用于消除全息显示器中的强烈伪影的微镜像素设计的制作方法

用于消除全息显示器中的强烈伪影的微镜像素设计


背景技术：

1.在这一部分中提供的信息是为了总体地呈现本公开的上下文的目的。在本部分中描述的程度上，当前署名的发明人的工作以及在提交时可能不构成现有技术的描述的各方面，既不明示地也不暗示地被认为是本公开的现有技术。
2.本公开总体地涉及显示系统，且更具体地涉及用于消除全息显示器中的强烈伪影的微镜像素设计。
3.平视显示器(hud)可以用于车辆中以辅助乘客进行车辆导航。例如，hud可用于将来自仪表板的数据和其它车辆相关数据投影到挡风玻璃前面的虚拟图像(例如，全息图)中。此外，在虚拟图像中，hud可以用虚拟标志来注释对象(例如，车辆、骑自行车的人、行人、地标等)，显示导航数据(例如，转向箭头、高亮出口等)，在夜间和低能见度条件(例如，雾、雨、暴光等)下增强视觉，等等。hud可以改善乘员的情境意识并且改善乘员在车辆的自主驾驶能力方面的舒适度水平和信任。


技术实现要素：

4.空间光调制器包括半导体衬底以及设置在半导体衬底上以调制光的多个微镜。每个微镜具有中心和周边。每个微镜包括设置在半导体衬底上的反射材料层。在每个微镜中，反射材料层从中心向周边水平地延伸预定距离，并在预定距离之后朝向半导体衬底向下倾斜。
5.在另一特征中，所述反射材料层相对于所述半导体衬底的平面以锐角朝向所述半导体衬底向下倾斜。
6.在另一特征中，空间光调制器还包括设置在所述半导体衬底上的所述反射材料的环形层， 并且所述环形层围绕所述层。
7.在另一个特征中，所述层比所述环形层更宽。
8.在另一特征中，该层比该环形层更厚。
9.在另一特征中，该层比环形层更宽且更厚。
10.在其他特征中，空间光调制器还包括反射材料的环形层，其设置于所述半导体衬底上。所述环形层围绕所述层并且比所述层更窄且更薄。所述环形层的内边缘和外边缘相对于所述半导体衬底的平面以锐角朝向所述半导体衬底向下倾斜。
11.在其他特征中，空间光调制器还包括设置在所述半导体基底上的所述反射材料的第一环形层和第二环形层。所述第一环形层围绕所述层，并且所述第二环形层围绕所述第一环形层。
12.在其它特征中，所述层的外边缘以及所述第一和第二环形层的内边缘和外边缘朝向所述半导体衬底竖直地向下倾斜。
13.在其它特征中，所述层以及所述第一环形层和所述第二环形层具有相同的厚度。
14.在其它特征中，所述层比所述第一环形层和所述第二环形层更宽，并且所述第一环形层和所述第二环形层具有相同的宽度。
15.在其它特征中，所述层的外边缘与所述第一环形层的内边缘之间的距离与所述第一环形层的外边缘与所述第二环形层的内边缘之间的距离相同。
16.在其它特征中，所述层的外边缘以及所述第一环形层和所述第二环形层的内边缘和外边缘朝向所述半导体衬底竖直地向下倾斜。该层与第一和第二环形层具有相同的厚度。该层比第一和第二环形层更宽。第一和第二环形层具有相同的宽度。所述层的外边缘与所述第一环形层的内边缘之间的距离与所述第一环形层的外边缘与所述第二环形层的内边缘之间的距离相同。
17.在另一个特征中，每个微镜是方形的。
18.在其他特征中，用于车辆的平视显示器系统包括空间光调制器、用于感测与车辆相关联的数据的一个或多个传感器、用于处理感测到的数据并且将处理后的数据作为全息图输出到空间光调制器的处理器、以及用于将光输出到空间光调制器的光源。空间光调制器衍射来自空间光调制器上的全息图的光，并通过车辆的挡风玻璃显示全息图。
19.在另一特征中，感测到的数据包括来自车辆的仪表板的数据。
20.在另一特征中，感测到的数据包括关于车辆周围的对象的数据。
21.在其他特征中，处理器将附加数据与处理后的数据一起输出到空间光调制器，并且附加数据被叠加在全息图中显示的感测到的数据上。
22.在其他特征中，附加数据包括注释、警告和导航数据中的至少一个。
23.本技术还可包括下列方案。
