一种离子注入机的注入过程监测装置的制作方法

1.本实用新型涉及离子注入设备，尤其涉及一种离子注入机的注入过程监测装置。


背景技术：

2.在一种离子注入机的运行过程中，一般需要在晶圆处设置监测装置，以监测离子注入过程的剂量分布情况，以便于对注入过程进行调节，达到最佳注入效果。常用的监测装置采用固定结构，当某监测探头的位置发生偏差时容易给出错误的监测数据，对离子注入过程晶圆产品的质量造成不利影响。因此，有必要对这种监测装置进行结构优化，以克服上述缺陷。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种离子注入机的注入过程监测装置，以提升监测效率和精度。
4.本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：
5.一种离子注入机的注入过程监测装置，包括：
6.支承装配组件，该支承装配组件安装于机架上，其内部具有安装空间；
7.转接定位组件，该转接定位组件安装于支承装配组件上；
8.传动调节组件，该传动调节组件通过转动结构安装于转接定位组件上，并与驱动机构配合，由驱动机构带动传动调节组件在转接定位组件上偏转；
9.承载定位组件，该承载定位组件安装于传动调节组件上，可随传动调节组件一同偏转，其形状与晶圆承载机构适配；
10.轴向监测组件，该轴向监测组件安装于承载定位组件上，并位于晶圆承载机构后方，由轴向监测组件对晶圆的轴向进行离子注入监测；
11.径向监测组件，该径向监测组件安装于承载定位组件上，并位于晶圆承载机构外侧，由径向监测组件对晶圆的径向进行离子注入监测。
12.支承装配组件包括：
13.支承座板，该支承座板为圆形，其边缘开设有一组配合槽口；
14.装配夹爪，该装配夹爪设有一组，各装配夹爪分别通过开合结构安装于机架上，并与配合槽口适配，由装配夹爪对支承座板进行固定或松脱。
15.转接定位组件包括：
16.转接座板，该转接座板通过连接件固定于支承座板顶面，其直径小于支承座板的直径，其内部开设有转接轴孔。
17.传动调节组件包括：
18.调节座体，该调节座体底端通过转动结构与转接轴孔配合，可在转接座板上偏转，其外壁开设有传动齿圈，调节座体通过传动齿圈与驱动机构配合，由驱动机构带动调节座体在转接座板上偏转。
19.承载定位组件包括：
20.承载座体，该承载座体通过连接件固定于调节座体顶面，可随调节座体一同偏转，其顶部边缘具有定位棱边，定位棱边向承载座体上方凸出。
21.轴向监测组件包括：
22.轴向探头，该轴向探头设有一组，各轴向探头分别安装于承载座体的顶面，并沿晶圆的轴向延伸，其末端指向晶圆承载机构的背面，由轴向探头对晶圆的轴向进行离子注入监测。
23.径向监测组件包括：
24.径向探头，该径向探头设有一组，各径向探头分别安装于定位棱边上，并沿晶圆的径向延伸，其末端指向晶圆承载机构边缘，由径向探头对晶圆的径向进行立柱注入监测。
25.本实用新型的优点在于：
26.该监测装置在承载座体上设置轴向探头与径向探头，使得监测方位更为全面，得以更全面地掌握离子注入过程中的离子分布情况，给工艺调节或改进提供依据，并且承载座体可随调节座体一同偏转，使得轴向探头与径向探头的监测位置可根据需要进行连续或间断变换，减小某些探头位置偏差造成的影响，有利于提升监测效率和精度，从而提高产品质量。
附图说明
27.图1是本实用新型提出的离子注入机的注入过程监测装置的结构示意图；
28.图2是该监测装置的安装状态示意图。
具体实施方式
29.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
30.如图1、图2所示，本实用新型提出的离子注入机的注入过程监测装置包括支承装配组件、转接定位组件、传动调节组件、承载定位组件、轴向监测组件及径向监测组件，支承装配组件安装于机架上，其内部具有安装空间，转接定位组件安装于支承装配组件上，传动调节组件通过转动结构安装于转接定位组件上，并与驱动机构配合，由驱动机构带动传动调节组件在转接定位组件上偏转，承载定位组件安装于传动调节组件上，可随传动调节组件一同偏转，其形状与晶圆承载机构适配，轴向监测组件安装于承载定位组件上，并位于晶圆承载机构后方，由轴向监测组件对晶圆的轴向进行离子注入监测，径向监测组件安装于承载定位组件上，并位于晶圆承载机构外侧，由径向监测组件对晶圆的径向进行离子注入监测。支承装配组件包括支承座板110及装配夹爪120，支承座板为圆形，其边缘开设有一组
配合槽口111，装配夹爪设有一组，各装配夹爪分别通过开合结构安装于机架上，并与配合槽口适配，由装配夹爪对支承座板进行固定或松脱。转接定位组件包括转接座板200，转接座板通过连接件固定于支承座板顶面，其直径小于支承座板的直径，其内部开设有转接轴孔。传动调节组件包括调节座体300，调节座体底端通过转动结构与转接轴孔配合，可在转接座板上偏转，其外壁开设有传动齿圈，调节座体通过传动齿圈与驱动机构配合，由驱动机构带动调节座体在转接座板上偏转。承载定位组件包括承载座体400，承载座体通过连接件固定于调节座体顶面，可随调节座体一同偏转，其顶部边缘具有定位棱边410，定位棱边向承载座体上方凸出。轴向监测组件包括轴向探头500，轴向探头设有一组，各轴向探头分别安装于承载座体的顶面，并沿晶圆的轴向延伸，其末端指向晶圆承载机构a的背面，由轴向探头对晶圆的轴向进行离子注入监测。径向监测组件包括径向探头600，径向探头设有一组，各径向探头分别安装于定位棱边上，并沿晶圆的径向延伸，其末端指向晶圆承载机构边缘，由径向探头对晶圆的径向进行立柱注入监测。在本实施例中，轴向探头及径向探头由法拉第探测器充任。该监测装置在承载座体上设置轴向探头与径向探头，使得监测方位更为全面，得以更全面地掌握离子注入过程中的离子分布情况，给工艺调节或改进提供依据，并且承载座体可随调节座体一同偏转，使得轴向探头与径向探头的监测位置可根据需要进行连续或间断变换，减小某些探头位置偏差造成的影响，有利于提升监测效率和精度，从而提高产品质量。
31.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“设置”、“连接”等术语应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

