一种精密气浮转台的制作方法

1.本发明涉及气浮转台技术领域，尤其涉及一种精密气浮转台。


背景技术：

2.转台作为工具机的工作台，可以被旋转到任一位置并固定在该位置。目前，转台结构多是底座上设置同轴的机械轴承内圈和轴承外圈，轴承外圈支撑，内圈一端与驱动组件连接，另一端连接承载平台。
3.但上述结构的转台，使得平台端面跳动与径向跳动受轴承局限，无法做到更高精度。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种精密气浮转台，避免使用机械轴承，使得转台的精度更高。
5.为达上述目的，本发明采用以下技术方案：
6.本发明提供一种精密气浮转台，该精密气浮转台包括：
7.安装座；
8.驱动组件，设于所述安装座，
9.气浮轴承转子，连接于所述驱动组件的输出端；
10.转接盘，设于气浮轴承转子的端部，所述转接盘和所述气浮轴承转子围设成环形槽，所述转接盘设有第一通孔；
11.气浮轴承定子，设于所述安装座，且所述气浮轴承定子的下端面和所述环形槽的下侧面平行设置，所述气浮轴承定子的部分上端面和所述环形槽的上侧面平行设置，所述气浮轴承定子的内表面绕所述气浮轴承转子的周向设置；
12.正压组件，所述正压组件包括至少一个正压入口，所述正压入口用于提供正压气体，所述正压气体在所述气浮轴承定子的上端面、下端面和位于所述气浮轴承转子周向的内表面产生气膜。
13.作为一种精密气浮转台的优选方案，所述正压组件还包括分压正压通道、第一正压通道、第二正压通道和第三正压通道，所述正压入口和所述分压正压通道连通，所述第一正压通道连通于所述分压正压通道和所述气浮轴承定子的上端面的节流孔之间，所述第二正压通道连通于所述分压正压通道和所述气浮轴承定子的下端面的节流孔之间，所述第三正压通道连通于所述分压正压通道和所述气浮轴承定子的内表面的节流孔之间。
14.作为一种精密气浮转台的优选方案，所述精密气浮转台还包括负压组件，所述负压组件包括至少一个负压入口，所述负压入口用于提供负压气体，所述负压气体经过所述气浮轴承定子后与所述第一通孔连通。
15.作为一种精密气浮转台的优选方案，所述负压组件还包括负压进入通道、第一负压通道、负压环形槽；所述负压进入通道和所述负压入口和所述负压进入通道连通，所述负
压环形槽设于所述气浮轴承定子的上端面，所述第一负压通道连通于所述负压进入通道和所述负压环形槽之间，所述负压环形槽和所述第一通孔连通。
16.作为一种精密气浮转台的优选方案，所述精密气浮转台还包括隔离组件，所述隔离组件用于将所述气浮轴承定子的上端面的正压气体和经过所述气浮轴承定子的负压气体隔开、将所述气浮轴承定子的上端面和内表面的正压气体隔开、将所述气浮轴承定子的下端面和内表面的正压气体隔开。
17.作为一种精密气浮转台的优选方案，所述第一负压通道贯通所述气浮轴承定子的上下端面；所述隔离组件包括设于所述气浮轴承定子的上端面的第一大气环形槽、设于所述安装座和所述气浮轴承转子之间的第二大气环形槽、设于所述转接盘下端面的第三大气环形槽和设于所述气浮轴承定子下端面与所述气浮轴承定子的内表面交界处的第四大气环形槽，所述第一大气环形槽位于所述气浮轴承定子的上端面的节流孔和所述负压环形槽之间；所述第二大气环形槽位于所述气浮轴承定子的下端面的节流孔和所述第一负压通道的入口之间；所述第三大气环形槽位于连通所述气浮轴承定子的上端面与所述气浮轴承定子的内表面的交界处；所述第一大气环形槽、所述第二大气环形槽、所述第三大气环形槽和所述第四大气环形槽均与外界环境连通。
18.作为一种精密气浮转台的优选方案，所述驱动组件包括电机转子和电机定子，所述电机转子和所述电机定子具有贯通的内腔，所述电机定子固定于所述安装座，所述电机转子套设于所述气浮轴承转子。
19.作为一种精密气浮转台的优选方案，所述精密气浮转台还包括固定件，所述固定件设于所述气浮轴承转子，所述气浮轴承转子设有承载台，所述电机转子一端和所述承载台抵接，另一端和所述固定件抵接。