24.1. 一种空间光调制器，包括：半导体衬底；以及多个微镜，其设置在所述半导体衬底上以调制光，其中每个微镜具有中心和周边；其中每个微镜包括设置在所述半导体衬底上的反射材料层；并且其中在每个微镜中，所述反射材料层：从所述中心朝向所述周边水平地延伸预定距离；并且在所述预定距离之后，朝向所述半导体衬底向下倾斜。
25.2. 如方案1所述的空间光调制器，其中所述反射材料层相对于所述半导体衬底的平面以锐角朝向所述半导体衬底向下倾斜。
26.3. 如方案1所述的空间光调制器，还包括设置在所述半导体衬底上的所述反射材料的环形层，其中所述环形层围绕所述层。
27.4. 如方案3所述的空间光调制器，其中所述层比所述环形层更宽。
28.5. 如方案3所述的空间光调制器，其中所述层比所述环形层更厚。
29.6. 如方案3所述的空间光调制器，其中，所述层比所述环形层更宽且更厚。
30.7. 如方案2所述的空间光调制器，还包括：反射材料的环形层，其设置于所述半导体衬底上；其中所述环形层围绕所述层并且比所述层更窄且更薄；以及其中所述环形层的内边缘和外边缘相对于所述半导体衬底的平面以锐角朝向所述半导体衬底向下倾斜。
31.8. 如方案1所述的空间光调制器，还包括设置在所述半导体基底上的所述反射材
料的第一环形层和第二环形层，其中所述第一环形层围绕所述层，并且其中所述第二环形层围绕所述第一环形层。
32.9. 如方案8所述的空间光调制器，其中所述层的外边缘以及所述第一和第二环形层的内边缘和外边缘朝向所述半导体衬底竖直地向下倾斜。
33.10. 如方案8所述的空间光调制器，其中所述层以及所述第一和第二环形层具有相同的厚度。
34.11. 如方案8所述的空间光调制器，其中：所述层比所述第一环形层和所述第二环形层更宽；以及第一和第二环形层具有相同的宽度。
35.12. 如方案8所述的空间光调制器，其中所述层的外边缘与所述第一环形层的内边缘之间的距离与所述第一环形层的外边缘与所述第二环形层的内边缘之间的距离相同。
36.13. 如方案8所述的空间光调制器，其中：所述层的外边缘以及所述第一环形层和所述第二环形层的内边缘和外边缘朝向所述半导体衬底竖直地向下倾斜；所述层与所述第一环形层和所述第二环形层具有相同的厚度；所述层比所述第一环形层和所述第二环形层更宽；第一环形层和第二环形层具有相同的宽度；以及所述层的外边缘与所述第一环形层的内边缘之间的距离与所述第一环形层的外边缘与所述第二环形层的内边缘之间的距离相同。
37.14. 如方案1所述的空间光调制器，其中每个所述微镜是方形的。
38.15. 一种用于车辆的平视显示器系统，包括：如方案1所述的空间光调制器；一个或多个传感器，以感测与所述车辆相关联的数据；处理器，以处理感测到的数据并将处理后的数据作为全息图输出到空间光调制器；以及光源，以向所述空间光调制器输出光；其中，所述空间光调制器衍射来自所述空间光调制器上的所述全息图的光，并且通过所述车辆的挡风玻璃显示所述全息图。
39.16. 如方案15所述的平视显示器系统，其中，所述感测到的数据包括来自所述车辆的仪表板的数据。
40.17. 如方案15所述的平视显示器系统，其中，所述感测到的数据包括关于所述车辆周围的对象的数据。
41.18. 如方案15所述的平视显示器系统，其中，所述处理器将附加数据与处理后的数据一起输出到所述空间光调制器，并且其中，所述附加数据被叠加在所述全息图中显示的所述感测到的数据上。
42.19. 如方案18所述的平视显示器系统，其中，所述附加数据包括注释、警告和导航数据中的至少一个。
43.本公开的进一步的应用领域从详细描述、权利要求和附图将变得显而易见。详细描述和具体示例仅旨在用于说明的目的，而不旨在限制本公开的范围。
附图说明
