一种防飞溅的蒸发源的制作方法

1.本实用新型涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种防飞溅的蒸发源。


背景技术：

2.真空蒸镀是指在真空条件下，待蒸镀材料受热熔融蒸发，待蒸镀材料以原子或者原子团的形式层积在薄膜上，从而制造得到产品。
3.在实现本实用新型过程中，实用新型人发现现有技术中至少存在如下问题：
4.现有技术中的蒸镀设备主要是坩埚类，利用坩埚对待蒸镀材料进行蒸馏，但待蒸镀材料表面吸附有杂质，在蒸馏过程中，容易造成待蒸馏材料飞溅，使用起来十分不便。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于，提供一种防飞溅的蒸发源，以解决现有技术中存在的上述缺点。
6.为了实现上述目的，本实用新型提供一种防飞溅的蒸发源，包括支撑柱，其还包括：
7.第一坩埚阵列，包括多个坩埚，在所述支撑柱的第一侧从下至上间隔设置；
8.第二坩埚阵列，包括多个坩埚，在所述支撑柱的第二侧从下至上间隔设置；
9.其中，所述坩埚的内部用于容纳待蒸镀材料，所述坩埚的底部或者侧部可拆卸地连接有用于防止所述待蒸镀材料飞溅出去的遮挡机构。
10.可选地，所述第一坩埚阵列和所述第二坩埚阵列具有相同数量的坩埚，并且分别位置对称地设置在所述支撑柱的第一侧和第二侧。
11.可选地，所述坩埚可以包括：
12.埚体；
13.凹槽，设置在所述埚体的内部，并且所述凹槽的开口朝上暴露于所述埚体的上表面，所述凹槽用于容纳待蒸镀材料；
14.加热系统，位于所述埚体的内部，与所述凹槽导热连接，用于加热所述待蒸镀材料。
15.可选地，所述加热系统可以包括：
16.导热部件，与所述凹槽的底端或者侧壁紧密接触；
17.加热层，固定连接于所述导热部件的底端，且设置于所述埚体的内部；
18.热源，固定设置于所述加热层的内部。
19.可选地，所述支撑柱的横截面为圆形或者椭圆形，所述椭圆形的长半轴的长度为15-30cm，所述椭圆形的短半轴的长度为10-15cm；所述支撑柱的底部固定连接在底座的顶部；所述凹槽的深度为2-3厘米；所述坩埚的材质包括镁砂、粘土、石墨、石英、刚玉或者陶瓷。
20.可选地，所述遮挡机构包括挡板，所述挡板与所述坩埚的底部或者侧部转动连接。
21.可选地，所述挡板的转动角度为与水平方向形成0-90度。
22.可选地，所述坩埚的前后两端均设置有卡槽，所述卡槽的内壁均设置有螺孔；
23.所述遮挡机构包括：把手、螺杆、卡块和挡板；其中，所述卡块设置在所述卡槽的内侧，所述卡块的内螺纹连接所述螺杆，所述螺杆的一端贯穿所述卡块的第一端并固定连接在所述把手的侧边，所述螺杆的另一端贯穿所述卡块的第二端，所述卡块的外周固定连接所述挡板。
24.可选地，所述卡块的内侧设置有与所述螺杆外周螺纹相对应的内螺纹；所述螺孔贯穿所述卡槽的内壁，所述螺孔的内侧螺纹和所述螺杆的外周螺纹相对应。
25.可选地，所述卡槽为中空半圆柱状，所述卡块为圆柱状，所述卡块的直径和所述卡槽的直径相匹配。
26.本实用新型具有如下有益效果：
27.通过在支撑柱的两侧上设置第一坩埚阵列和第二坩埚阵列，这样在有限空间内可设置多个坩埚，从而提高空间利用率和镀膜效率；并且，通过所述坩埚的底部或者侧部可拆卸地连接有用于防止所述待蒸镀材料飞溅出去的遮挡机构，使得在对坩埚中的待蒸镀材料进行加热时，利用遮挡机构可以对飞溅的待蒸镀材料的液滴进行阻挡，防止坩埚里面的待蒸镀材料飞溅到其他坩埚、或者飞溅到地面、或者飞溅至从下部坩埚表面走过的薄膜上面，从而提高薄膜蒸镀的质量和成品率。
附图说明
28.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
29.图1为本实用新型提出的一种防飞溅的蒸发源的结构示意图；
30.图2为本实用新型提出的坩埚的内部结构示意图；
31.图3为本实用新型提出的一种防飞溅的蒸发源的结构示意图；
32.图4为图3中a处的放大图。
33.图例说明：
