螺丝一个朝向螺丝孔的水平作用力，当操作员转动主动转杆时，这个水平作用力能够将陶瓷螺丝推进螺丝孔内，便于陶瓷螺丝的安装。
10.进一步限定，所述垂直套筒的一端内固定有第一环形挡板和第二环形挡板，所述主动转杆的一端转动安装于第一环形挡板和第二环形挡板的内环中，所述主动转杆的一端外固定有第一环形抵板和第二环形抵板，所述第一环形抵板和第二环形抵板均位于第一环形挡板和第二环形挡板之间，且所述第一环形抵板抵靠在第一环形挡板上，所述第二环形抵板抵靠在第二环形挡板上；所述垂直套筒的另一端内固定有第三环形挡板和第四环形挡板，所述从动转杆的一端转动安装于第三环形挡板和第四环形挡板的内环中，所述从动转杆的一端上固定有第三环形抵板和第四环形抵板，所述第三环形抵板和第四环形抵板均位于第三环形挡板和第四环形挡板之间，且所述第三环形抵板抵靠在第三环形挡板上，所述第四环形抵板抵靠在第四环形挡板上。
11.通过采用上述方案，使得主动转杆和从动转动只能够相对垂直套筒转动，避免主动转杆或者从动转动滑出垂直套筒，导致主动锥齿轮与从动锥齿轮不能够啮合的情况，使得该装置结构更加严谨。
12.进一步限定，所述螺丝套筒为一侧敞口、另一侧封闭的橡胶套筒，所述螺丝套筒的封闭端固定于从动转杆远离垂直套筒的一端，所述螺丝套筒的内径小于陶瓷螺丝头部的直径，所述螺丝套筒靠近敞口端的侧壁上开设有两个对称设置的缺口。
13.通过采用上述方案，利用橡胶材质自身的柔性和张力，将陶瓷螺丝的头部抓取在螺丝套筒内，既能够对陶瓷螺丝起到较好的固定效果，又能够避免对陶瓷螺丝造成损伤；通过在陶瓷螺丝的敞口端设置两个缺口，能够避免陶瓷螺丝的头部将螺丝套筒挤破。
14.进一步限定，所述螺丝套筒靠近从动转杆的内侧壁上固定有能够插入螺丝头槽缝的薄楔形头。
15.通过采用上述方案，薄楔形头能够插入螺丝头的槽缝内，强制螺丝跟随螺丝套筒一起转动，避免只用套筒卡紧螺丝而带不动螺丝转动的情况。
16.进一步限定，所述支撑杆远离滑套的一端固定有吸盘。
17.通过采用上述方案，当支撑杆抵靠在待装配螺丝的设备上时，吸盘也能够吸附在该设备上，因为此时第一弹簧处于压缩状态，第一弹簧会给滑套一个朝向垂直套筒的作用力，操作员必须在握把上施加一个朝向待装配螺丝的设备的压力去抵消上述作用力，才能保持整个装置的平衡，通过设置吸盘，使得吸盘的吸附力能够代替操作员施加给握把的压力，使得操作员能够更加省力、更加便捷地完成安装操作。
18.进一步限定，所述支撑杆内开设有吸附通道，所述吸附通道与吸盘连通，所述吸附通道内滑动安装有活塞，所述吸附通道内设置有第二弹簧，所述第二弹簧的一端抵接在活塞上，所述第二弹簧的另一端抵接在吸附通道内远离吸盘的侧壁上，所述活塞靠近第二弹簧的一端固定有第一拉绳，所述第一拉绳远离活塞的一端穿过第二弹簧并穿至支撑杆外，所述握把上安装有用于拉动第一拉绳的拉绳组件。
19.通过采用上述方案，当吸盘吸附在待装配螺丝的设备上时，操作员可以利用拉绳组件拉动第一拉绳，第一拉绳拉动活塞，使得活塞朝向远离吸盘的一侧移动，从而增强吸盘的吸附力，使得吸盘能够更加稳定地吸附在待装配螺丝的设备上；当需要卸下吸盘时，可以松开第一拉绳，此时，活塞受到第二弹簧的弹力而复位，从而使得吸盘的吸力减小，便能够轻松卸下吸盘。
20.进一步限定，所述拉绳组件包括u形架和拉杆，所述u形架的两端固定于握把的侧面上，所述u形架的上下两侧均开设有滑槽，所述拉杆的上下两端分别滑动安装于两个滑槽内，所述u形架远离握把的一侧开设有进线孔，所述第一拉绳从u形架外沿着进线孔穿进u形架内并固定于拉杆上。
