研磨液贮存泵送组件及循环研磨机的使用方法与流程

1.本发明涉及循环研磨机，具体地涉及一种循环研磨机的研磨液贮存泵送组件。此外，本发明还涉及一种循环研磨机的使用方法。


背景技术：

2.随着高亮度led在照明工程领域的需求量急剧增长，带动了蓝宝石衬底材料制造产业的发展和应用。蓝宝石晶体具有优异的力学性能、良好的热学性能，是半导体gan/al2o3发光二极管、大规模集成电路soi和sos及超导纳米结构薄膜等理想的衬底材料。单晶蓝宝石作为gan基发光二极管应用最广泛的衬底材料，晶片的表面质量直接决定外延质量，进而影响最终led产品的发光性能及寿命，这就要求蓝宝石衬底加工表明具有很高的完整性，及底表明粗糙度、无划痕、无位错、低非晶相变和亚表面损伤，要获得优质的蓝宝石晶片，研磨这道工序必不可少。由于蓝宝石硬度高、脆性大，其加工存在很多困难。
3.蓝宝石衬底研磨主要有循环研磨和直排研磨。其中，循环研磨的流程包含：开机点检
→
配置添加研磨液
→
研磨盘及游星轮测量
→
研磨晶片。然而，在研磨完成后，需要对研磨液筒和研磨机台进行清洗，通常要求清洗人员将移除研磨液筒上的循环泵电机和搅拌电机，这不仅使得清洗过程费时费力，还可能导致磕碰和伤害风险。