技术特征：
1.一种离子注入机的注入过程监测装置，其特征在于，包括：支承装配组件，该支承装配组件安装于机架上，其内部具有安装空间；转接定位组件，该转接定位组件安装于支承装配组件上；传动调节组件，该传动调节组件通过转动结构安装于转接定位组件上，并与驱动机构配合，由驱动机构带动传动调节组件在转接定位组件上偏转；承载定位组件，该承载定位组件安装于传动调节组件上，可随传动调节组件一同偏转，其形状与晶圆承载机构适配；轴向监测组件，该轴向监测组件安装于承载定位组件上，并位于晶圆承载机构后方，由轴向监测组件对晶圆的轴向进行离子注入监测；径向监测组件，该径向监测组件安装于承载定位组件上，并位于晶圆承载机构外侧，由径向监测组件对晶圆的径向进行离子注入监测。2.根据权利要求1所述的一种离子注入机的注入过程监测装置，其特征在于，支承装配组件包括：支承座板，该支承座板为圆形，其边缘开设有一组配合槽口；装配夹爪，该装配夹爪设有一组，各装配夹爪分别通过开合结构安装于机架上，并与配合槽口适配。3.根据权利要求2所述的一种离子注入机的注入过程监测装置，其特征在于，转接定位组件包括：转接座板，该转接座板通过连接件固定于支承座板顶面，其直径小于支承座板的直径，其内部开设有转接轴孔。4.根据权利要求3所述的一种离子注入机的注入过程监测装置，其特征在于，传动调节组件包括：调节座体，该调节座体底端通过转动结构与转接轴孔配合，可在转接座板上偏转，其外壁开设有传动齿圈，调节座体通过传动齿圈与驱动机构配合。5.根据权利要求4所述的一种离子注入机的注入过程监测装置，其特征在于，承载定位组件包括：承载座体，该承载座体通过连接件固定于调节座体顶面，可随调节座体一同偏转，其顶部边缘具有定位棱边，定位棱边向承载座体上方凸出。6.根据权利要求5所述的一种离子注入机的注入过程监测装置，其特征在于，轴向监测组件包括：轴向探头，该轴向探头设有一组，各轴向探头分别安装于承载座体的顶面，并沿晶圆的轴向延伸，其末端指向晶圆承载机构的背面。7.根据权利要求5所述的一种离子注入机的注入过程监测装置，其特征在于，径向监测组件包括：径向探头，该径向探头设有一组，各径向探头分别安装于定位棱边上，并沿晶圆的径向延伸，其末端指向晶圆承载机构边缘。

技术总结
本实用新型提出一种离子注入机的注入过程监测装置，包括支承装配组件、转接定位组件、传动调节组件、承载定位组件、轴向监测组件及径向监测组件，该监测装置在承载座体上设置轴向探头与径向探头，使得监测方位更为全面，得以更全面地掌握离子注入过程中的离子分布情况，给工艺调节或改进提供依据，并且承载座体可随调节座体一同偏转，使得轴向探头与径向探头的监测位置可根据需要进行连续或间断变换，减小某些探头位置偏差造成的影响，有利于提升监测效率和精度，从而提高产品质量。从而提高产品质量。从而提高产品质量。


技术研发人员：彭强祥 刘仁杰
受保护的技术使用者：浙江中科尚弘离子装备工程有限公司
技术研发日：2021.11.15
技术公布日：2022/5/25