21.通过采用上述方案，当操作需要拉动第一拉绳增强吸盘的吸附力时，可以直接用握住握把的手拉动拉杆，使得拉杆拉动第一拉绳，通过这样设置，使得操作员的操作更加便捷。
22.进一步限定，所述拉杆的上下两端均开设有第一滑孔，所述第一滑孔内滑动安装有限位杆，所述u形架于滑槽内靠近握把的一侧开设有限位孔，所述限位杆能够插入限位孔内；所述第一滑孔内设有第三弹簧，所述第三弹簧的一端抵接在限位杆上，所述第三弹簧的另一端抵接在第一滑孔内远离限位杆的侧壁上；所述拉杆的中部开设有第二滑孔，所述第二滑孔内滑动安装有推动杆，所述推动杆一端的延伸至第二滑孔外；所述推动杆位于第二滑孔内的一端固定有第二拉绳，所述第二拉绳的另一端延伸至第一滑孔内，所述第二拉绳穿过第三弹簧与限位杆固定连接。
23.通过采用上述方案，当操作员将拉杆拉到一定位置时，限位杆受到第三弹簧的弹力，能够卡入限位孔时，使得拉杆固定在这个位置，从而将第一拉绳固定在这个位置，使得操作员不必再使用外力将拉杆和第一拉绳固定，使得操作员更加省力；当需要松开第一拉绳时，可以使用拉住拉杆的其中一根手指去按动推动杆，使得推动杆拉动第二拉绳，从而将限位杆拉出限位孔，此时，活塞受到第二弹簧的弹力而复位，从而通过第一拉绳拉动拉杆复位。
24.进一步限定，所述支撑杆、滑套、握把和u形架上均固定有多个线箍，所述第一拉绳穿过线箍并沿线箍的路径设置。
25.通过采用上述方案，使得第一拉绳能够更加整洁，同时也使得第一拉绳能够更加顺利地工作。
26.采用上述技术方案的实用新型，具有如下优点：
27.1、该装置自带垂直结构，通过转动主动转杆能够带动从动转杆转动，当操作员位于舱门侧面时，无需转动臂腕，即可完成陶瓷螺丝的安装，以此克服mocvd设备手套箱结构的限制，使得操作员便于从侧面安装陶瓷螺丝。
28.2、该装置通过设置推进组件，能够对整个装置起到支撑和稳定的作用，便于对陶瓷螺丝的旋拧；同时也能够给陶瓷螺丝一个朝向螺丝孔的水平作用力，当操作员转动主动转杆时，这个水平作用力能够将陶瓷螺丝推进螺丝孔内，便于陶瓷螺丝的安装。
附图说明
29.本实用新型可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明；
30.图1为本实用新型实施例一的结构示意图；
31.图2为本实用新型实施例一的爆炸示意图；
32.图3是本实用新型实施例二的结构示意图；
33.图4是本实用新型实施例二图3中a处的放大示意图；
34.图5是本实用新型实施例二中为展示支撑杆内部结构的剖视图；
35.图6是本实用新型实施例二中拉绳组件的剖视图；
36.图7是本实用新型实施例二中拉杆的剖视图；
37.主要元件符号说明如下：1、垂直套筒；11、第一环形挡板；12、第二环形挡板；13、第三环形挡板；14、第四环形挡板；2、主动转杆；21、主动锥齿轮；22、转盘；23、第一环形抵板；24、第二环形抵板；3、从动转杆；31、从动锥齿轮；32、螺丝套筒；33、第三环形抵板；34、第四环形抵板；35、薄楔形头；4、支撑组件；41、滑套；42、握把；5、推进组件；51、环形凸缘；52、第一弹簧；53、支撑杆；531、支脚；532、吸附通道；54、吸盘；55、活塞；56、第二弹簧；57、第一拉绳；6、拉绳组件；61、u形架；611、滑槽；612、限位孔；613、进线孔；62、拉杆；621、第一滑孔；622、限位杆；623、第三弹簧；624、第二滑孔；625、推动杆；626、第二拉绳；63、第四弹簧；64、线箍。