技术实现要素：

4.本发明的目的是为了克服现有技术存在的循环研磨机的研磨液筒清洗不便的问题，提供一种用于循环研磨机的研磨液贮存泵送组件和循环研磨机的使用方法，该研磨液贮存泵送组件和使用方法能够便于轻松地对研磨液筒进行清洗，且能够方便地回收研磨液。
5.为了实现上述目的，本发明一方面提供一种用于循环研磨机的研磨液贮存泵送组件，包括研磨液筒，该研磨液筒具有用于贮存研磨液的储液腔以及设有分别连通该储液腔的出液管、循环进液管以及排液口，该排液口设于所述研磨液筒的靠近底部的位置以能够排出所述储液腔内的液体。
6.优选地，所述研磨液筒安装有循环泵电机和传动连接至该循环泵电机并位于所述储液腔内的循环泵，该循环泵能够将所述储液腔内的液体通过所述出液管泵送至所述循环研磨机的机台，并允许该机台上的液体通过所述循环进液管回流至所述储液腔内。
7.优选地，所述循环进液管的连通至所述储液腔的管段上设有第一阀门，并在该第一阀门的上游旁接有设有第二阀门的排液管，以能够通过所述第一阀门和第二阀门控制为使得所述机台上的液体选择性地通过所述循环进液管回流至所述储液腔内或通过所述排液管排出。
8.优选地，所述研磨液筒安装有搅拌电机和传动连接至该搅拌电机并位于所述储液腔内的搅拌机构。
9.优选地，所述排液口设有排液阀。
10.本发明第二方面提供一种循环研磨机的使用方法，所述循环研磨机包括机台和研磨液贮存泵送组件，该研磨液贮存泵送组件包括研磨液筒，该研磨液筒具有用于贮存研磨液的储液腔以及设有分别连通该储液腔的出液管、循环进液管以及排液口，该排液口设于所述研磨液筒的靠近底部的位置，其中，所述使用方法包括清洗所述研磨液筒的工序，该工序包括如下步骤：s11.打开所述排液口，排出所述储液腔内的研磨液；s12.向所述储液腔内加注清洗液，清洗的废液通过所述排液口排出。
11.优选地，所述循环进液管的连通至所述储液腔的管段上设有第一阀门，并在该第一阀门的上游旁接有设有第二阀门的排液管，所述使用方法还包括清洗所述机台的工序，该工序包括如下步骤：s21.关闭所述第一阀门，打开所述第二阀门；s22.清洗所述机台，清洗的废液通过所述排液管排出。
12.优选地，所述研磨液筒安装有循环泵电机和传动连接至该循环泵电机并位于所述储液腔内的循环泵，所述使用方法包括在所述机台上进行研磨的工序，该工序包括：启动所述循环泵电机，以使得循环泵将所述储液腔内的研磨液通过所述出液管泵送至所述机台，并允许该机台上的研磨液通过所述循环进液管回流至所述储液腔内。
13.优选地，所述研磨液筒安装有搅拌电机和传动连接至该搅拌电机并位于所述储液腔内的搅拌机构，在所述机台上进行研磨的工序还包括：启动所述搅拌电机，以通过所述搅拌机构搅拌所述储液腔内的研磨液。
14.优选地，在所述机台上进行研磨的工序用于研磨蓝宝石。
15.通过上述技术方案，本发明的研磨液贮存泵送组件能够在研磨完成后由排液口排出并回收研磨液筒内的研磨液，进而通过向其储液腔内注入清洗液而进行清洗，清洗的废液可通过排液口直接排出，而无需人力搬运研磨液筒上的循环泵电机等器件，能够轻松地完成清洗工作，有效改善了使用便利性。
附图说明
16.图1是根据本发明一种优选实施方式的用于循环研磨机的研磨液贮存泵送组件的结构示意图；
17.图2是根据本发明一种优选实施方式的循环研磨机的使用方法的流程图。
18.附图标记说明
19.1-研磨液筒；2-出液管；3-循环进液管；4-排液口；5-循环泵电机；6-第一阀门；7-第二阀门；8-排液管；9-搅拌电机。
具体实施方式
20.以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
21.在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指参考附图所示的上、下、左、右；“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外。
22.参照图1所示，根据本发明一种优选实施方式的用于循环研磨机的研磨液贮存泵送组件，包括研磨液筒1，该研磨液筒1具有储液腔，以能够贮存用于研磨的研磨液(浆料)，如碳化硼溶液。该研磨液筒1上设有出液管2、循环进液管3以及排液口4，其中，出液管2用于