34.1、支撑柱；2、凹槽；3、坩埚；4、螺孔；5、底座；6、卡槽；7、把手；8、螺杆；9、卡块；10、挡板；11、导热部件；12、加热层；13、热源。
具体实施方式
35.下面将详细描述本实用新型的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本实用新型的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本实用新型可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本实用新型的示例来提供对本实用新型的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本实用新型造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。
36.实施例一
37.如图1至图2所示，本实施例一提供一种防飞溅的蒸发源，包括支撑柱1，还包括：第一坩埚阵列，其包括多个坩埚3，在支撑柱1的第一侧从下至上间隔设置；第二坩埚阵列，其包括多个坩埚3，在支撑柱1的第二侧从下至上间隔设置；其中，坩埚3的内部用于容纳待蒸镀材料，坩埚3的底部或者侧部可拆卸地连接有用于防止待蒸镀材料飞溅出去的遮挡机构。通过在支撑柱1的两侧上设置第一坩埚阵列和第二坩埚阵列，这样在有限空间内可设置多个坩埚，从而提高空间利用率和镀膜效率；并且，通过坩埚的底部或者侧部可拆卸地连接有用于防止待蒸镀材料飞溅出去的遮挡机构，使得在对坩埚中的待蒸镀材料进行加热时，利用遮挡机构可以对飞溅的待蒸镀材料的液滴进行阻挡，防止坩埚里面的待蒸镀材料飞溅到其他坩埚、或者飞溅到地面、或者飞溅至从下部坩埚表面走过的薄膜上面，从而提高薄膜蒸镀的质量和成品率。
38.在一些实施例中，第一坩埚阵列和第二坩埚阵列具有相同数量的坩埚3，并且分别位置对称地设置在支撑柱1的第一侧和第二侧。位置对称的设置方式有利于支撑架1的受力平衡。
39.在一些实施例中，坩埚3可以包括：埚体；凹槽2，设置在埚体的内部，并且凹槽2的开口朝上暴露于埚体的上表面，凹槽2用于容纳待蒸镀材料；加热系统，位于埚体的内部，与凹槽2导热连接，用于加热待蒸镀材料。
40.在一些实施例中，加热系统可以包括：导热部件11，与凹槽6的底端或者侧壁紧密接触，这样热接触面积更大，导热效率高，并且更加节能。导热部件11可采用导热材料，例如包括但不限制于：石墨烯、导热硅胶片、导热绝缘材料、导热界面材料、导热矽胶布、导热胶带、导热膜等。热源13，固定连接于加热层12的内部。加热层12，固定连接于导热部件11的底端，且设置于埚体的内部。热源13可以为电热丝，或者加热后的流体，或者电磁感应加热设备等。
41.在一些实施例中，支撑柱1的横截面为圆形或者椭圆形，椭圆形的长半轴的长度为15-30cm，椭圆形的短半轴的长度为10-15cm，椭圆形的支撑柱1的表面积更大，可以容纳或连接较多坩埚。支撑柱1的底部固定连接在底座5的顶部，底座5的面积比支撑柱1的面积更大，这样支撑柱1能被更加稳定的支撑。可选地，底座5上可以进一步设置有固定件，以将该蒸发源设备固定于需要的位置，例如将支撑柱1通过螺栓紧固件、卡接件、夹持件等可拆卸地固定在蒸镀机的腔室的内部。凹槽2的深度为2-3厘米；坩埚3的材质可以包括镁砂、粘土、石墨、石英、刚玉或者陶瓷。
42.参阅图3，在一些实施例中，遮挡机构包括挡板10，挡板10与坩埚3的底部或者侧部转动连接，挡板的转动角度为与水平方向形成0-90度。遮挡机构的形状不限制于板状，可以呈弧状，例如向上弯曲的弧形遮挡件。转动连接的方式有多种，例如铰接，或者通过法兰转动连接，或者通过转动副实现转动连接，或者通过轴承实现固定部件和旋转部件之间的转动连接，在此不对转动连接的具体实现方式做出限制。通过在坩埚的两侧设置有与水平方向为0-90
°
的挡板，这样也可以防止待蒸镀材料飞溅出去。
43.实施例二