具体实施方式
38.以下将结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明，需要说明的是，在附图或说明书描述中，相似或相同的部分都使用相同的图号，附图中未绘示或描述的实现方式，为所属技术领域中普通技术人员所知的形式。另外，实施例中提到的方向用语，例如“上”、“下”、“顶”、“底”、“左”、“右”、“前”、“后”等，仅是参考附图的方向，并非用来限制本实用新型的保护范围。
39.实施一：
40.如图1～2所示，一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置，包括垂直套筒1、主动转杆2和从动转杆3，垂直套筒1的两端均敞口，主动转杆2的上端转动安装在垂直套筒1的竖直端内，并且主动转杆2的上端键连接有主动锥齿轮21，主动转杆2的下端固定安装有转盘22；从动转杆3的右端转动安装在垂直套筒1的水平端内，从动转杆3的上端键连接有从动锥齿轮31，从动锥齿轮31与主动锥齿轮21啮合连接，从动转杆3的左端固定有用于卡固陶瓷螺丝的螺丝套筒32，从动转杆3上安装有支撑组件4，支撑组件4包括滑套41和握把42，握把42固定于滑套41上，滑套41套设于从动转杆3上，当操作员位于舱门侧面时，通过转动主动转杆2能够带动从动转杆3转动，该装置自带垂直结构，无需操作员转动臂腕，即可完成陶瓷螺丝的安装，克服了mocvd设备手套箱结构的限制，使得操作员便于从侧面安装陶瓷螺丝。
41.从动转杆3上设置有用于辅助陶瓷螺丝推进螺丝孔的推进组件5，推进组件5包括环形凸缘51、第一弹簧52和三个支撑杆53，环形凸缘51一体成型于从动转杆3外，并且环形凸缘51位于螺丝套筒32和滑套41之间，第一弹簧52套设从动转杆3上，第一弹簧52的左端抵靠于环形凸缘51上，第一弹簧52的右端抵靠于滑套41上，三个支撑杆53呈圆周阵列结构，并且支撑杆53的左端固定安装在滑套41的外侧壁上，支撑杆53倾斜于从动转杆3设置，支撑杆53的倾斜角度具体为60
°
，支撑杆53远离滑套41的一端朝向螺丝套筒32一侧，即支撑杆53远离滑套41的一端朝向左侧，并且当滑套41未压缩第一弹簧52时，支撑杆53远离滑套41的一
端不超过螺丝套筒32，支撑杆53的左端一体成型设置有支脚531，当操作员安装陶瓷螺丝时，多个支撑杆53共同抵在mocvd设备的舱门上，能够对整个装置起到支撑和稳定的作用，便于对陶瓷螺丝的旋拧，同时，第一弹簧52受到压迫，能够给陶瓷螺丝一个朝向螺丝孔的水平作用力，当操作员转动主动转杆2时，这个水平作用力能够将陶瓷螺丝推进螺丝孔内，便于陶瓷螺丝的安装。
42.为了主动转杆2和从动转杆3能够顺利转动、主动锥齿轮21与从动锥齿轮31能够顺利啮合，垂直套筒1的竖直端内固定有第一环形挡板11和第二环形挡板12，第一环形挡板11位于垂直套筒1的下侧敞口端，主动转杆2的直径与第一环形挡板11、第二环形挡板12的内径相等，主动转杆2的上端转动安装于第一环形挡板11和第二环形挡板12的内环中，主动转杆2的上端固定有第一环形抵板23和第二环形抵板24，第一环形抵板23和第二环形抵板24均位于第一环形挡板11和第二环形挡板12之间，并且第一环形抵板23的下侧面抵靠在第一环形挡板11的上侧面上，第二环形抵板24的上侧面抵靠在第二环形挡板12的下侧面上；垂直套筒1的水平端内固定有第