一种具有过滤性能的切割液回收装置的制作方法

1.本实用新型属于dw线切钻石线切割领域，尤其是涉及一种具有过滤性能的切割液回收装置。


背景技术：

2.硅片是电子产品制造中重要的原材料，在硅片的加工过程中，通常采用金刚线进行线切割，切割过程中需要使用切割液冷却金刚线，原切割液回收装置在回液管道与液面之间无过滤网，切割中回收的液直接进入回收小桶未经过滤直接被抽到加工舱利用，加工舱加工完毕的液再顺着回液管道被抽到回收小桶，如此往复循环利用，直到本刀结束加工为止。
3.切割完成后，切割液被抽回至小桶中，此时切割液中存在很多刚线头等杂质，切割液在冷却金刚线时，切割产生的硅粉或金刚线粉会进入到切割液中，切割液中的硅粉或金刚线粉会影响到硅片切割平面的光滑程度，含量越多，对硅片切割面质量越不利，再循环使用切割液的过程中容易造成跳线率提高，严重影响切割流程，拖慢加工进度。
4.目前在超薄硅单晶金刚线切片过程中，行业跳线率平均发生率在7％-8％左右，随着切割刀次的增加或者洗机器次数的推移跳线率明显上升趋势。跳线线后对单晶造成不同程度的损失，同时人员处理跳线会造成极大的时间浪费，影响生产效率使产出收到较大影响。因此，有必要设计一种具有过滤性能的切割液回收装置，以便于对这种钻石线切割液进行过滤处理，降低跳线率。