44.参照图1、图3和图4所示，本实施例二提供另一种防飞溅的蒸发源，其包括支撑柱1，支撑柱1的两侧从上到下均依次固定连接有多个坩埚3，其坩埚3内部的可以设置加热丝
和导热板，利用加热丝发热，热量通过导热板作用于坩埚3上的材料，使其发生蒸发，坩埚3的顶部均设置有凹槽2，待蒸馏材料可以放入凹槽2的内部，坩埚3的前后两端均设置有卡槽6，卡槽6的内壁均设置有螺孔4，卡槽6的内侧均设置有卡块9，卡块9的内侧均螺纹连接有螺杆8，螺杆8的一端均贯穿卡块9的一端并固定连接在把手7的侧边，螺杆8的另一端均贯穿卡块9的另一端并延伸，卡块9的外周均固定连接有挡板10，利用把手7把螺杆8螺纹连接进卡块9的内侧，再把卡块9卡合进卡槽6的内部，随后继续手持挡板10对卡块9进行短暂固定，并继续转动螺杆8直至螺纹连接进螺孔4中，利用螺杆8和螺孔4的配合，对卡块9进行有效固定，进而对挡板10进行固定，利用挡板10可以对飞溅的液滴进行阻挡，同时正反转动把手7带动螺杆8在螺孔4中进行螺纹转动，转动的螺杆8可以带动卡块9以及挡板10转动，并且在停止时，利用螺杆8和螺孔4之间的螺纹连接对卡块9和挡板10进行固定，实现挡板10的角度调节。
45.多个坩埚3之间的间距相等，支撑柱1的底部固定连接在底座5的顶部，底座5使得支撑柱1可以更加平稳的放置在平面上，支撑柱1为圆柱状，凹槽2的深度均为2-3厘米，凹槽2的内部可以放入待蒸馏材料，卡块9的内侧均设置有与螺杆8外周螺纹相对应的内螺纹，卡槽6均为中空半圆柱状，卡块9均为圆柱状，卡块9和卡槽6之间均相对应，圆柱状的卡块9可以直接卡合进中空半圆柱状的卡槽6中，使得卡块9在卡槽6中进行拆装，通过卡合连接，可以拆卸卡块9，对卡块9连接的挡板10上阻挡飞溅的液滴进行清理，螺孔4均贯穿卡槽6的内部，螺孔4内侧的螺纹和螺杆8外周的螺纹相对应，螺杆8可以螺纹连接进螺孔4中。
46.工作原理：首先手持挡板10，利用把手7把螺杆8螺纹连接进卡块9的内侧，再把卡块9卡合进卡槽6的内部，随后继续手持挡板10对卡块9进行短暂固定，并继续转动螺杆8直至螺纹连接进螺孔4中，利用螺杆8和螺孔4的配合，对卡块9进行有效固定，进而对挡板10进行固定，使得在对坩埚3的凹槽2中的材料进行加热，使的材料蒸发并发生飞溅过程中，利用挡板10可以对飞溅的液滴进行阻挡，同时正反转动把手7带动螺杆8在螺孔4中进行螺纹转动，转动的螺杆8可以带动卡块9以及挡板10转动，并且在停止时，利用螺杆8和螺孔4之间的螺纹连接对卡块9和挡板10进行固定，实现挡板10的角度调节。
47.上述技术方案的有益技术效果包括：
48.1、本实用新型中，首先手持挡板，利用把手把螺杆螺纹连接进卡块的内侧，再把卡块卡合进卡槽的内部，随后继续手持挡板对卡块进行短暂固定，并继续转动螺杆直至螺纹连接进螺孔中，利用螺杆和螺孔的配合，对卡块进行有效固定，进而对挡板进行固定，使得在对坩埚的凹槽中的材料进行加热，使的材料蒸发并发生飞溅过程中，利用挡板可以对飞溅的液滴进行阻挡。
49.2、本实用新型中，正反转动把手带动螺杆在螺孔中进行螺纹转动，转动的螺杆可以带动卡块以及挡板转动，并且在停止时，利用螺杆和螺孔之间的螺纹连接对卡块和挡板进行固定，实现挡板的角度调节。
50.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语中的“上、下、内和外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一、第二或第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
51.本实用新型中除非另有明确的规定和限定，术语“安装、相连、连接”应做广义理解，例如：可以是固定连接、可拆卸连接或一体式连接；同样可以是机械连接、电连接或直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