三环形挡板13和第四环形挡板14，第四环形挡板14位于垂直套筒1的左侧敞口端，从动转杆3的直径与第三环形挡板13和第四环形挡板14的内径相等，从动转杆3的右端转动安装于第三环形挡板13和第四环形挡板14的内环中，从动转杆3的右端固定有第三环形抵板33和第四环形抵板34，第三环形抵板33和第四环形抵板34均位于第三环形挡板13和第四环形挡板14之间，并且第三环形抵板33的右侧面抵靠在第三环形挡板13的左侧面上，第四环形抵板34的左侧面抵靠在第四环形挡板14的右侧面上，以此限制主动转杆2和从动转动只能够相对垂直套筒1转动，避免主动转杆2或者从动转动滑出垂直套筒1，导致主动锥齿轮21与从动锥齿轮31不能够啮合的情况；如图2所示，为了方便安装本装置，本装置中的垂直套筒1、第一环形挡板11、第二环形挡板12、第二环形挡板12、第三环形挡板13和第四环形挡板14均由各自的半边结构相互合拢而成。
43.为了螺丝套筒32能够更好地固定陶瓷螺丝，螺丝套筒32为左侧敞口、右侧封闭的橡胶套筒32，螺丝套筒32的封闭端粘接于从动转杆3的左端上，螺丝套筒32的内径小于陶瓷螺丝头部的直径，利用橡胶材质自身的柔性和张力，将陶瓷螺丝的头部抓取在螺丝套筒32内，既能够对陶瓷螺丝起到较好的固定效果，又能够避免对陶瓷螺丝造成损伤；螺丝套筒32靠近敞口端的侧壁上开设有两个对称设置的缺口，这两个缺口使得螺丝套筒32保持良好的张力，避免陶瓷螺丝的头部将螺丝套筒32挤破的情况；螺丝套筒32靠近从动转杆3的内侧壁上固定有能够插入螺丝头槽缝的薄楔形头35，该薄楔形头35为一字形或者十字形。
44.本实施例的工作原理：当操作员安装陶瓷螺丝时，首先将陶瓷螺丝的头部卡在螺丝套筒32内，然后使用左手握住握把42，右手握住主动转杆2，将陶瓷螺丝抵在左侧舱门的螺丝孔处，然后朝螺丝孔一侧推动握把42，使滑套41压缩第一弹簧52，直到支撑杆53抵靠在mocvd设备的舱门上，然后通过转动主动转杆2带动从动转杆3转动，从而将陶瓷螺丝送入螺丝孔中。
45.实施例二：
46.如图3～7所示，实施例二与实施例一的区别在于，实施例二也可以作用于其它待装配螺丝的设备，增强该装置的实用性和适用范围。
47.实施例二中，支撑杆53远离滑套41的一端固定安装有吸盘54，当支撑杆53抵靠在待装配螺丝的设备上时，吸盘54也能够吸附在该设备上，因为此时第一弹簧52处于压缩状
态，第一弹簧52会给滑套41一个朝向垂直套筒1的作用力，操作员必须在握把42上施加一个朝向待装配螺丝的设备的压力去抵消上述作用力，才能保持整个装置的平衡，通过设置吸盘54，使得吸盘54的吸附力能够代替操作员施加给握把42的压力，使得操作员能够更加省力、更加便捷地完成安装操作。
48.为了增强吸盘54的吸力，支撑杆53内开设有吸附通道532，吸附通道532与吸盘54连通，吸附通道532内滑动安装有活塞55，吸附通道532内设置有第二弹簧56，第二弹簧56的一端抵接在活塞55上，第二弹簧56的另一端抵接在吸附通道532内远离吸盘54的侧壁上，活塞55靠近第二弹簧56的一端固定连接有第一拉绳57，第一拉绳57远离活塞55的一端穿过第二弹簧56并穿至支撑杆53外，支撑杆53内开设有供第一拉绳57自由穿过的第一线道，握把42上安装有用于拉动第一拉绳57的拉绳组件6，本实施例中第一拉绳57时刻处于紧绷状态，当吸盘54吸附在设备上时，操作员可以利用拉绳组件6拉动第一拉绳57，第一拉绳57拉动活塞55，使得活塞55朝向远离吸盘54的一侧移动，从而增强吸盘54的吸附力，使得吸盘54能够更加稳定地吸附在待装配螺丝的设备上；当需要卸下吸盘54时，可以松开第一拉绳57，此时，活塞55受到第二弹簧56的弹力而复位，从而使得吸盘54的吸力减小，便能够轻松卸下吸盘54。