44.本公开从详细描述和附图将变得更完全地被理解，其中：图1是根据本公开的用于车辆的平视显示器(hud)系统的示例；图2示出了使用图1的hud系统投影的图像的示例；图3示出了来自图1的hud系统中使用的空间光调制器(slm)的单个像素(微镜)的衍射图案；图4和5示出了制造slm的方法的示例，该slm具有像素化微镜，该微镜具有设计的反射率曲线以产生期望的远场光分布；图6和7示出了制造slm的方法的另一示例，该slm具有像素化微镜，该微镜具有设计的反射率曲线以产生期望的远场光分布；以及图8和9示出了制造slm的方法的又一示例，该slm具有像素化微镜，该微镜具有设计的反射率曲线以产生期望的远场光分布。
45.在附图中，可以重复使用附图标记来标识类似和/或相同的元件。
具体实施方式
46.基于增强现实(ar)的平视显示器(hud)可以用于产生虚拟图像，该虚拟图像与真实世界对象融合并且可以覆盖在真实世界对象上，以通过增加相关对象的显著性、用有用信息注释真实世界对象并且改进用户体验来增强情境感知。可以使用计算机生成的全息摄影(cgh)将图像投影在hud上。在cgh中，计算对象的全息图并将其编码到空间光调制器(slm)上，slm包括设置成阵列的像素化微镜和相关存储元件。当slm用基准波照射时，再现期望的波前。微镜根据存储在相关存储元件中的数据来调制光。所有像素(即，微镜)的叠加输出产生期望的波前，其将全息图投影在hud上。为了精确地重构对象的波前，slm使用微镜来调制基准波的振幅和相位。
47.图1示出了用于车辆的平视显示器(hud)系统100的示例。系统100包括处理器102、空间光调制器(slm) 104、透镜106和光源108。系统100还包括屏幕110 (例如，车辆的挡风玻璃)。系统100还包括车辆的各种传感器112。例如，传感器112可以包括相机、雷达、激光雷达和感测车辆周围的对象的其他传感器。另外，传感器112可以包括其他传感器，其感测车辆的各种参数，例如速度、轮胎压力、车厢温度、诸如安全带的约束状态等，这些参数通常显示在车辆的仪表板上。
48.处理器102处理由传感器112捕获的数据，并计算要投影到屏幕110前面的对象的全息图。处理器102可以将信息添加到全息图，所述信息诸如来自车辆的仪表板的数据、车辆正在行驶的道路的地图、以及诸如警告的其他注释(例如，突出行人、骑自行车的人等)。例如，处理器102可以从因特网(例如，从经由来自车辆的蜂窝或卫星通信链路的云中的服务器)检索导航数据，诸如地图、天气、交通等。处理器102可以检索关于附近地标(例如，博物馆、餐馆、停车场等)的信息。处理器102可以将这些类型的数据添加到全息图。
49.处理器102将图像数据(以及要在全息图中显示的附加数据)编码到slm 104上。光源108照射slm 104中的微镜(图2中所示)，其调制光。由slm 104输出的调制光通过透镜106，并且全息图像被投影在屏幕110的前面。
50.图2显示使用图1的系统100投影的图像的示例。来自光源108 (例如rgb激光二极
管)的相干照明的示例在120显示。在122处示出了编码到slm 104上的图像的示例。在124处示出了投影在屏幕110前面的图像的全息图的示例。还示出了slm 104的微镜132的阵列130的示例。slm 104的平面(即，slm 104的微镜132的阵列130的平面)被称为源平面，而投影在屏幕110前面的图像124的平面被称为图像平面。
51.图3示出了来自slm的单个像素(微镜)的衍射图案。在具有方形像素(微镜)的常规slm中，反射率贯穿每个方形像素都是恒定的。因此，具有恒定反射率的每个方形像素的衍射图案是具有旁瓣151-1、151-2、151-3等(统称为旁瓣151)的辛格函数150。旁瓣151将图像伪影152-1、152-2、152-3等(统称为图像伪影152)引入全息图像中，这降低了图像质量。
52.本公开提供了各种方法来实现slm 104中的每个微镜132的设计的像素反射率曲线，以消除全息图像124中的图像伪影152。来自slm 104中的微镜132的设计反射率曲线的衍射图案没有旁瓣151，因此没有图像伪影152，这提高了全息图像124的质量。