52.虽然已经参考优选实施例对本实用新型进行了描述，但在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

技术特征：
1.一种防飞溅的蒸发源，包括支撑柱(1)，其特征在于，还包括：第一坩埚阵列，包括多个坩埚(3)，在所述支撑柱(1)的第一侧从下至上间隔设置；第二坩埚阵列，包括多个坩埚(3)，在所述支撑柱(1)的第二侧从下至上间隔设置；其中，所述坩埚(3)的内部用于容纳待蒸镀材料，所述坩埚(3)的底部或者侧部可拆卸地连接有用于防止所述待蒸镀材料飞溅出去的遮挡机构。2.根据权利要求1所述的一种防飞溅的蒸发源，其特征在于：所述第一坩埚阵列和所述第二坩埚阵列具有相同数量的坩埚(3)，并且分别位置对称地设置在所述支撑柱(1)的第一侧和第二侧。3.根据权利要求1或2所述的一种防飞溅的蒸发源，其特征在于：所述坩埚(3)包括：埚体；凹槽(2)，设置在所述埚体的内部，并且所述凹槽(2)的开口朝上暴露于所述埚体的上表面，所述凹槽(2)用于容纳待蒸镀材料；加热系统，位于所述埚体的内部，与所述凹槽(2)导热连接，用于加热所述待蒸镀材料。4.根据权利要求3所述的一种防飞溅的蒸发源，其特征在于，所述加热系统包括：导热部件(11)，与所述凹槽(6)的底端或者侧壁紧密接触；加热层(12)，固定连接于所述导热部件(9)的底端，且设置于所述埚体的内部；热源(13)，固定设置于所述加热层(12)的内部。5.根据权利要求3所述的一种防飞溅的蒸发源，其特征在于：所述支撑柱(1)的横截面为圆形或者椭圆形，所述椭圆形的长半轴的长度为15-30cm，所述椭圆形的短半轴的长度为10-15cm；所述支撑柱(1)的底部固定连接在底座(5)的顶部；所述凹槽(2)的深度为2-3厘米；所述坩埚(3)的材质包括镁砂、粘土、石墨、石英、刚玉或者陶瓷。6.根据权利要求3所述的一种防飞溅的蒸发源，其特征在于：所述遮挡机构包括挡板，所述挡板与所述坩埚(3)的底部或者侧部转动连接。7.根据权利要求6所述的一种防飞溅的蒸发源，其特征在于：所述挡板的转动角度为与水平方向形成0-90度。8.根据权利要求3所述的一种防飞溅的蒸发源，其特征在于：所述坩埚(3)的前后两端均设置有卡槽(6)，所述卡槽(6)的内壁均设置有螺孔(4)；所述遮挡机构包括：把手(7)、螺杆(8)、卡块(9)和挡板(10)；其中，所述卡块(9)设置在所述卡槽(6)的内侧，所述卡块(9)的内螺纹连接所述螺杆(8)，所述螺杆(8)的一端贯穿所述卡块(9)的第一端并固定连接在所述把手(7)的侧边，所述螺杆(8)的另一端贯穿所述卡块(9)的第二端，所述卡块(9)的外周固定连接所述挡板(10)。9.根据权利要求8所述的一种防飞溅的蒸发源，其特征在于：所述卡块(9)的内侧设置有与所述螺杆(8)外周螺纹相对应的内螺纹；所述螺孔(4)贯穿所述卡槽(6)的内壁，所述螺孔(4)的内侧螺纹和所述螺杆(8)的外周螺纹相对应。10.根据权利要求8所述的一种防飞溅的蒸发源，其特征在于：所述卡槽(6)为中空半圆柱状，所述卡块(9)为圆柱状，所述卡块(9)的直径和所述卡槽(6)的直径相匹配。

技术总结
本实用新型公开了一种防飞溅的蒸发源，包括支撑柱，还包括：第一坩埚阵列，包括多个坩埚3，在支撑柱1的第一侧从下至上间隔设置；第二坩埚阵列，包括多个坩埚3，在支撑柱1的第二侧从下至上间隔设置；其中，坩埚3的内部用于容纳待蒸镀材料，坩埚3的底部或者侧部可拆卸地连接有用于防止待蒸镀材料飞溅出去的遮挡机构。通过坩埚的底部或者侧部可拆卸地连接有用于防止待蒸镀材料飞溅出去的遮挡机构，使得在对坩埚中的待蒸镀材料进行加热时，利用遮挡机构可以对飞溅的待蒸镀材料的液滴进行阻挡，防止坩埚里面的待蒸镀材料飞溅到其他坩埚、或者飞溅到地面、或者飞溅至从下部坩埚表面走过的薄膜上面，从而提高薄膜蒸镀的质量和成品率。从而提高薄膜蒸镀的质量和成品率。从而提高薄膜蒸镀的质量和成品率。


技术研发人员：臧世伟
受保护的技术使用者：重庆金美新材料科技有限公司
技术研发日：2021.12.03
技术公布日：2022/5/25