49.拉绳组件6包括u形架61和拉杆62，u形架61的两端固定于握把42的侧面上，u形架61内的上下两侧均开设有滑槽611，拉杆62的上下两端分别滑动安装于两个滑槽611内，u形架61远离握把42的一侧开设有进线孔613，第一拉绳57从u形架61外沿着进线孔613穿进u形架61内，并固定连接于拉杆62上，当操作员需要拉动第一拉绳57增强吸盘54的吸附力时，可以直接用握住握把42的手拉动拉杆62，使得拉杆62拉动第一拉绳57，通过这样设置，使得操作员的操作更加便捷。
50.拉杆62的上下两端均开设有第一滑孔621，第一滑孔621内滑动安装有限位杆622，u形架61于滑槽611内靠近握把42的一侧开设有限位孔612，限位杆622能够插入限位孔612内，第一滑孔621内还设置有第三弹簧623，第三弹簧623的一端抵接在限位杆622上，第三弹簧623的另一端抵接在第一滑孔621内远离限位杆622的侧壁上，当操作员拉动拉杆62到一定位置时，限位杆622受到第三弹簧623的弹力，能够卡入限位孔612时，使得拉杆62固定在这个位置，从而将第一拉绳57也固定在这个位置，使得操作员不必再使用外力将拉杆62和第一拉绳57固定，使得操作员更加省力。
51.拉杆62的中部开设有第二滑孔624，第二滑孔624内滑动安装有推动杆625，推动杆625一端的延伸至第二滑孔624外，推动杆625处于第二滑孔624内的一端未伸入第二滑孔624的最深处，推动杆625位于第二滑孔624内的一端固定连接有第二拉绳626，第二拉绳626的另一端延伸至第一滑孔621内，并穿过第三弹簧623与限位杆622固定连接，拉杆62内开设有供第二拉绳626自由穿过的第二线道，当限位杆622进入限位孔612内时，第二拉绳626处于紧绷状态，当需要松开第一拉绳57时，可以使用拉住拉杆62的其中一根手指去按动推动杆625，使得推动杆625拉动第二拉绳626，从而将限位杆622拉出限位孔612，此时，活塞55受到第二弹簧56的弹力而复位，从而通过第一拉绳57拉动拉杆62复位。
52.为了使得按动推动杆625时能够顺利拉动第二拉绳626，第二滑孔624内深处的横截面积大于第二滑孔624靠近敞口端的横截面积，避免第二拉绳626卡在第二滑孔624内的情况。
53.为了拉杆62能够顺利复位，拉杆62与握把42之间设有第四弹簧63，第四弹簧63的一端固定在拉杆62上，第四弹簧63的另一端固定在握把42上。
54.为了第一拉绳57能够顺利地被拉动，支撑杆53、滑套41、握把42和u形架61上均固定有多个线箍64，线箍64为半圆环结构，第一拉绳57穿过线箍64并沿线箍64的路径设置，并且本实施例中第一拉绳57、第二拉绳626经过的拐角处均设置有圆角，降低第一拉绳57和第二拉绳626被扯断的风险。
