一种传送装置的吸头部件的制作方法

1.本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及到一种传送装置的吸头部件。


背景技术：

2.传送装置机械手臂是离子注入机传递装置主要部件。在机械手臂末端部位，设置有金属构件(简称fork)。该构件一般由金属结构主体、气道、吸头和表面涂层构成。吸头与wafer(圆晶)直接接触，气道与真空系统连通产生负压使吸头吸住wafer，而fork一般为铝制件，主体起机械支撑作用。由于wafer重力、机械摩擦及运输过程中，外力作用极易造成该构件弯曲形变或吸头部位不平整，而导致取片报错。
3.因此，我们有必要对这样一种结构进行改善，以克服上述缺陷。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是提供一种传送装置的吸头部件，提高了手臂整体耐受力，在不改变吸头材料，形状的前提下，降低吸头部件的形变风险，延长吸头部件的使用寿命。
5.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案实现的：一种传送装置的吸头部件，包括与机械手臂末端连接的金属结构主体，所述金属结构主体设置有气道、吸头，所述吸头与圆晶接触，所述金属结构主体嵌设有提升金属结构主体抗弯曲能力的加强结构，所述加强结构避让所述气道、吸头位置。
6.本实用新型的进一步设置为：所述加强结构与所述金属结构主体相应并呈内嵌或半嵌套于金属结构主体。
7.本实用新型的进一步设置为：所述加强结构为一整体结构，或者为若干个呈块状或条状均匀嵌设于金属结构主体。
8.本实用新型的进一步设置为：所述加强结构材质为陶瓷材料。
9.本实用新型的进一步设置为：所述金属结构主体表面涂设有用于防锈的防锈涂层。
10.本实用新型的进一步设置为：所述金属结构主体材质为铝。
11.综上所述，本实用新型具有以下有益效果：
12.通过加强结构避让气道及吸头位置，可以降低加工难度，并且避免吸头位置硬度过高，而增加取圆晶时的碎片风险。通过嵌入加强结构，提高了手臂整体耐受力，在不改变吸头材料，形状的前提下，降低吸头部件的形变风险，延长吸头部件的使用寿命。
13.当加强构件为一整体结构时，可以呈管状结构、片状或网状结构与金属结构主体嵌置固定，使成为一整体结构，从而提到提升金属结构主体整体刚度；呈若干个呈块状或条状分散状布置于金属结构主体时，可以降低整个吸头3部件的加工难度，同时确保具备相应的刚度，降低变形风险。
附图说明
14.图1是本实用新型的侧视图；
15.图2是本实用新型的剖视图。
16.图中数字所表示的相应部件名称：1、金属结构主体；2、气道；3、吸头；4、加强结构。
具体实施方式
17.为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合图示与具体实施例，进一步阐述本实用新型。
18.如图1所示，本实用新型提出的一种传送装置的吸头部件，包括与机械手臂末端连接的金属结构主体1，金属结构主体1材质一般为铝制件。所述金属结构主体1设置有气道2、吸头3，气道2内置于金属结构主体1并与吸头3连通，本实施例中吸头3可以设置为多个，所述吸头3与圆晶接触，即吸头3吸附固定圆晶。搬运圆晶时，通过吸头3吸附固定圆晶并搬运圆晶。
19.所述金属结构主体1嵌设有提升金属结构主体1抗弯曲能力的加强结构4，所述加强结构4避让所述气道2、吸头3位置。加强结构4材质为陶瓷材料，陶瓷材料可以为氮化铝，氧化铝、氧化锆，但不限于此范围。通过加强结构4避让气道2及吸头3位置，可以降低加工难度，并且避免吸头3位置硬度过高，而增加取圆晶时的碎片风险。通过嵌入加强结构，提高了手臂整体耐受力，在不改变吸头3材料，形状的前提下，降低吸头3部件的形变风险，延长吸头3部件的使用寿命。
20.加强结构4与所述金属结构主体1相应并呈内嵌或半嵌套于金属结构主体1。并且本实施例中，加强结构4可以为一整体结构，或者为若干个呈块状或条状均匀嵌设于金属结构主体1。即当加强构件为一整体结构时，可以呈管状结构、片状或网状结构与金属结构主体1嵌置固定，使成为一整体结构，从而提到提升金属结构主体1整体刚度；呈若干个呈块状或条状分散状布置于金属结构主体1时，可以降低整个吸头3部件的加工难度，同时确保具备相应的刚度，降低变形风险。
21.本实施例中，金属结构表面涂设有用于防锈的防锈涂层。防锈涂层为现有技术，在此不赘述。
22.在本文中，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了表达技术方案的清楚及描述方便，因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且还可包含没有明确列出的其他要素。
24.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。


技术特征：
1.一种传送装置的吸头部件，包括与机械手臂末端连接的金属结构主体(1)，其特征在于：所述金属结构主体(1)设置有气道(2)、吸头(3)，所述吸头(3)与圆晶接触，所述金属结构主体(1)嵌设有提升金属结构主体(1)抗弯曲能力的加强结构(4)，所述加强结构(4)避让所述气道(2)、吸头(3)位置。2.根据权利要求1所述的一种传送装置的吸头部件，其特征在于：所述加强结构(4)与所述金属结构主体(1)相应并呈内嵌或半嵌套于金属结构主体(1)。3.根据权利要求2所述的一种传送装置的吸头部件，其特征在于：所述加强结构(4)为一整体结构，或者为若干个呈块状或条状均匀嵌设于金属结构主体(1)。4.根据权利要求1所述的一种传送装置的吸头部件，其特征在于：所述加强结构(4)材质为陶瓷材料。5.根据权利要求1所述的一种传送装置的吸头部件，其特征在于：所述金属结构主体(1)表面涂设有用于防锈的防锈涂层。6.根据权利要求1所述的一种传送装置的吸头部件，其特征在于：所述金属结构主体(1)材质为铝。

技术总结
本实用新型公开了一种传送装置的吸头部件，其技术方案要点是：一种传送装置的吸头部件，包括与机械手臂末端连接的金属结构主体，所述金属结构主体设置有气道、吸头，所述吸头与圆晶接触，所述金属结构主体嵌设有提升金属结构主体抗弯曲能力的加强结构，所述加强结构避让所述气道、吸头位置。本实用新型提高了手臂整体耐受力，在不改变吸头材料，形状的前提下，降低吸头部件的形变风险，延长吸头部件的使用寿命。使用寿命。使用寿命。


技术研发人员：彭强祥 刘仁杰
受保护的技术使用者：浙江中科尚弘离子装备工程有限公司
技术研发日：2021.11.15
技术公布日：2022/5/25