20.作为一种精密气浮转台的优选方案，所述精密气浮转台光栅还包括光栅和承载件，所述承载件设于所述气浮轴承转子，所述光栅具有贯通的内腔，所述光栅套设于所述气浮轴承转子，且固定于所述承载件。
21.作为一种精密气浮转台的优选方案，所述精密气浮转台还包括散热组件，所述散热组件用于为所述驱动组件散热。
22.本发明的有益效果为：
23.本发明提供一种精密气浮转台，用于半导体行业高精度晶圆检测，该精密气浮转台包括安装座、驱动组件、气浮轴承转子和气浮轴承定子。其中，驱动组件螺接于安装座，气浮轴承转子连接于驱动组件的输出端；气浮轴承转子的端部设有转接盘，转接盘和气浮轴承转子围设成环形槽，转接盘设有第一通孔；气浮轴承定子螺接于安装座，且气浮轴承定子的部分下端面和环形槽的下侧面平行设置，气浮轴承定子的部分上端面和环形槽的上侧面平行设置，气浮轴承定子的内表面绕气浮轴承转子的周向设置；气浮轴承定子设有正压组件和负压组件，正压组件包括至少一个正压入口，正压入口用于提供正压气体，正压气体在气浮轴承定子的上端面、下端面和位于气浮轴承转子周向的内表面产生气膜，其中，气浮轴承定子上端面、下端面的气膜为圆环形，内表面产生气膜为圆筒形。负压组件包括至少一个负压入口，负压入口用于提供负压气体，负压气体经过气浮轴承定子后与第一通孔连通。
24.本实施例中，通过将气浮轴承定子设于气浮轴承转子和转接盘围设的环形槽中，使得气浮轴承定子的上端面、下端面以及内侧面均能产生气膜。该设置一方面能避免和气
为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
43.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
44.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
45.转台结构多是底座上设置同轴的机械轴承内圈和轴承外圈，轴承外圈支撑，内圈一端与驱动组件连接，另一端连接承载平台。但上述结构的转台，使得平台端面跳动与径向跳动受轴承局限，无法做到更高精度。为解决上述问题，现有技术的专利文献(cn102011918)公开了一种高精度直驱式气浮转台，对应气浮组件为分离体，且气浮组件只有垂向上端面和旋转面为气浮面，气浮轴承定子平衡位置会随气压变化而变化，具体地，当气压增加时，转台高度升高，其他降低时，转台的高度降低，进而使得转台的高度处于不稳定的状态，容易影响承载结果。
46.如图1-6所示，本实施例提供一种精密气浮转台，用于半导体行业高精度晶圆检测，该精密气浮转台包括安装座1、驱动组件2、气浮轴承转子3和气浮轴承定子4。其中，驱动组件2螺接于安装座1，气浮轴承转子3连接于驱动组件2的输出端；气浮轴承转子3的端部设有转接盘31，转接盘31和气浮轴承转子3围设成环形槽，转接盘31设有第一通孔311；气浮轴承定子4螺接于安装座1，且气浮轴承定子4的部分下端面和环形槽的下侧面平行设置，气浮轴承定子4的部分上端面和环形槽的上侧面平行设置，气浮轴承定子4的内表面绕气浮轴承转子3的周向设置；气浮轴承定子4设有正压组件和负压组件，正压组件包括至少一个正压入口11，正压入口11用于提供正压气体，正压气体在气浮轴承定子4的上端面、下端面和位于气浮轴承转子3周向的内表面产生气膜，其中，气浮轴承定子4上端面、下端面的气膜为圆环形，内表面产生气膜为圆筒形，且气膜的厚度在10微米-15微米之间。负压组件包括至少一个负压入口12，负压入口12用于提供负压气体，负压气体经过气浮轴承定子4后与第一通孔311连通。其中，气浮轴承定子4的上、下端面的气膜用于保证气浮轴承转子3的倾斜刚度，气浮轴承定子4的内表面产生的气膜用于保证浮轴承转子3的水平刚度。