55.本实施例的工作原理：当支撑杆53抵靠在待装配螺丝的设备上时，吸盘54也能够吸附在该设备上，当吸盘54吸附在设备上时，可以直接用握住握把42的手拉动拉杆62，使得拉杆62拉动第一拉绳57，第一拉绳57又能够拉动活塞55，使得活塞55朝向远离吸盘54的一侧移动，从而增强吸盘54的吸附力，使得吸盘54能够更加稳定地吸附在待装配螺丝的设备上；当操作员将拉杆62拉到一定位置时，限位杆622受到第三弹簧623的弹力，能够卡入限位孔612时，使得拉杆62固定在这个位置，从而将第一拉绳57固定在这个位置，使得操作员不必再使用外力将拉杆62和第一拉绳57固定，使得操作员更加省力；当需要卸下吸盘54时，可以使用拉住拉杆62的其中一根手指去按动推动杆625，使得推动杆625拉动第二拉绳626，从而将限位杆622拉出限位孔612，此时，活塞55受到第二弹簧56的弹力而复位，从而通过第一拉绳57拉动拉杆62复位，从而使得吸盘54的吸力减小，便能够轻松卸下吸盘54。
56.以上对本实用新型提供的一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置进行了详细介绍。具体实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

技术特征：
1.一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置，其特征在于：包括垂直套筒、主动转杆和从动转杆，所述主动转杆的一端转动安装于垂直套筒的一端内并固定有主动锥齿轮，所述从动转杆的一端转动安装于垂直套筒的另一端内并固定有从动锥齿轮，所述从动锥齿轮与主动锥齿轮啮合连接，所述从动转杆远离垂直套筒的一端固定有用于卡固陶瓷螺丝的螺丝套筒；所述从动转杆上设有支撑组件，所述支撑组件包括滑套和握把，所述握把固定于滑套上，所述滑套套设于从动转杆上。2.根据权利要求1所述的一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置，其特征在于：所述从动转杆上设有推进组件，所述推进组件包括环形凸缘、第一弹簧和多个支撑杆，所述环形凸缘固定于从动转杆上螺丝套筒和滑套之间，所述第一弹簧套设从动转杆上，所述第一弹簧的一端抵靠于环形凸缘上，所述第一弹簧的另一端抵靠于滑套上，多根所述支撑杆呈圆周阵列结构并固定于滑套外，所述支撑杆倾斜于从动转杆设置，所述支撑杆远离滑套的一端朝向螺丝套筒一侧，且当滑套未压缩第一弹簧时，所述支撑杆远离滑套的一端不超过螺丝套筒。3.根据权利要求1所述的一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置，其特征在于：所述垂直套筒的一端内固定有第一环形挡板和第二环形挡板，所述主动转杆的一端转动安装于第一环形挡板和第二环形挡板的内环中，所述主动转杆的一端外固定有第一环形抵板和第二环形抵板，所述第一环形抵板和第二环形抵板均位于第一环形挡板和第二环形挡板之间，且所述第一环形抵板抵靠在第一环形挡板上，所述第二环形抵板抵靠在第二环形挡板上；所述垂直套筒的另一端内固定有第三环形挡板和第四环形挡板，所述从动转杆的一端转动安装于第三环形挡板和第四环形挡板的内环中，所述从动转杆的一端上固定有第三环形抵板和第四环形抵板，所述第三环形抵板和第四环形抵板均位于第三环形挡板和第四环形挡板之间，且所述第三环形抵板抵靠在第三环形挡板上，所述第四环形抵板抵靠在第四环形挡板上。4.根据权利要求1所述的一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置，其特征在于：所述螺丝套筒为一侧敞口、另一侧封闭的橡胶套筒，所述螺丝套筒的封闭端固定于从动转杆远离垂直套筒的一端，所述螺丝套筒的内径小于陶瓷螺丝头部的直径，所述螺丝套筒靠近敞口端的侧壁上开设有两个对称设置的缺口。