技术实现要素：

5.本实用新型要解决的问题是提供一种具有过滤性能的切割液回收装置，尤其适合超薄硅片金刚线切片过程中对切割液的过滤净化。
6.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种具有过滤性能的切割液回收装置，包括：桶体、过滤组件、废液回收口和抽液口，所述废液回收口设置于所述桶体上；
7.所述过滤组件设置于所述桶体的内部所述废液回收口的下方；
8.所述抽液口贯穿所述过滤组件设置并伸出所述桶体。
9.进一步的，还包括：补液口和溢流口，所述补液口和所述溢流口设置于所述桶体的不同侧，用于维持所述桶体内切割液的容量恒定。
10.进一步的，还包括：废液排出口，所述废液排出口设置于所述桶体的底部，用于清洗时排出废液和残渣。
11.进一步的，所述过滤组件与所述废液回收口下方呈一段距离设置。
12.进一步的，所述过滤组件为至少一层设置的滤网。
13.进一步的，远离所述废液回收口的所述滤网的目数逐渐增多。
14.进一步的，多层所述滤网的筛网交错设置。
15.进一步的，靠近所述废液排出口的所述滤网的筛孔尺寸不大于300*300μm。
16.进一步的，所述滤网通过限位卡板连接于所述桶体的内壁。
17.进一步的，所述滤网的侧壁与所述桶体的所述内壁之间设置有密封结构。
18.由于采用上述技术方案，具有以下有益效果：
19.结构简单，能对切割液进行过滤净化，过滤较大颗粒，为后续切割液的回收提供支持，实现了切割液的在线实时维护且维修方便，加工成本低、生产效率高；
20.跳线率得到极大改善，跳线率7％-8％降低至3％以内，降低了单晶损失；人员处理异常减少，切割效率有效提升增加了产出。
附图说明
21.图1是本实用新型一种实施例的整体结构示意图；
22.图2是本实用新型另一种实施例中第二层滤网的结构示意图。
23.图中：
24.1、桶体
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2、废液回收口
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3、抽液口
25.4、废液排出口
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5、滤网
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6、溢流口
具体实施方式
26.下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明：
27.在本实用新型的一种实施例中，如图1所示，一种具有过滤性能的切割液回收装置，包括：桶体1、过滤组件、废液回收口2和抽液口3，桶体1上开设有废液回收口2和抽液口3，其中废液回收口2主要用于向桶体1内排出经切割所用的切割液；过滤组件设置于桶体1的内部，抽液口3贯穿过滤组件设置并伸出桶体1，主要用于从桶体1中抽出切割液供切割使用。
28.在本实施例中，过滤组件水平方向设置于桶体1内部的废液回收口2的下方，且该过滤组件距离废液回收口2的下方存在一定距离设置，保证废液回收口2的下方不贴合过滤组件设置即可，使得经回收使用的切割液回到桶体1时，防止将过滤组件与废液回收口2的下方贴合设置时，由于切割液的冲力太大造成过滤效果不好的情形，通过在废液回收口2的下方的一定距离设置过滤组件，对回收使用的切割液内的残渣等起到过滤作用，得到了相对净化的切割液，再进行对切割液的循环使用时，不会对线切割造成影响，降低切割跳线率。
29.本实施例中，切割液回收装置还包括：废液排出口4、补液口和溢流口6，其中补液口图中未示出，补液口和溢流口6设置于桶体1的不同侧，且溢流口6低于该滤网组件设置，可以想到，补液口也可设置于该桶体1的上方，贯穿过滤组件设置并伸出桶体1；通过补流口持续不断的向桶体1中通入切割液，在通过溢流口6对桶体1中多余的切割液进行排出，维持桶体1内切割液的容量恒定，使桶体1内的切割液达到一个动态平衡；在本实施例中，废液排出口4靠近桶体1的底部设置，平时工作过程中，该废液排出口4常闭，当对桶体1进行清洗操作时，打开该废液排出口4，将清洗时的废液和桶体1内的残渣排出。
30.在本实施例，桶体1内部为中空结构，用于存储切割液，切割中回收的液进入回收小桶经过过滤网过滤后再回收到切割液回收小桶内，回收小桶内的液再经过抽液装置，抽
到加工舱切割，如此往复循环利用，桶体1内切割液整体循环，直到结束加工为止。
31.其中过滤组件为至少一层设置的滤网5，远离废液回收口2的滤网5的目数逐渐增多，即越远离废液回收口2的滤网5的过滤孔径越小，其中，本实施例中设置有两层滤网5，设置靠近废液回收口2的第一层滤网5的过滤孔径不大于300*300μm，远离废液回收口2的第二层滤网5的过滤孔径略小于300*300μm，保证可以将硅泥、钢线和刚线头等杂质过滤；其中滤网5的过滤孔径可以根据现场施工需要进行适应性调整。
32.本实施例中，两层滤网5贴合设置，两层滤网5直接设置于桶体1的内壁上的限位卡板上，便于进行后续的定期清理和更换。两层滤网5的侧壁与桶体1的内壁之间设置有密封结构，在本实施例中，密封结构可采用橡胶进行密封。
33.在本实用新型的另一种实施例中，与实施例一相比不同之处在于多层滤网5的筛网的设置角度不同，多层滤网5的筛网交错设置。
34.一种具有过滤性能的切割液回收装置，包括：桶体1、过滤组件、废液回收口2和抽液口3，桶体1上开设有废液回收口2和抽液口3，其中废液回收口2主要用于向桶体1内排出经切割所用的切割液；过滤组件设置于桶体1的内部，抽液口3贯穿过滤组件设置并伸出桶体1，主要用于从桶体1中抽出切割液供切割使用。
35.在本实施例中，过滤组件水平方向设置于桶体1内部的废液回收口2的下方，且该过滤组件距离废液回收口2的下方存在一定距离设置，保证废液回收口2的下方不贴合过滤组件设置即可，使得经回收使用的切割液回到桶体1时，防止将过滤组件与废液回收口2的下方贴合设置时，由于切割液的冲力太大造成过滤效果不好的情形，通过在废液回收口2的下方的一定距离设置过滤组件，对回收使用的切割液内的残渣等起到过滤作用，得到了相对净化的切割液，再进行对切割液的循环使用时，不会对线切割造成影响，降低切割跳线率。
36.本实施例中，切割液回收装置还包括：废液排出口4、补液口和溢流口6，其中补液口图中未示出，补液口和溢流口6设置于桶体1的不同侧，且溢流口6低于该滤网组件设置，可以想到，补液口也可设置于该桶体1的上方，贯穿过滤组件设置并伸出桶体1；通过补流口持续不断的向桶体1中通入切割液，在通过溢流口6对桶体1中多余的切割液进行排出，维持桶体1内切割液的容量恒定，使桶体1内的切割液达到一个动态平衡；在本实施例中，废液排出口4靠近桶体1的底部设置，平时工作过程中，该废液排出口4常闭，当对桶体1进行清洗操作时，打开该废液排出口4，将清洗时的废液和桶体1内的残渣排出。
37.在本实施例，桶体1内部为中空结构，用于存储切割液，切割中回收的液进入回收小桶经过过滤网过滤后再回收到切割液回收小桶内，回收小桶内的液再经过抽液装置，抽到加工舱切割，如此往复循环利用，桶体1内切割液整体循环，直到结束加工为止。
38.其中过滤组件为至少一层设置的滤网5，远离废液回收口2的滤网5的目数逐渐增多，即越远离废液回收口2的滤网5的过滤孔径越小，多层滤网5之间的筛网的设置角度不同，即该多层滤网5的筛网是交错设置的；其中，本实施例中设置有两层滤网5，设置靠近废液回收口2的第一层滤网5的过滤孔径不大于300*300μm，远离废液回收口2的第二层滤网5的过滤孔径略小于300*300μm，保证可以将硅泥、钢线和刚线头等杂质过滤；其中滤网5的过滤孔径可以根据现场施工需要进行适应性调整。
39.如图2所示，本实施例中，第二层滤网7的筛网相对于第一层滤网5的筛网旋转45度
设置，第二层滤网5和第一层滤网5的尺寸保持一致，两层滤网5贴合设置，两层滤网5直接设置于桶体1的内壁上的限位卡板上，便于进行后续的定期清理和更换。两层滤网5的侧壁与桶体1的内壁之间设置有密封结构，在本实施例中，密封结构可采用橡胶进行密封。
40.本实用新型的两种实施例的工作过程为：
41.切割中回收的液通过废液回收口2进入回收桶体1上方，经过两层滤网5过滤后再回收到切割液回收桶体1的滤网5下方，回收桶体1内的切割液再经过抽液装置，经由抽液口3抽到加工舱切割，同时通过补流口持续不断的向桶体1中通入切割液，在通过溢流口6对桶体1中多余的切割液进行排出，维持桶体1内切割液的容量恒定，如此往复循环利用，直到本刀结束加工为止；当对桶体1进行清洗操作时，打开该废液排出口4，将清洗时的废液和桶体1内的残渣排出。
42.以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