47.本实施例中，通过将气浮轴承定子4设于气浮轴承转子3和转接盘31围设的环形槽中，使得气浮轴承定子4的上端面、下端面以及内侧面均能产生气膜，进而避免和气浮轴承转子3发生摩擦，大大提高了精密气浮转台的集成度，提高了气浮轴承转子3的转动精度，具有较高的动态稳定性；第二方面，由于气浮轴承定子4的上下端面能产生气膜，当气压增大或减小时，气浮轴承定子4的上下端面的气膜的支撑力同时相应的增加或减小，因此，气膜的厚度不会发生改变，进而使得转接盘31的平衡位置不会随着气压的变化而变化；第三方面还能适应多种负载，当负载增加时，气浮轴承定子4上端面的气膜厚度增加，气浮轴承定
子4下端面的气膜厚度减少，从而达到平衡位置。
48.可选地，本实施例中，精密气浮转台整体高度需低于100mm，最大外径小于300mm，一阶模态高于500hz。借助上述设置，使得精密气浮转台能适用于多种工作场合，且尺寸较小，便于运输与安装。
49.本实施例中，优选地，负压入口12设有两个，两个入口设在安装座1的侧面，两个负压入口12的设置，使得晶圆受的吸附力较为平衡。
50.优选地，正压组件还包括分压正压通道51、第一正压通道41、第二正压通道42和第三正压通道43，正压入口11和分压正压通道51连通，第一正压通道41连通于分压正压通道51和气浮轴承定子4的上端面的节流孔之间，第二正压通道42连通于分压正压通道51和气浮轴承定子4的下端面的节流孔之间，第三正压通道43连通于分压正压通道51和气浮轴承定子4的内表面的节流孔之间。具体地，第一正压通道41、第二正压通道42和第三正压通道43均设于气浮轴承定子4内。该设置能使得气浮轴承定子4上端面、下端面和内表面的产生气膜，保证了气浮轴承定子4和气浮轴承转子3之间的各个接触面均有气膜。进一步地，气浮轴承定子4上端面、下端面和内表面上的节流孔均绕气浮轴承定子4的轴向环形设置。
51.本实施例中，结合图7所示，可选地，气浮轴承定子4的内表面为圆柱形，气流在气浮轴承定子4和浮转轴件3之间的圆环空间内流动。
52.当精密气浮转台作为负载固定在可移动的平台上时，为避免气浮轴承转子3沿垂直于气浮轴承定子4的中心线方向移动过程和气浮轴承定子4发生接触，导致浮轴承转子3和/或气浮轴承定子4产生磨损。本实施例中，结合图8所示，进步一地，气浮轴承定子4的内表面设有环形槽。环形槽的横截面为v形，且第三正压通道43的出气端位于环形槽的槽底。其中，环形槽的深度3微米-10微米，优选为5微米。该结构使得气流在这样可以在有限的空间里达到极大的承载刚度(气浮轴承定子4和浮转轴件3之间的圆环槽的厚度为10微米，环形槽的深度为5微米，则能环形槽处的气膜厚度为15微米，刚度能达到35n/um)，进而能够允许该精密气浮转台被当做负载沿垂直于气浮轴承定子4中心线的方向移动。
53.可选地，正压入口11设于安装座1，安装座1还设有正压进入通道13，正压进入通道13连通于正压入口11和分压正压通道51之间。进一步地，正压进入通道13连通有调压阀，调压阀用于调节进入分压正压通道51的气压。可选地，分压正压通道51设于气浮轴承定子4和安装座1之间，具体地，安装座1安装气浮轴承定子4处的内径大于气浮轴承定子4的外径，且在安装座1和气浮轴承定子4之间的缝隙的上下端设置密封圈，密封圈、气浮轴承定子4和安装座1围设成分压正压通道51。
54.作为优选，负压组件还包括负压进入通道14、第一负压通道44、负压环形槽45；负压进入通道14和负压入口12和负压进入通道14连通，负压环形槽45设于气浮轴承定子4的上端面，第一负压通道44连通于负压进入通道14和负压环形槽45之间，负压环形槽45和第一通孔311连通。具体地，负压进入通道14设于安装座1，第一负压通道44设于气浮轴承定子4，负压环形槽45设于气浮轴承定子4的上端面。借助上述结构的设置能实现负压的传递，且能满足转接盘31和气浮轴承定子4相对转动的结构。
55.可选地，转接盘31上设置有连接盘32，连接盘32设有第二通孔321，第二通孔321和第一通孔311连通。具体地，连接盘32螺接于转接盘31，其中，连接盘32设有连接固定孔324，转接盘31设有螺孔，锁紧螺栓穿过连接固定孔324螺接于螺孔内。进一步地，连接盘32上设