53.具体地，slm的像素(微镜)的衍射图案是像素的反射率曲线的傅立叶变换。因此，如果像素中的反射率曲线是高斯函数或辛格函数，如160所示，则可以消除旁瓣151 (和图像伪影152)。由于高斯函数的傅立叶变换是高斯函数，因此产生高斯反射率的像素在图像平面上产生无伪影的强度分布，这提高了图像质量。
54.本公开提供了使用接触/非接触光刻在slm的微镜像素上产生期望的反射率曲线的各种方法。具有设计的反射率曲线的像素化微镜的slm调整从slm中的微镜阵列反射的光分布，这消除了全息显示器中的图像伪影152，该图像伪影是由于传统slm中的微镜的方形形式和均匀反射率而产生的。在使用根据本公开设计的微镜的slm中，通过空间地改变镜面的反射率曲线，反射光分布被调整为高斯或艾里盘(下面解释)分布，其在衍射到远场(夫琅和费状态)时分别产生高斯或方波强度分布。
55.本公开提供了用于改变slm的微镜的反射率曲线以在全息显示器中产生期望的远场光分布的三种方法。这些方法将在下面参考图4-9详细地示出和描述。
56.图4和5示出了用于为slm产生具有设计的反射率曲线的像素化微镜以在全息显示器中产生期望的远场光分布的第一方法200。图5示出了第一方法200的流程图。图4示出了结构和在相应结构上执行的第一方法200的步骤。
57.在第一方法200中，在202，在设置在半导体衬底上的微镜阵列250上沉积聚甲基戊二酰亚胺(pmgi)层252。在204，在pmgi层252上沉积光刻胶层254。在206，将具有孔的掩模256 (每个像素一个孔)覆盖在光刻胶层254上。
58.在208，固化光刻胶层254，如图4中258所示。在210，清洗光刻胶层254 (如图4中260所示)。在212，在光刻胶层254下面执行pmgi层252的反应蚀刻，如图5中262所示。蚀刻以预定斜率从pmgi层253的顶部向底部径向向外推进，如图4中262所示。
59.在214，在pmgi层252的蚀刻区域中沉积(例如，使用诸如化学气相沉积或cvd的沉积工艺)反射材料(例如，铝)，如图4中的264所示。沉积的材料具有圆形对称的梯度厚度。
60.在216，去除掩模256，并清洗光刻胶层254和pmgi层252。结果是在半导体衬底上形成微镜阵列250，每个微镜具有从方形微镜的中心向微镜的周边径向(即，水平)延伸的反射材料层266。反射材料层266从中心到方形微镜的中心和周边之间的大约中点具有预定的均匀厚度。从大约中点，反射材料层266的厚度以大约45度(或在大约30和60度之间)的斜率朝向方形微镜的周边线性地减小(即，反射材料266的外边缘逐渐变细)。
61.因此，在图4中268处所见的方形微镜的侧截面图中，反射材料层266具有梯形形状。反射材料266的反射率与薄膜的材料的厚度正相关。当具有反射材料层266的微镜调制光时，反射材料层266的逐渐变薄的厚度从全息图像124消除了旁瓣151和图像伪影152。
62.图6和7示出了用于为slm产生具有设计的反射率曲线的像素化微镜以在全息显示器中产生期望的远场光分布的第二方法300。图7示出了第二方法300的流程图。图6示出了结构和在相应结构上执行的第二方法300的步骤。
63.在第二方法300中，在302，在设置于半导体衬底上的微镜阵列350上沉积光刻胶层352。在304，在光刻胶层352上方设置每像素具有一个艾里斑的艾里斑掩模354。在306，固化光刻胶层352，如图6中356所示。
64.在308，清洗光刻胶层352 (如图6中358所示)。如图6中358所示，在微镜上形成艾里斑图案。在310，在微镜上形成的艾里斑图案上沉积(例如，使用沉积工艺，如化学气相沉积或cvd)反射材料(例如，铝)(如图6中360所示)。在312，去除艾里斑掩模354。