在研磨过程中将储液腔内的研磨液供应至循环研磨机的机台，而机台上的研磨液又可以通过循环进液管3回流至储液腔内。排液口4设置于研磨液筒1的靠近底部的位置以能够排出储液腔内的液体。例如，排液口4可以设置于研磨液筒1的侧壁上并临近其底壁，或者可以直接设置于底壁上。
23.由此，在研磨完成后或其他需要清洗研磨液筒1情形下，可以使得研磨液筒1内的研磨液直接从排液口4排出，如排出至回收桶内进行回收。储液腔排空后，向该注液腔内注入清洗液(如清水)，并清洗该储液腔，清洗的废液可通过该排液口4直接排出。在此过程中，无需人力搬运研磨液筒1上的例如为循环泵电机5的器件，能够轻松地完成清洗工作，有效改善了使用便利性。其中，排液口4可以由封堵元件封堵，并适时移除该封堵元件而允许研磨液筒1内的液体通过该排液口4排出。在一种优选实施方式中，该排液口4可以设有排液阀。
24.本发明的研磨液贮存泵送组件可以具有满足正常研磨基本需求的相关部件。在图示优选实施方式中，研磨液筒1包括筒体和盖设于该筒体上的筒盖，该桶盖能够至少部分地打开，以在打开状态下能够注入研磨液或清洗液。
25.研磨液筒1的筒盖上安装有循环泵电机5，该循环泵电机5传动连接有伸入至储液腔内的循环泵，该循环泵可以连接于出液管2，由此，启动循环泵电机5，可以由其驱动的循环泵将储液腔内的研磨液通过出液管2泵送至循环研磨机的机台，并允许该机台上的液体通过循环进液管3回流至储液腔内，形成研磨液的循环回路。
26.通常地，为了增加研磨效率，研磨液可以设置为具有颗粒物的悬浮液。为了使得泵送至机台的研磨液成分均匀，还可以在研磨液筒1(的筒盖)上安装搅拌电机9，该搅拌电机9可以驱动搅拌机构搅拌储液腔内的研磨液，以使得研磨液中的固体成分被泵送至研磨位置，保证研磨效率。
27.在一种较为优选的实施方式中，继续参照图1所示，循环进液管3的连通至研磨液筒1的储液腔的管段上可以设有第一阀门6，并在该第一阀门6的上游旁接有设有第二阀门7的排液管8。此处第一阀门6和第二阀门7可以选择为球阀或其他可开闭的阀门。由此，通过控制该第一阀门6和第二阀门7的开闭状态，可以使得机台上的液体选择性地通过循环进液管3回流至储液腔内或通过排液管8排出。在研磨过程中，第一阀门6打开，第二阀门7关闭，研磨液可通过出液管2和循环进液管3在研磨液筒1和机台之间循环流动，由机台返回的研磨液进入研磨液筒1的储液腔；当清洗机台时，第一阀门6关闭，第二阀门7打开，清洗机台产生的废液经过排液管8排出，而不会影响研磨液筒1的储液腔。这有利于该储液腔内贮存有研磨液时单独对机台进行清洗，改善了循环研磨机的使用便利性。
28.结合图2所示，本发明的另一方面提供一种循环研磨机的使用方法，通过以下对该使用方法的说明，可以更好地理解上述研磨液贮存泵送组件的优势。应当说明的是，尽管图示优选实施方式以相对完整的使用步骤介绍了循环研磨机的使用方法，但本发明的使用方法并不尽然地包括全部工序。
29.首先，当需要进行开机研磨时，通过研磨液筒的顶部翻盖向储液腔内加入研磨液；然后经由循环研磨机程序控制，启动循环泵电机和搅拌电机工作，由此，储液腔内的研磨液通过出液管被泵送至机台进行研磨，机台上的研磨液通过循环进液管回流至研磨液筒内。
30.研磨完成后，需要对研磨液筒进行清洗。为此，执行如下清洗研磨液筒的工序，具
体包括如下步骤：s11.打开研磨液筒的排液口，排出储液腔内的研磨液，例如可以排出至回收桶内；s12.研磨液排空后，向储液腔内加注清洗液，清洗研磨液筒，清洗的废液通过排液口4排出。
31.清洗完研磨液筒后，或者在其他情形下，可以对机台进行清洗，为此可以执行如下清洗所述机台的工序，该工序包括如下步骤：s21.关闭第一阀门6，打开第二阀门7；s22.清洗所述机台，清洗的废液通过排液管8排出。
32.本发明的循环研磨机的使用方法可以在机台上对例如为蓝宝石的工件进行研磨。
33.以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于此。在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，包括各个具体技术特征以任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。但这些简单变型和组合同样应当视为本发明所公开的内容，均属于本发明的保护范围。