有承载盘33，承载盘33设有第三通孔331，第二通孔321和第三通孔331连通，承载盘33用于承载工件100，其中，第三通孔331用于吸附工件100。本实施例中，工件100可以为晶圆，当然，在其他实施例中，工件100还可以为其他产品，并不以此为限。
56.进一步地，为适应第三通孔331的位置，连接盘32设有第四通孔322，第四通孔322与第二通孔321平行设置，且第四通孔322位于第二通孔321靠近气浮轴承转子3轴心的一侧，第二通孔321与第四通孔322通过水平通孔323连通，第四通孔322与第三通孔331连通。
57.本实施例中，可选地，气浮轴承转子3设有贯通气浮轴承转子3上下端面的内部通道。即气浮轴承转子3为中空结构，该设置使得气浮轴承转子3质量更轻，集成性更好，另外，中空的结构使得气浮轴承转子3旋转过程中更加稳定，进而有效地提高了检测的精准性。
58.本实施例中，可选地，连接盘32与承载盘33进行螺栓固定。优选地，承载盘33材料选择碳化硅。另外，为了提高连接盘32与承载盘33螺接的稳定性，在连接盘32和承载盘33分别设有三个接口，由于驱动组件2发热可能引起连接盘32的三个接口不共面，从而引起材料脆性变形等可能性。为避免上述问题的出现，本实施例中，优选地，在连接盘32上设计柔性连接接口326，通过柔性连接接口326与承载盘33进行螺栓固定。该设置解决了三点连接的垂向解耦问题。需要说明的是，柔性连接接口326为本领域技术人员所熟知，因此，其具体地的结构和工作原理在此不再赘述。
59.为保证负压气体有效地传输，本实施例中，连接盘32与承载盘33之间设有第一o型密封圈，转接盘31与连接盘32之间设有第二o型密封圈，其中，第一o型密封圈设于连接盘32且围设于第四通孔322外周，第二o型密封圈设于转接盘31且围设于第一通孔311外周。
60.优选地，精密气浮转台还包括隔离组件，隔离组件用于将气浮轴承定子4的上端面的正压气体和经过气浮轴承定子4的负压气体隔开、将气浮轴承定子4的上端面和内表面的正压气体隔开、将气浮轴承定子4的下端面和内表面的正压气体隔开。借助上述设置，能实现气浮轴承定子4上端面、下端面和内表面的气膜相互隔离，且能实现气浮轴承定子4上端面正压气体和负压气体之间的隔离，防止气体串扰，使得气流稳定，提高气浮轴承转子3的抗串扰性。
61.可选地，第一负压通道44贯通气浮轴承定子4的上下端面；隔离组件包括设于气浮轴承定子4的上端面的第一大气环形槽46、设于安装座1和气浮轴承转子3之间的第二大气环形槽52、设于转接盘31下端面的第三大气环形槽312和设于气浮轴承定子4下端面与气浮轴承定子4的内表面交界处的第四大气环形槽47，第一大气环形槽46位于气浮轴承定子4的上端面的节流孔和负压环形槽45之间；第二大气环形槽52位于气浮轴承定子4的下端面的节流孔和第一负压通道44的入口之间；第三大气环形槽312位于连通气浮轴承定子4的上端面与气浮轴承定子4的内表面的交界处。第一大气环形槽46、第二大气环形槽52、第三大气环形槽312和第四大气环形槽47均与外界环境连通。本实施例中，借助上述结构能实现气浮轴承定子4上各气膜之间的隔离，以及正负气压的隔离。其中，第二大气环形槽52直接连通外界环境；第四大气环形槽47通过第四连通孔a48和第四连通孔b49与外界环境连通，其中第四连通孔b49为气浮轴承定子4内的水平孔，连通内部通道和第二大气环形槽52，第四连通孔a48为气浮转台内的倾斜孔，第四连通孔a48连通第四连通孔b49和第四大气环形槽47。第一大气环形槽46通过设于气浮轴承定子4的第一连通孔461和外界环境连通，具体地，第一连通孔461连通第一大气环形槽46和第二大气环形槽52，其中，第一连通孔461和第一负
压通道44平行。第三大气环形槽312通过设于转接盘31的第三连通孔和外界环境连通，其中，第三连通孔在图中未示出。
62.另外，气浮轴承定子4为一体式结构，且能兼容三种气体，集成性高，使得起伏状态的气浮轴承转子3的整体刚度较高。