65.结果是在半导体衬底上形成微镜阵列350，每个微镜具有反射材料层，该反射材料层包括在方形微镜中心的中心部分362和围绕中心部分362的环形部分364，这在微镜像素上形成艾里斑反射率曲线。中心部分362从方形微镜的中心到方形微镜的中心和方形微镜的周边之间的第一点具有第一预定的均匀厚度(或高度)。
66.从所述第一点，中心部分362的第一厚度(或高度)朝向环形部分364以约45度(或在30-60度之间)的斜率线性地减小(即，中心部分362的外边缘逐渐变细)到在方形微镜的中心与方形微镜的周边之间的第二点。例如，第二点可以在方形微镜的中心和方形微镜的周边之间的一半处。因此，中心部分362具有第一宽度(即，从方形微镜的中心到逐渐变细开始的第一点具有第一高度的区域)。
67.环形部分364具有小于中心部分362的第一高度的第二预定的均匀厚度(或高度)。环形部分364具有小于中心部分362的第一宽度的第二宽度。环形部分364的第二厚度(或高度)也以大约45度(或30-60度之间)的斜率朝向方形微镜的周边以及朝向中心减小(即，环形部分364的内边缘和外边缘都逐渐变细)。环形部分364的锥形部分的内底边缘可接触中心部分362的外底边缘。
68.因此，在图6中所示的方形微镜的侧截面图中，中心部分362和环形部分364中的每个具有梯形形状。当具有中心部分362和环形部分364的微镜调制光时，中心部分362和环形部分364的逐渐变细的厚度从全息图像124消除旁瓣151和图像伪影152。
69.图8和9示出了用于为slm产生具有设计的反射率曲线的像素化微镜以在全息显示器中产生期望的远场光分布的第三方法400。图9示出了第二方法400的流程图。图8示出了结构和在相应结构上执行的第二方法400的步骤。
70.在第三方法400中，在402，在设置在半导体衬底上的微镜阵列450上沉积光刻胶层452。在404，在光刻胶层452上方设置每像素具有一个针孔或透镜的针孔掩模或透镜阵列454。在406，使用由通过针孔掩模454的衍射产生的辛格函数的强度分布来固化光刻胶层452，如图8中456处所示。
71.在408，清洗光刻胶层452 (如图8中458所示)。如图8中458所示，在微镜上形成类似于辛格函数的图案。在410，在微镜上形成的辛格函数图案上沉积(例如，使用诸如化学气相沉积或cvd的沉积工艺)反射材料(例如，铝)(图8中460所示)。在412，去除针孔掩模454。
结果是在半导体衬底上形成微镜阵列350，其中每个微镜具有反射材料层，该反射材料层具有辛格函数(艾里盘)的反射率曲线，如图8中461所示。
72.具体地，每个微镜具有包括至少三个部分的反射材料层：中心部分462、第一环形部分464和第二环形部分466。中心部分462是圆形的，并且从方形微镜的中心径向延伸到在方形微镜的中心和方形微镜的周边之间的第一点。第一点可以小于方形微镜的中心和方形微镜的周边之间的一半。第一环形部分464围绕中心部分462，并且第二环形部分466围绕第一环形部分464。
73.中心部分462的外边缘以及第一和第二环形部分464、466的内边缘和外边缘是竖直的(即，不倾斜或逐渐变化)。在中心部分462的外边缘与第一环形部分464的内边缘之间的径向距离与在第一环形部分464的外边缘与第二环形部分466的内边缘之间的径向距离相同。三个部分的厚度或高度是相同的。中心部分462具有比第一环形部分464和第二环形部分466中的每个更大的宽度。第一和第二环形部分464、466具有相同的宽度。
74.因此，在图8中所示的方形微镜的侧截面图中，中心部分462以及第一和第二环形部分464、466中的每个具有矩形形状，并且中心部分462以及第一和第二环形部分464、466形成辛格函数图案。当具有中心部分462以及第一和第二环形部分464、466的微镜调制光时，中心部分462以及第一和第二环形部分464、466的辛格函数图案从全息图像124消除旁瓣151和图像伪影152。
