一种化学气相沉积炉用导气座的制作方法

1.本实用新型涉及导气装置技术领域，特别涉及一种化学气相沉积炉用导气座。


背景技术：

2.化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术；
3.目前，在进行化学气相沉积时，需要向沉积炉内导入反应气体，不可避免需要设计导气装置来连接管路，其次，在化学气相沉积时，炉底振动容易导致锁紧螺母松动，而造成气体泄漏，为此，我们提出一种化学气相沉积炉用导气座。


技术实现要素：

4.（一）解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种化学气相沉积炉用导气座，解决上述背景技术中存在的技术问题。
6.（二）技术方案
7.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
8.一种化学气相沉积炉用导气座，该导气座包括用于与气相沉积炉气体分布器连接的上连接口、导气座筒体以及用于与进气软管连接的下连接口，其中，所述上连接口和下连接口分别设置在导气座筒体的上下两端。
9.优选的，所述导气座采用圆钢制成。
10.优选的，所述上连接口设置在导气座筒体的内壁，上连接口为内管螺纹，内管螺纹为管螺纹和锥螺纹的其中一组。
11.优选的，所述下连接口设置在导气座筒体的外壁，且下连接口为外管螺纹，外管螺纹为管螺纹和锥螺纹的其中一组。
12.（三）有益效果
13.本申请通过设计用于连接进气软管的内螺丝管螺纹，还有用于连接炉底的外螺丝管螺纹，能够将反应气体导入沉积炉中，同时还能避免因炉底振动导致锁紧螺母松动而造成气体泄漏。
附图说明
14.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
15.图1为本实用新型一种化学气相沉积炉用导气座的整体结构示意图。
16.图例说明：1、上连接口；2、导气座筒体；3、下连接口。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。此外，下文为了描述方便，所引用的“上”、“下”、“左”、“右”等于附图本身的上、下、左、右等方向一致，下文中的“第一”、“第二”等为描述上加以区分，并没有其他特殊含义。
18.针对现有技术中存在的问题，参照图1所示，本实用新型提供一种化学气相沉积炉用导气座，该导气座包括用于与气相沉积炉气体分布器连接的上连接口1、导气座筒体2以及用于与进气软管连接的下连接口3，其中，上连接口1和下连接口3分别设置在导气座筒体2的上下两端。
19.参照图1所示，导气座采用圆钢制成。
20.参照图1所示，上连接口1设置在导气座筒体2的内壁，上连接口1为内管螺纹，内管螺纹为管螺纹和锥螺纹的其中一组。
21.参照图1所示，下连接口3设置在导气座筒体2的外壁，且下连接口3为外管螺纹，外管螺纹为管螺纹和锥螺纹的其中一组。
22.使用时，先将气相沉积炉气体分布器，与导气座筒体2内部的上连接口1螺纹连接在一起，之后再将反应气体的进气软管，与导气座筒体2外部的下连接口3螺纹连接在一起，从而将反应气体的进气软管与气相沉积炉气体分布器连通，沉积气体通过外螺纹连接的下连接口3，进入导气座筒体2内部，最后经过内螺纹连接的上连接口1进入化学气相沉积炉气体分布器，同时，在炉底振动时，通过螺纹与管道连接的导气座筒体2不会发生松动，从而提高进气软管与气相沉积炉气体分布器连接的稳定性。
实施例
23.参照图1所示，本实用新型提供一种化学气相沉积炉用导气座，该导气座包括用于与气相沉积炉气体分布器连接的上连接口1、导气座筒体2以及用于与进气软管连接的下连接口3，其中，上连接口1和下连接口3分别设置在导气座筒体2的上下两端。
24.参照图1所示，导气座采用圆钢制成。
25.参照图1所示，上连接口1设置在导气座筒体2的内壁，上连接口1为内管螺纹，内管螺纹为管螺纹和锥螺纹的其中一组。
26.参照图1所示，下连接口3设置在导气座筒体2的外壁，且下连接口3为外管螺纹，外管螺纹为管螺纹和锥螺纹的其中一组。
27.本领域技术人员可以理解附图只是一个优选实施场景的示意图，附图中的模块或流程并不一定是实施本专利所必须的。
28.本领域技术人员可以理解实施场景中的装置中的模块可以按照实施场景描述进行分布于实施场景的装置中，也可以进行相应变化位于不同于本实施场景的一个或多个装置中。上述实施场景的模块可以合并为一个模块，也可以进一步拆分成多个子模块。
29.以上公开的仅为本专利的具体实施场景，但是，本专利并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本专利的保护范围。


技术特征：
1.一种化学气相沉积炉用导气座，其特征在于，该导气座包括用于与气相沉积炉气体分布器连接的上连接口（1）、导气座筒体（2）以及用于与进气软管连接的下连接口（3），其中，所述上连接口（1）和下连接口（3）分别设置在导气座筒体（2）的上下两端。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用导气座，其特征在于：所述导气座采用圆钢制成。3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用导气座，其特征在于：所述上连接口（1）设置在导气座筒体（2）的内壁，上连接口（1）为内管螺纹，内管螺纹为管螺纹和锥螺纹的其中一组。4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用导气座，其特征在于：所述下连接口（3）设置在导气座筒体（2）的外壁，且下连接口（3）为外管螺纹，外管螺纹为管螺纹和锥螺纹的其中一组。

技术总结
本实用新型公开了一种化学气相沉积炉用导气座，该导气座包括用于与气相沉积炉气体分布器连接的上连接口、导气座筒体以及用于与进气软管连接的下连接口，其中，所述上连接口和下连接口分别设置在导气座筒体的上下两端。本实用新型所述的一种化学气相沉积炉用导气座，主要设计了用于连接进气软管的管螺纹，还有用于连接炉底的外螺丝管螺纹，本设计避免了因炉底振动导致锁紧螺母松动而造成气体泄漏。底振动导致锁紧螺母松动而造成气体泄漏。底振动导致锁紧螺母松动而造成气体泄漏。


技术研发人员：李志保 裴洋 樊乾国 侯光远 贾武林 杨浩
受保护的技术使用者：西安美兰德新材料有限责任公司
技术研发日：2021.10.29
技术公布日：2022/5/25