63.优选地，驱动组件2可以包括电机，其中电机包括电机转子22和电机定子21，电机转子22和电机定子21具有贯通的内腔，电机定子21固定于安装座1，电机转子22套设于气浮轴承转子3。该设置未占用气浮轴承转子3的内腔结构，使得气浮轴承转子3的转动更加平稳。
64.进一步地，精密气浮转台还包括固定件61，固定件61设于气浮轴承转子3，气浮轴承转子3设有承载台，电机转子22一端和承载台抵接，另一端和固定件61抵接。固定件61的设置提高了电机转子22和气浮轴承转子3之间连接的牢固程度。
65.驱动组件2工作时会产生热量，为了将热量散发，本实施例中，精密气浮转台还包括散热组件，散热组件用于为驱动组件2散热。具体地，散热组件包括水冷组件，水冷组件包括水冷箱体62，水冷箱体62设于安装座1，且围设于电机定子21外周。
66.同时为降低驱动组件2发热对测量系统和气浮稳定性的影响，电机定子21与安装座1之间设有隔热件63。其中，隔热件63为pom材料(聚甲醛，热塑性结晶聚合物)。具体地，隔热件63设于安装座1，隔热件63和水冷箱体62和隔热件63围设成开口朝向气浮轴承转子3的u形槽，电机定子21设于u形槽中，电机定子21的外周面抵接于水冷箱体62。
67.为提高精密气浮转台的控制精度，本实施例中，可选地，精密气浮转台光栅64还包括光栅64和承载件65，承载件65设于气浮轴承转子3，光栅64具有贯通的内腔，光栅64套设于气浮轴承转子3，且一端和固定件61抵接，另一端和承载件65抵接。可选地，光栅64和承载件65粘接。为了降低驱动组件2发热对光栅64测量精度的影响，承载件65材料为4j36。其中，4j36是一种具有超低膨胀系数的特殊的低膨胀铁镍合金。
68.可选地，水冷箱体62连通有进水管和出水管，固定外壳66固定于出水管，读数头67螺接于固定外壳66，读数头67用于对光栅64读数。优选地，固定外壳66设有高度调节机构，读数头67设置于高度调节机构的输出端。
69.转接盘31为精密浮转台的对内接口，连接盘32与转接盘31通过螺栓连接，连接盘32可通过调平接口325相对转接盘31进行rx/ry方向调节，保证了连接盘32上表面相对于安装座1的尺寸误差。
70.可选地，安装座1设有对外固定接口15，对外固定接口15为螺纹孔，用于将安装座1和外部的平台螺接。进一步地，安装座1还设有调整机构，用于对外固定接口15的调平。该设置使得精密气浮转台对外、对内皆可进行调平，有利于装配过程中尺寸链控制。
71.显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

技术特征：
1.一种精密气浮转台，其特征在于，包括：安装座(1)；驱动组件(2)，设于所述安装座(1)，气浮轴承转子(3)，连接于所述驱动组件(2)的输出端；转接盘(31)，设于气浮轴承转子(3)的端部，所述转接盘(31)和所述气浮轴承转子(3)围设成环形槽，所述转接盘(31)设有第一通孔(311)；气浮轴承定子(4)，设于所述安装座(1)，且所述气浮轴承定子(4)的下端面和所述环形槽的下侧面平行设置，所述气浮轴承定子(4)的部分上端面和所述环形槽的上侧面平行设置，所述气浮轴承定子(4)的内表面绕所述气浮轴承转子(3)的周向设置；正压组件，所述正压组件包括至少一个正压入口(11)，所述正压入口(11)用于提供正压气体，所述正压气体在所述气浮轴承定子(4)的上端面、下端面和位于所述气浮轴承转子(3)周向的内表面产生气膜。2.根据权利要求1所述的精密气浮转台，其特征在于，所述正压组件还包括分压正压通道(51)、第一正压通道(41)、第二正压通道(42)和第三正压通道(43)，所述正压入口(11)和所述分压正压通道(51)连通，所述第一正压通道(41)连通于所述分压正压通道(51)和所述气浮轴承定子(4)的上端面的节流孔之间，所述第二正压通道(42)连通于所述分压正压通道(51)和所述气浮轴承定子(4)的下端面的节流孔之间，所述第三正压通道(43)连通于所述分压正压通道(51)和所述气浮轴承定子(4)的内表面的节流孔之间。3.