75.前述描述本质上仅是说明性的，并且决不意图限制本公开、其应用或使用。本公开的广泛教导可以以各种形式实施。因此，虽然本公开包括特定示例，但是本公开的真实范围不应如此限制，因为在研究附图、说明书和所附权利要求书之后，其他修改将变得显而易见。应当理解，在不改变本公开的原理的情况下，方法内的一个或多个步骤可以以不同的顺序(或同时)执行。
76.此外，尽管上文将实施例中的每一者描述为具有某些特征，但关于本公开的任何实施例描述的那些特征中的任何一者或一者以上可在其它实施例中的任一者的特征中实施及/或与其它实施例中的任一者的特征组合，即使未明确地描述所述组合。换句话说，所描述的实施例不是相互排斥的，并且一个或多个实施例彼此的置换保持在本公开的范围内。
77.使用各种术语描述元件之间(例如，模块、电路元件、半导体层等之间)的空间和功能关系，包括“连接”、“接合”、“耦合/联接”、“相邻”、“紧挨着”、“在顶部”、“之上”、“之下”和“设置”。除非明确地描述为“直接的（地）”，当第一和第二元件之间的关系在上述公开中描述时，该关系可以是在第一和第二元件之间不存在其它中间元件的直接关系，但是也可以是在第一和第二元件之间(在空间上或功能上)存在一个或多个中间元件的间接关系。
78.如在本文使用的，短语a、b和c中的至少一个应该被解释为表示使用非排他逻辑or的逻辑(a or b or c)，并且不应该被解释为表示“a中的至少一个、b中的至少一个、和c中的至少一个”。
79.在附图中，箭头的方向，如箭头所指示的，通常表示图示感兴趣的信息(例如数据或指令)的流动。例如，当元素a和元素b交换各种信息，但是从元素a发送到元素b的信息与图示相关时，箭头可以从元素a指向元素b。该单向箭头不暗示没有其它信息从元素b发送到元素a。此外，对于从元素a发送到元素b的信息，元素b可以向元素a发送对该信息的请求或
对该信息的接收确认。
80.在本技术中，包括下面的定义，术语“模块”或术语“控制器”可以用术语“电路”代替。术语“模块”可以指以下各项、作为以下各项的一部分或者包括以下各项：专用集成电路(asic)；数字、模拟或混合模拟/数字离散电路；数字、模拟或混合模拟/数字集成电路；组合逻辑电路；现场可编程门阵列(fpga)；执行代码的处理器电路(共享、专用或组)；存储器电路(共享、专用或组)，其存储由所述处理器电路执行的代码；提供所述功能的其他合适的硬件组件；或者上述中的一些或全部的组合，例如在片上系统中。
81.该模块可以包括一个或多个接口电路。在一些示例中，接口电路可以包括连接到局域网(lan)、因特网、广域网(wan)或其组合的有线或无线接口。本公开的任何给定模块的功能可以分布在经由接口电路连接的多个模块中。例如，多个模块可以允许负载平衡。在进一步的示例中，服务器(也称为远程或云)模块可以代表客户端模块完成一些功能。
82.如上所使用的术语“代码”可以包括软件、固件和/或微代码，并且可以指代程序、例程、函数、类、数据结构和/或对象。术语“共享处理器电路”包括执行来自多个模块的一些或所有代码的单个处理器电路。术语“组处理器电路”包括与附加处理器电路结合执行来自一个或多个模块的一些或所有代码的处理器电路。
83.对多处理器电路的引用包括离散管芯上的多处理器电路、单个管芯上的多处理器电路、单个处理器电路的多个核、单个处理器电路的多个线程、或以上的组合。术语“共享存储器电路”包括存储来自多个模块的一些或所有代码的单个存储器电路。术语“组存储器电路”包括与附加存储器结合存储来自一个或多个模块的一些或所有代码的存储器电路。
84.术语“存储器电路”是术语计算机可读介质的子集。如本文所使用的术语“计算机可读介质”不包括通过介质(诸如在载波上)传播的暂时的电信号或电磁信号；因此，术语“计算机可读介质”可以被认为是有形的和非暂时性的。非暂时性有形计算机可读介质的非限制性示例是非易失性存储器电路(诸如闪存存储器电路、可擦除可编程只读存储器电路或掩模只读存储器电路)、易失性存储器电路(诸如静态随机存取存储器电路或动态随机存取存储器电路)、磁存储介质(诸如模拟或数字磁带或硬盘驱动器)和光存储介质(诸如cd、dvd或蓝光光盘)。
