一种衬底包装袋的制作方法

1.本实用新型属于包装袋技术领域，尤其涉及一种衬底包装袋。


背景技术：

2.衬底特指尚未开始进行表面加工的晶圆，衬底如果长时间暴露在空气中，极易影响衬底质量，一方面，衬底会与空气中的氧气发生反应；另一方面，空气中的灰尘等容易吸附在衬底上。因此，衬底在清洗车间完成清洗后，需要快速的进行包装，避免衬底长时间暴露在空气中。
3.目前对衬底进行包装时，先将衬底放入晶圆盒中，再将晶圆盒放入包装袋中，随后将包装袋放入抽真空装置中，通过抽真空装置将包装袋内的空气抽出。由于衬底本身容易破碎，抽真空装置无法将包装袋内的空气全部抽出，因此，需要向包装袋内充入氮气，将包装袋内原有的空气排出，降低包装袋内的氧含量，最后通过抽真空装置将包装袋封死即可。
4.现有技术中，在向包装袋内充入氮气时，常常从包装袋的开口处充入氮气，再将包装袋内的氮气抽出，并多次循环，以达到降低包装袋内氧含量的目的，但这样的方式因为需要多次向包装袋内充入氮气的原因，氮气利用率低，成本较高。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种衬底包装袋，解决现有技术在向包装袋内充入氮气时，氮气利用率低，成本较高的问题。
6.本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：
7.一种衬底包装袋，包括袋体，所述袋体包括表层和底层，所述袋体内设置有导气组件，所述导气组件包括第一带体和第二带体，所述表层、底层、第一带体和第二带体形成气道，所述气道包括传输段和出气段，所述传输段位于袋体内的一侧，所述传输段的顶端设置有进气口，所述进气口与袋体的袋口齐平，所述出气段位于袋体内的底部，所述出气段的区域内开设有若干通孔，若干所述通孔等距分布。
8.进一步，所述第一带体与第二带体之间设置有弯折部。
9.进一步，所述进气口处设置有封口带，所述封口带上开设有插孔，所述插孔的圆周处缝合有弹性环。
10.进一步，所述封口带的中部位置向气道内弯曲。
11.进一步，所述表层于袋体的袋口处开设有缺口。
12.本实用新型的有益效果：
13.本实用新型的一种衬底包装袋，一方面，通过设置导气组件，氮气充气管向气道内充入氮气，氮气从进气口进入氮气后，通过传输段进入到出气段内，并通过出气段上开设的通孔进入到袋体内，将袋体内残存的空气从袋体的开口处挤出，能够在保证袋体内含氧量符合要求的前提下，有效降低氮气的消耗量，节约成本；另一方面，通过设置封口带，便于氮气充气管插入插孔内，且能够防止充入气道内的氮气从进气口处外溢。
附图说明
14.图1是本实用新型一种衬底包装袋的结构示意图；
15.图2是本实用新型一种衬底包装袋的剖面结构示意图；
16.图3是本实用新型一种衬底包装袋中进气口处的放大结构示意图；
17.图4是本实用新型一种衬底包装袋的截面示意图。
18.其中，袋体1，表层11，缺口111，底层12，第一带体21，第二带体22，弯折部23，气道3，传输段31，进气口311，出气段32，通孔321，封口带4，插孔41，弹性环42。
具体实施方式
19.以下将结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明：
20.如图1-图4所示，本实用新型的一种衬底包装袋，包括袋体1，袋体1包括表层11和底层12，袋体1内设置有导气组件，导气组件包括第一带体21和第二带体22，表层11、底层12、第一带体21和第二带体22形成气道3，气道3包括传输段31和出气段32，传输段31位于袋体1内的一侧，传输段31的顶端设置有进气口311，进气口311与袋体1的袋口齐平，出气段32位于袋体1内的底部，出气段32的区域内开设有若干通孔321，若干通孔321等距分布。当需要向袋体1内充入氮气时，可将氮气充气管插入进气口311内，氮气充气管的插入的位置应位于袋体1最终封口的区域外。向气道3内充入氮气，氮气从进气口311进入氮气后，通过传输段31进入到出气段32内，并通过出气段32上开设的通孔321进入到袋体1的内底部，将袋体1内残存的空气从袋体1的开口处挤出，再通过抽真空装置将袋体1和气道3密封。氮气消耗量少，且有效降低包装袋内的氧含量，节约成本。
21.第一带体21与第二带体22之间设置有弯折部23，通过设置弯折部23，当抽真空装置进行抽真空步骤，第一带体21和第二带体22折叠时，避免第一带体21与第二带体22的连接处破损。
22.进气口311处设置有封口带4，封口带4上开设有插孔41，氮气充气管可插入插孔41内，当氮气充气管充气时，封口带4能够防止充入气道3内的氮气从进气口311处外溢。通孔321的圆周处缝合有弹性环42，通过设置弹性环42，能够对插入通孔321的氮气充气管进行简单固定和密封，防止氮气充气管随意移动。
23.封口带4的中部位置向气道3内弯曲，一方面，当抽真空装置进行抽真空步骤时，封口带4能够向内折叠；另一方面，形成一个类似漏斗的结构，便于氮气充气管插入插孔41内。
24.表层11于袋体1的袋口处开设有缺口111，通过设置缺口111，便于工作人员将袋体1的表层11和底层12打开，从而将装有衬底的晶圆盒快速放入袋体1内。
25.本实用新型的一种衬底包装袋使用时，先将衬底放入晶圆盒中，再将晶圆盒放入袋体1中，随后将袋体1放入抽真空装置中，并将氮气充气管插入进气口311处的插孔41内，通过抽真空装置将包袋体1内的空气抽出。再通过氮气充气管向气道3内充入氮气，氮气从进气口311进入氮气后，通过传输段31进入到出气段32内，并通过出气段32上开设的通孔321进入到袋体1内，将袋体1内残存的空气从袋体1的开口处挤出，最后通过抽真空装置将袋体1和气道3密封。本实施例的一种衬底包装袋，相对于现有技术来说，能够降低氮气消耗量，且有效降低包装袋内的氧含量，节约成本。
26.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对
本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。