技术特征：
1.一种具有过滤性能的切割液回收装置，其特征在于，包括：桶体、过滤组件、废液回收口和抽液口，所述废液回收口设置于所述桶体上；所述过滤组件设置于所述桶体的内部所述废液回收口的下方；所述抽液口贯穿所述过滤组件设置并伸出所述桶体。2.根据权利要求1所述的一种具有过滤性能的切割液回收装置，其特征在于：还包括：补液口和溢流口，所述补液口和所述溢流口设置于所述桶体的不同侧，用于维持所述桶体内切割液的容量恒定。3.根据权利要求1或2所述的一种具有过滤性能的切割液回收装置，其特征在于：还包括：废液排出口，所述废液排出口设置于所述桶体的底部，用于清洗时排出废液和残渣。4.根据权利要求3所述的一种具有过滤性能的切割液回收装置，其特征在于：所述过滤组件与所述废液回收口下方呈一段距离设置。5.根据权利要求4所述的一种具有过滤性能的切割液回收装置，其特征在于：所述过滤组件为至少一层设置的滤网。6.根据权利要求5所述的一种具有过滤性能的切割液回收装置，其特征在于：远离所述废液回收口的所述滤网的目数逐渐增多。7.根据权利要求5所述的一种具有过滤性能的切割液回收装置，其特征在于：多层所述滤网的筛网交错设置。8.根据权利要求5-7任一所述的一种具有过滤性能的切割液回收装置，其特征在于：靠近所述废液排出口的所述滤网的筛孔尺寸不大于300*300μm。9.根据权利要求5-7任一所述的一种具有过滤性能的切割液回收装置，其特征在于：所述滤网通过限位卡板连接于所述桶体的内壁。10.根据权利要求9所述的一种具有过滤性能的切割液回收装置，其特征在于：所述滤网的侧壁与所述桶体的所述内壁之间设置有密封结构。

技术总结
本实用新型提供一种具有过滤性能的切割液回收装置，其特征在于，包括：桶体、过滤组件、废液回收口和抽液口，所述废液回收口设置于所述桶体上；所述过滤组件设置于所述桶体的内部所述废液回收口的下方；所述抽液口贯穿所述过滤组件设置并伸出所述桶体。本实用新型的有益效果是结构简单，能对切割液进行过滤净化，过滤较大颗粒，为后续切割液的回收提供支持，实现了切割液的在线实时维护且维修方便，加工成本低、生产效率高；跳线率得到极大改善，跳线率7％-8％降低至3％以内，降低了单晶损失；人员处理异常减少，切割效率有效提升增加了产出。切割效率有效提升增加了产出。切割效率有效提升增加了产出。


技术研发人员：刘涛 郭俊文 张建华 郭志刚 郭伟 孙涛
受保护的技术使用者：内蒙古中环光伏材料有限公司
技术研发日：2021.11.08
技术公布日：2022/5/25