根据权利要求2所述的精密气浮转台，其特征在于，所述精密气浮转台还包括负压组件，所述负压组件包括至少一个负压入口(12)，所述负压入口(12)用于提供负压气体，所述负压气体经过所述气浮轴承定子(4)后与所述第一通孔(311)连通。4.根据权利要求3所述的精密气浮转台，其特征在于，所述负压组件还包括负压进入通道(14)、第一负压通道(44)、负压环形槽(45)；所述负压进入通道(14)和所述负压入口(12)和所述负压进入通道(14)连通，所述负压环形槽(45)设于所述气浮轴承定子(4)的上端面，所述第一负压通道(44)连通于所述负压进入通道(14)和所述负压环形槽(45)之间，所述负压环形槽(45)和所述第一通孔(311)连通。5.根据权利要求4所述的精密气浮转台，其特征在于，所述精密气浮转台还包括隔离组件，所述隔离组件用于将所述气浮轴承定子(4)的上端面的正压气体和经过所述气浮轴承定子(4)的负压气体隔开、将所述气浮轴承定子(4)的上端面和内表面的正压气体隔开、将所述气浮轴承定子(4)的下端面和内表面的正压气体隔开。6.根据权利要求5所述的精密气浮转台，其特征在于，所述第一负压通道(44)贯通所述气浮轴承定子(4)的上下端面；所述隔离组件包括设于所述气浮轴承定子(4)的上端面的第一大气环形槽(46)、设于所述安装座(1)和所述气浮轴承转子(3)之间的第二大气环形槽(52)、设于所述转接盘(31)下端面的第三大气环形槽(312)和设于所述气浮轴承定子(4)下端面与所述气浮轴承定子(4)的内表面交界处的第四大气环形槽(47)，所述第一大气环形槽(46)位于所述气浮轴承定子(4)的上端面的节流孔和所述负压环形槽(45)之间；所述第二大气环形槽(52)位于所述气浮轴承定子(4)的下端面的节流孔和所述第一负压通道(44)的入口之间；所述第三大气环形槽(312)位于连通所述气浮轴承定子(4)的上端面与所述气浮轴承定子(4)的内表面的交界处；所述第一大气环形槽(46)、所述第二大气环形槽(52)、
所述第三大气环形槽(312)和所述第四大气环形槽(47)均与外界环境连通。7.根据权利要求1所述的精密气浮转台，其特征在于，所述驱动组件(2)包括电机转子(22)和电机定子(21)，所述电机转子(22)和所述电机定子(21)具有贯通的内腔，所述电机定子(21)固定于所述安装座(1)，所述电机转子(22)套设于所述气浮轴承转子(3)。8.根据权利要求7任一项所述的精密气浮转台，其特征在于，所述精密气浮转台还包括固定件(61)，所述固定件(61)设于所述气浮轴承转子(3)，所述气浮轴承转子(3)设有承载台，所述电机转子(22)一端和所述承载台抵接，另一端和所述固定件(61)抵接。9.根据权利要求1-8任一项所述的精密气浮转台，其特征在于，所述精密气浮转台光栅(64)还包括光栅(64)和承载件(65)，所述承载件(65)设于所述气浮轴承转子(3)，所述光栅(64)具有贯通的内腔，所述光栅(64)套设于所述气浮轴承转子(3)，且固定于所述承载件(65)。10.根据权利要求1-8任一项所述的精密气浮转台，其特征在于，所述精密气浮转台还包括散热组件，所述散热组件用于为所述驱动组件(2)散热。

技术总结
本发明涉及气浮转台技术领域，具体公开了一种精密气浮转台，该精密气浮转台包括安装座、驱动组件、气浮轴承转子和气浮轴承定子。其中，驱动组件螺接于安装座，气浮轴承转子连接于驱动组件的输出端；气浮轴承转子的端部设有转接盘，转接盘和气浮轴承转子围设成环形槽，转接盘设有第一通孔；气浮轴承定子螺接于安装座，气浮轴承定子设有正压组件和负压组件，正压组件包括至少一个正压入口，正压入口用于提供正压气体，正压气体在气浮轴承定子的上端面、下端面和位于气浮轴承转子周向的内表面产生气膜。上述设置，使得气浮轴承定子的上端面、下端面以及内侧面均能产生气膜，进而避免和气浮轴承转子发生摩擦，提高了气浮轴承转子的转动精度。动精度。动精度。


技术研发人员：陈淮阳 王冰冰
受保护的技术使用者：合肥御微半导体技术有限公司
技术研发日：2022.03.15
技术公布日：2022/5/25