技术特征：
1.一种用于循环研磨机的研磨液贮存泵送组件，其特征在于，包括研磨液筒(1)，该研磨液筒(1)具有用于贮存研磨液的储液腔以及设有分别连通该储液腔的出液管(2)、循环进液管(3)以及排液口(4)，该排液口(4)设于所述研磨液筒(1)的靠近底部的位置以能够排出所述储液腔内的液体。2.根据权利要求1所述的用于循环研磨机的研磨液贮存泵送组件，其特征在于，所述研磨液筒(1)安装有循环泵电机(5)和传动连接至该循环泵电机(5)并位于所述储液腔内的循环泵，该循环泵能够将所述储液腔内的液体通过所述出液管(2)泵送至所述循环研磨机的机台，并允许该机台上的液体通过所述循环进液管(3)回流至所述储液腔内。3.根据权利要求2所述的用于循环研磨机的研磨液贮存泵送组件，其特征在于，所述循环进液管(3)的连通至所述储液腔的管段上设有第一阀门(6)，并在该第一阀门(6)的上游旁接有设有第二阀门(7)的排液管(8)，以能够通过所述第一阀门(6)和第二阀门(7)控制为使得所述机台上的液体选择性地通过所述循环进液管(3)回流至所述储液腔内或通过所述排液管(8)排出。4.根据权利要求1所述的用于循环研磨机的研磨液贮存泵送组件，其特征在于，所述研磨液筒(1)安装有搅拌电机(9)和传动连接至该搅拌电机(9)并位于所述储液腔内的搅拌机构。5.根据权利要求1所述的用于循环研磨机的研磨液贮存泵送组件，其特征在于，所述排液口(4)设有排液阀。6.一种循环研磨机的使用方法，其特征在于，所述循环研磨机包括机台和研磨液贮存泵送组件，该研磨液贮存泵送组件包括研磨液筒(1)，该研磨液筒(1)具有用于贮存研磨液的储液腔以及设有分别连通该储液腔的出液管(2)、循环进液管(3)以及排液口(4)，该排液口(4)设于所述研磨液筒(1)的靠近底部的位置，其中，所述使用方法包括清洗所述研磨液筒(1)的工序，该工序包括如下步骤：s11.打开所述排液口(4)，排出所述储液腔内的研磨液；s12.向所述储液腔内加注清洗液，清洗的废液通过所述排液口(4)排出。7.根据权利要求6所述的循环研磨机的使用方法，其特征在于，所述循环进液管(3)的连通至所述储液腔的管段上设有第一阀门(6)，并在该第一阀门(6)的上游旁接有设有第二阀门(7)的排液管(8)，所述使用方法还包括清洗所述机台的工序，该工序包括如下步骤：s21.关闭所述第一阀门(6)，打开所述第二阀门(7)；s22.清洗所述机台，清洗的废液通过所述排液管(8)排出。8.根据权利要求6所述的循环研磨机的使用方法，其特征在于，所述研磨液筒(1)安装有循环泵电机(5)和传动连接至该循环泵电机(5)并位于所述储液腔内的循环泵，所述使用方法包括在所述机台上进行研磨的工序，该工序包括：启动所述循环泵电机(5)，以使得循环泵将所述储液腔内的研磨液通过所述出液管(2)泵送至所述机台，并允许该机台上的研磨液通过所述循环进液管(3)回流至所述储液腔内。9.根据权利要求8所述的循环研磨机的使用方法，其特征在于，所述研磨液筒(1)安装有搅拌电机(9)和传动连接至该搅拌电机(9)并位于所述储液腔内的搅拌机构，在所述机台上进行研磨的工序还包括：启动所述搅拌电机(9)，以通过所述搅拌机构搅拌所述储液腔内的研磨液。
10.根据权利要求8所述的循环研磨机的使用方法，其特征在于，在所述机台上进行研磨的工序用于研磨蓝宝石。

技术总结
本发明涉及循环研磨机领域，公开了一种研磨液贮存泵送组件及循环研磨机的使用方法，所述循环研磨机包括机台和研磨液贮存泵送组件，该研磨液贮存泵送组件包括研磨液筒(1)，该研磨液筒(1)具有用于贮存研磨液的储液腔以及设有连通该储液腔的排液口(4)，该排液口(4)设于所述研磨液筒(1)的靠近底部的位置；所述使用方法包括清洗所述研磨液筒(1)的工序，该工序包括如下步骤：S11.打开所述排液口(4)，排出所述储液腔内的研磨液；S12.向所述储液腔内加注清洗液，清洗的废液通过所述排液口(4)排出。本发明能够由排液口排出研磨液筒内的研磨液和清洗废液，无需人力搬运研磨液筒上的循环泵电机等器件，能够轻松地完成清洗工作。能够轻松地完成清洗工作。能够轻松地完成清洗工作。


技术研发人员：郭世超 宋亚滨 翟虎 陆继波
受保护的技术使用者：北京远大信达科技有限公司
技术研发日：2022.02.16
技术公布日：2022/5/25