5.根据权利要求4所述的一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置，其特征在于：所述螺丝套筒靠近从动转杆的内侧壁上固定有能够插入螺丝头槽缝的薄楔形头。6.根据权利要求2所述的一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置，其特征在于：所述支撑杆远离滑套的一端固定有吸盘。7.根据权利要求6所述的一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置，其特征在于：所述支撑杆内开设有吸附通道，所述吸附通道与吸盘连通，所述吸附通道内滑动安装有活塞，所述吸附通道内设置有第二弹簧，所述第二弹簧的一端抵接在活塞上，所述第二弹簧的另一端抵接在吸附通道内远离吸盘的侧壁上，所述活塞靠近第二弹簧的一端固定有第一拉绳，所述第一拉绳远离活塞的一端穿过第二弹簧并穿至支撑杆外，所述握把上安装有用于拉动第一拉绳的拉绳组件。8.根据权利要求7所述的一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置，其特征在于：所述拉绳组件包括u形架和拉杆，所述u形架的两端固定于握把的侧面上，所述u形架的上下两侧均开
设有滑槽，所述拉杆的上下两端分别滑动安装于两个滑槽内，所述u形架远离握把的一侧开设有进线孔，所述第一拉绳从u形架外沿着进线孔穿进u形架内并固定于拉杆上。9.根据权利要求8所述的一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置，其特征在于：所述拉杆的上下两端均开设有第一滑孔，所述第一滑孔内滑动安装有限位杆，所述u形架于滑槽内靠近握把的一侧开设有限位孔，所述限位杆能够插入限位孔内；所述第一滑孔内设有第三弹簧，所述第三弹簧的一端抵接在限位杆上，所述第三弹簧的另一端抵接在第一滑孔内远离限位杆的侧壁上；所述拉杆的中部开设有第二滑孔，所述第二滑孔内滑动安装有推动杆，所述推动杆一端的延伸至第二滑孔外；所述推动杆位于第二滑孔内的一端固定有第二拉绳，所述第二拉绳的另一端延伸至第一滑孔内，所述第二拉绳穿过第三弹簧与限位杆固定连接。10.根据权利要求9所述的一种用于安装mocvd陶瓷螺丝的装置，其特征在于：所述支撑杆、滑套、握把和u形架上均固定有多个线箍，所述第一拉绳穿过线箍并沿线箍的路径设置。

技术总结
本实用新型公开了一种用于安装MOCVD陶瓷螺丝的装置，包括垂直套筒、主动转杆和从动转杆，主动转杆的一端转动安装于垂直套筒的一端内并固定有主动锥齿轮，从动转杆的一端转动安装于垂直套筒的另一端内并固定有从动锥齿轮，从动锥齿轮与主动锥齿轮啮合连接，从动转杆远离垂直套筒的一端固定有用于卡固陶瓷螺丝的螺丝套筒；从动转杆上设有支撑组件，支撑组件包括滑套和握把，握把固定于滑套上，滑套套设于从动转杆上。该装置自带垂直结构，当操作员从MOCVD设备舱门的侧面安装陶瓷螺丝时，无需转动腕臂即可完成陶瓷螺丝的安装，克服了MOCVD设备结构的限制，使得操作员便于从侧面安装MOCVD设备的陶瓷螺丝，降低了安装难度，提高了工作效率。高了工作效率。高了工作效率。


技术研发人员：苑汇帛 张新勇 杨绍林 刘浩飞 郑鑫 张彬
受保护的技术使用者：威科赛乐微电子股份有限公司
技术研发日：2021.09.10
技术公布日：2022/5/25