85.本技术中描述的设备和方法可以部分地或完全地由通过配置通用计算机以执行计算机程序中实施的一个或多个特定功能而创建的专用计算机来实现。上述功能块、流程图部件和其它元素用作软件规范，其可以由熟练技术人员或程序员的例行工作转换成计算机程序。
86.计算机程序包括存储在至少一个非暂时性有形计算机可读介质上的处理器可执行指令。计算机程序还可以包括或依赖于所存储的数据。计算机程序可以包括与专用计算机的硬件交互的基本输入/输出系统(bios)、与专用计算机的特定装置交互的装置驱动器、一个或多个操作系统、用户应用、后台服务、后台应用等。
87.计算机程序可以包括：(i)要解析的描述性文本，诸如html(超文本标记语言)、xml(可扩展标记语言)或json(javascript对象符号)；(ii)汇编代码；(iii)由编译器从源代码生成的目标代码；(iv)由解释器执行的源代码；(v)由即时编译器编译和执行的源代码，等等。仅作为示例，可以使用来自包括c、c 、c #、objective-c、swift、haskell、go、sql、r、lisp、java
®
、fortran、perl、pascal、curl、ocaml、javascript
®
、html5(超文本标记语言
第5次修订)、ada、asp(活动服务器页面)、php(php：超文本预处理器)、scala、eiffel、smalltalk、erlang、ruby、flash
®
、visual basic
®
、lua、matlab、simulink和python
®
的语言的语法来编写源代码。

技术特征：
1.一种空间光调制器，包括：半导体衬底；以及多个微镜，其设置在所述半导体衬底上以调制光，其中每个微镜具有中心和周边；其中每个微镜包括设置在所述半导体衬底上的反射材料层；并且其中在每个微镜中，所述反射材料层：从所述中心朝向所述周边水平地延伸预定距离；并且在所述预定距离之后，朝向所述半导体衬底向下倾斜。2.如权利要求1所述的空间光调制器，其中所述反射材料层相对于所述半导体衬底的平面以锐角朝向所述半导体衬底向下倾斜。3.如权利要求1所述的空间光调制器，还包括设置在所述半导体衬底上的所述反射材料的环形层，其中所述环形层围绕所述层。4.如权利要求3所述的空间光调制器，其中所述层比所述环形层更宽。5.如权利要求3所述的空间光调制器，其中所述层比所述环形层更厚。6.如权利要求3所述的空间光调制器，其中，所述层比所述环形层更宽且更厚。7.如权利要求2所述的空间光调制器，还包括：反射材料的环形层，其设置于所述半导体衬底上；其中所述环形层围绕所述层并且比所述层更窄且更薄；以及其中所述环形层的内边缘和外边缘相对于所述半导体衬底的平面以锐角朝向所述半导体衬底向下倾斜。8.如权利要求1所述的空间光调制器，还包括设置在所述半导体基底上的所述反射材料的第一环形层和第二环形层，其中所述第一环形层围绕所述层，并且其中所述第二环形层围绕所述第一环形层。9.如权利要求8所述的空间光调制器，其中所述层的外边缘以及所述第一和第二环形层的内边缘和外边缘朝向所述半导体衬底竖直地向下倾斜。10.如权利要求8所述的空间光调制器，其中所述层以及所述第一和第二环形层具有相同的厚度。

技术总结
本发明涉及用于消除全息显示器中的强烈伪影的微镜像素设计。空间光调制器包括半导体衬底以及设置在半导体衬底上以调制光的多个微镜。每个微镜具有中心和周边。每个微镜包括设置在半导体衬底上的反射材料层。在每个微镜中，反射材料层从中心向周边水平地延伸预定距离，并在预定距离之后朝向半导体衬底向下倾斜。斜。斜。


技术研发人员：T
受保护的技术使用者：通用汽车环球科技运作有限责任公司
技术研发日：2021.05.13
技术公布日：2022/5/25