一种夹取晶片的镊子的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种夹取晶片的镊子。


背景技术：

2.在晶片生产过程中，将完整的晶体切割成晶片后通常存放于晶片卡塞内，卡塞作为临时存储和转移过渡的生产工具在晶片生产过程中有着极其重要的地位。
3.目前，将晶片从卡塞中取出来的工具主要是真空吸笔和硬质橡胶镊子；当使用真空吸笔吸取晶片时，因为晶片放置在卡塞内方向不确定，当晶片的正面放置在外侧时，真空吸笔吸取晶片时真空吸笔的吸嘴会与晶片正面接触，容易导致晶片的正面出现刮伤缺陷；当使用硬质塑料的镊子时如果用力较轻可能会出现滑落导致晶片坠落，用力较大的话则可能夹破晶片。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的是提出一种夹取晶片的镊子，旨在增大镊子夹取晶片时的接触面积，减少晶片垂直方向上的力，减少碰伤晶片正面的概率。
5.为实现上述目的，本实用新型提出的夹取晶片的镊子，所述镊子包括：
6.第一镊臂；
7.第二镊臂，所述第一镊臂的一端与第二镊臂的一端固定连接；
8.第一夹持件，所述第一夹持件的一端与所述第一镊臂的另一端连接，所述第一夹持件的另一端设置有第一圆弧片；
9.第二夹持件，所述第二夹持件的一端与所述第二镊臂的另一端连接，所述第二夹持件的另一端设置有第二圆弧片，所述第一圆弧片与所述第二圆弧片相对配合设置。
10.可选地，所述第一圆弧片的外周壁上设置有一挡片。
11.可选地，所述挡片设置为圆弧状。
12.可选地，所述挡片与所述第一圆弧片相互垂直。
13.可选地，所述第一夹持件与所述第一镊臂可拆卸连接，所述第二夹持件与所述第二镊臂可拆卸连接。
14.可选地，所述第一夹持件还包括第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆的一端与所述第二连接杆的一端固定连接，所述第一连接杆的另一端与所述第一圆弧片的一端固定连接，所述第二连接杆的另一端与所述第一圆弧片的另一端固定连接。
15.可选地，所述第二夹持件还包括第三连接杆和第四连接杆，所述第三连接杆的一端与所述第四连接杆的一端固定连接，所述第三连接杆的另一端与所述第二圆弧片的一端固定连接，所述第四连接杆的另一端与所述第二圆弧片的另一端固定连接。
16.可选地，所述第一镊臂的另一端设置有第一连接片，所述第二镊臂的另一端设置有第二连接片，所述第一连接片与所述第一夹持件可拆卸连接，所述第二连接片与所述第二夹持件可拆卸连接。
17.可选地，所述第二圆弧片的内侧设置若干个凸起所述凸起的材质为橡胶。
18.可选地，所述第一圆弧片的外周壁上设置有至少一个定位销，所述第二圆弧片的外周壁上设置有与所述定位销相对应的定位孔。
19.本实用新型技术方案通过采用第一镊臂、第二镊臂、第一夹持件、第二夹持件、第一圆弧片和第二圆弧片，增大镊子夹取晶片时的接触面积，增大接触面积上的最远两个接触点之间的夹角，减少晶片垂直方向上的力，减少碰伤晶片正面的概率。
附图说明
20.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
21.图1为本实用新型镊子一实施例的结构示意图；
22.图2为本实用新型镊子另一实施例的结构示意图；
23.图3为图2中a处的局部放大图；
24.图4为本实用新型镊子又一实施例的结构示意图。
25.附图标号说明：
26.标号名称标号名称110第一镊臂120第二镊臂130第一夹持件131第一圆弧片140第二夹持件141第二圆弧片132挡片133第一连接杆134第二连接杆142第三连接杆143第四连接杆111第一连接片121第二连接片144凸起135定位销145定位孔
27.本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
30.另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一
个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
31.在本实用新型实施例中，如图1-4所示，该镊子包括：第一镊臂110、第二镊臂120、第一夹持件130以及第二夹持件140；所述第一镊臂110的一端与第二镊臂120的一端固定连接；所述第一夹持件130的一端与所述第一镊臂110的另一端连接，所述第一夹持件130的另一端设置有第一圆弧片131；所述第二夹持件140的一端与所述第二镊臂120的另一端连接，所述第二夹持件140的另一端设置有第二圆弧片141，所述第一圆弧片131与所述第二圆弧片141相对配合设置。当需要夹取晶片时，将第一圆弧片131与晶片的背面接触，第二圆弧片141与晶片的正面接触，用力压紧第一镊臂110和第二镊臂120，通过第一镊臂110和第二镊臂120分别给第一圆弧片131和第二圆弧片141施加压力，使第一圆弧片131和第二圆弧片141分别给晶片背面和正面一个压力，使第一圆弧片131和晶片的背面产生摩擦力以及是第二圆弧片141和晶片的正面产生摩擦力，通过晶片正面和背面的摩擦力将晶片从卡塞中取出。其中，第一圆弧片131和第二圆弧片141的半径和夹取的晶片的半径相同，能够增大镊子与晶片的接触面积。
32.本实用新型技术方案通过采用第一镊臂110、第二镊臂120、第一夹持件130、第二夹持件140、第一圆弧片131和第二圆弧片141，增大镊子夹取晶片时的接触面积，增大接触面积上的最远两个接触点之间的夹角，减少晶片垂直方向上的力，减少碰伤晶片正面的概率。
33.具体的，为了确定晶片的夹取位置、更好的固定晶片，防止晶片碰伤，防止镊子除第一圆弧片131和第二圆弧片141以外的部件接触晶片，所述第一圆弧片131的外周壁上设置有一挡片132。其中，挡片的高度小于晶片的厚度。
34.具体的，为了更好的确定晶片的夹取位置，所述挡片132设置为圆弧状。
35.具体的，为了更好的确定晶片的夹取位置，所述挡片132与所述第一圆弧片131相互垂直。
36.具体的，为了及时便于更换第一夹持件130和第二夹持件140，节省镊子的成本，所述第一夹持件130与所述第一镊臂110可拆卸连接，所述第二夹持件140与所述第二镊臂120可拆卸连接。
37.具体的，为了减轻镊子的重量，节约镊子的制造材料，节约镊子的成本，所述第一夹持件130还包括第一连接杆133和第二连接杆134，所述第一连接杆133的一端与所述第二连接杆134的一端固定连接，所述第一连接杆133的另一端与所述第一圆弧片131的一端固定连接，所述第二连接杆134的另一端与所述第一圆弧片131的另一端固定连接。
38.具体的，为了进一步减轻镊子的重量，节约镊子的制造材料，节约镊子的成本，所述第二夹持件140还包括第三连接杆142和第四连接杆143，所述第三连接杆142的一端与所述第四连接杆143的一端固定连接，所述第三连接杆142的另一端与所述第二圆弧片141的一端固定连接，所述第四连接杆143的另一端与所述第二圆弧片141的另一端固定连接。
39.所述第一镊臂110的另一端设置有第一连接片111，所述第二镊臂120的另一端设置有第二连接片121，所述第一连接片111与所述第一夹持件130可拆卸连接，所述第二连接片121与所述第二夹持件140可拆卸连接。
40.具体的，为了防止第二圆弧片141在夹取晶片时碰伤晶片的正面，所述第二圆弧片141的内侧设置若干个凸起144所述凸起144的材质为橡胶。
41.具体的，为了更好的固定晶片，所述第一圆弧片131的外周壁上设置有至少一个定位销135，所述第二圆弧片141的外周壁上设置有与所述定位销135相对应的定位孔145。
42.本实用新型技术方案通过采用第一镊臂110、第二镊臂120、第一夹持件130、第二夹持件140、第一圆弧片131和第二圆弧片141，增大镊子夹取晶片时的接触面积，增大接触面积上的最远两个接触点之间的夹角，减少晶片垂直方向上的力，减少碰伤晶片正面的概率。
43.以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