技术特征：
1.一种衬底包装袋，包括袋体，所述袋体包括表层和底层，其特征在于：所述袋体内设置有导气组件，所述导气组件包括第一带体和第二带体，所述表层、底层、第一带体和第二带体形成气道，所述气道包括传输段和出气段，所述传输段位于袋体内的一侧，所述传输段的顶端设置有进气口，所述进气口与袋体的袋口齐平，所述出气段位于袋体内的底部，所述出气段的区域内开设有若干通孔，若干所述通孔等距分布。2.根据权利要求1所述的一种衬底包装袋，其特征在于：所述第一带体与第二带体之间设置有弯折部。3.根据权利要求2所述的一种衬底包装袋，其特征在于：所述进气口处设置有封口带，所述封口带上开设有插孔，所述插孔的圆周处缝合有弹性环。4.根据权利要求2所述的一种衬底包装袋，其特征在于：所述封口带的中部位置向气道内弯曲。5.根据权利要求1-4任一所述的一种衬底包装袋，其特征在于：所述表层于袋体的袋口处开设有缺口。

技术总结
本实用新型属于包装袋技术领域，具体涉及一种衬底包装袋，包括袋体，所述袋体包括表层和底层，所述袋体内设置有导气组件，所述导气组件包括第一带体和第二带体，所述表层、底层、第一带体和第二带体形成气道，所述气道包括传输段和出气段，所述传输段位于袋体内的一侧，所述传输段的顶端设置有进气口，所述进气口与袋体的袋口齐平，所述出气段位于袋体内的底部，所述出气段的区域内开设有若干通孔，若干所述通孔等距分布。解决在向包装袋内充入氮气时，常常从包装袋的开口处充入氮气，再将包装袋内的氮气抽出，多次循环，以达到降低包装袋内氧含量的目的，但氮气利用率低，成本较高。成本较高。成本较高。


技术研发人员：张鑫 蒋昌朋 张鹏程
受保护的技术使用者：威科赛乐微电子股份有限公司
技术研发日：2021.08.31
技术公布日：2022/5/25