技术特征：
1.一种夹取晶片的镊子，其特征在于，所述镊子包括：第一镊臂；第二镊臂，所述第一镊臂的一端与第二镊臂的一端固定连接；第一夹持件，所述第一夹持件的一端与所述第一镊臂的另一端连接，所述第一夹持件的另一端设置有第一圆弧片；第二夹持件，所述第二夹持件的一端与所述第二镊臂的另一端连接，所述第二夹持件的另一端设置有第二圆弧片，所述第一圆弧片与所述第二圆弧片相对配合设置。2.根据权利要求1所述的镊子，其特征在于，所述第一圆弧片的外周壁上设置有一挡片。3.根据权利要求2所述的镊子，其特征在于，所述挡片设置为圆弧状。4.根据权利要求3所述的镊子，其特征在于，所述挡片与所述第一圆弧片相互垂直。5.根据权利要求1至4中任一项所述的镊子，其特征在于，所述第一夹持件与所述第一镊臂可拆卸连接，所述第二夹持件与所述第二镊臂可拆卸连接。6.根据权利要求5所述的镊子，其特征在于，所述第一夹持件还包括第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆的一端与所述第二连接杆的一端固定连接，所述第一连接杆的另一端与所述第一圆弧片的一端固定连接，所述第二连接杆的另一端与所述第一圆弧片的另一端固定连接。7.根据权利要求5所述的镊子，其特征在于，所述第二夹持件还包括第三连接杆和第四连接杆，所述第三连接杆的一端与所述第四连接杆的一端固定连接，所述第三连接杆的另一端与所述第二圆弧片的一端固定连接，所述第四连接杆的另一端与所述第二圆弧片的另一端固定连接。8.根据权利要求5所述的镊子，其特征在于，所述第一镊臂的另一端设置有第一连接片，所述第二镊臂的另一端设置有第二连接片，所述第一连接片与所述第一夹持件可拆卸连接，所述第二连接片与所述第二夹持件可拆卸连接。9.根据权利要求1至4中任一项所述的镊子，其特征在于，所述第二圆弧片的内侧设置若干个凸起，所述凸起的材质为橡胶。10.根据权利要求1至4中任一项所述的镊子，其特征在于，所述第一圆弧片的外周壁上设置有至少一个定位销，所述第二圆弧片的外周壁上设置有与所述定位销相对应的定位孔。

技术总结
本实用新型公开一种夹取晶片的镊子，其中，镊子包括：第一镊臂、第二镊臂、第一夹持件以及第二夹持件；所述第一镊臂的一端与第二镊臂的一端固定连接；所述第一夹持件的一端与所述第一镊臂的另一端连接，所述第一夹持件的另一端设置有第一圆弧片；所述第二夹持件的一端与所述第二镊臂的另一端连接，所述第二夹持件的另一端设置有第二圆弧片，所述第一圆弧片与所述第二圆弧片相对配合设置。本实用新型技术方案通过采用第一镊臂、第二镊臂、第一夹持件、第二夹持件、第一圆弧片和第二圆弧片，增大镊子夹取晶片时的接触面积，增大接触面积上的最远两个接触点之间的夹角，减少晶片垂直方向上的力，减少碰伤晶片正面的概率。减少碰伤晶片正面的概率。减少碰伤晶片正面的概率。


技术研发人员：彭鹏 平登宏
受保护的技术使用者：威科赛乐微电子股份有限公司
技术研发日：2021.08.31
技术公布日：2022/5/25