一种石英环倒角装置的制作方法

1.本发明属于半导体生产装置领域，具体涉及一种石英环倒角装置。


背景技术：

2.石英环是一种半导体材料，石英环的生产过程中最后一步需要进行倒角以保护石英玻璃，避免产生崩口、裂纹等缺陷。而现有装置均是将生产后的石英环进行倒角，且现有的倒角装置只能单独对石英环的内圆或外圆进行倒角加工，无法同时进行内圆和外圆的倒角加工，且在石英环倒角的加工过程中，普遍采用人工辅助实现倒角，该方式依赖人工经验，会导致石英环内圆或外圆的倒角尺寸出现偏差，且一些石英环倒角装置在倒角过程中由于倒角器的无法及时限位导致对石英环的倒角过多而影响石英环的倒角质量，且倒角效率低。
3.因此需要提出一种石英环倒角装置，以解决上述问题。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本发明的目的在于提供一种石英环倒角装置，用于解决现有技术中不能同时进行内圆和外圆的倒角加工，且均需要通过人工辅助实现倒角，使得内圆或外圆的倒角尺寸出现偏差，且一些石英环倒角装置在倒角过程中由于倒角器的无法及时限位导致对石英环的倒角过多而影响石英环的倒角质量，倒角效率低的问题。
5.为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：
6.本发明提供一种石英环倒角装置，包括：工作台和安装在所述工作台上的机架，所述机架上安装有升降机构，所述升降机构包括第一电机、螺杆、安装架、安装板，所述第一电机输出端与所述螺杆连接，所述安装架与所述螺杆螺纹连接，所述安装板转动连接在所述安装架靠近所述工作台侧；所述安装板上靠近所述工作台侧安装有夹爪，所述夹爪用于夹持石英环外周壁；所述安装板通过输出轴连接有第二电机，所述工作台上滑动安装有内圆倒角器和外圆倒角器，所述外圆倒角器上安装有切割刀；
7.所述传动装置包括：
8.第三电机，所述工作台内设有工作腔，所述第三电机安装在所述工作腔内；
9.传动轴，所述传动轴固定连接在所述第三电机输出端；所述传动轴上设有第一弧形槽和第二弧形槽，所述第一弧形槽和所述第二弧形槽相对称设置；
10.第一滑座，所述第一滑座滑动连接在所述传动轴上，所述第一滑座上转动连接有第一转轴，所述第一转轴滑动连接在所述第一弧形槽内，所述内圆倒角器固定连接在所述第一滑座上；
11.第二滑座，所述第二滑座滑动连接在所述传动轴上，所述第二滑座上转动连接有第二转轴，所述第二转轴滑动连接在所述第二弧形槽内，所述外圆倒角器固定连接在所述第二滑座上。
12.进一步，所述安装板上安装有稳定夹持装置，所述稳定夹持装置包括：
13.安装轴，所述安装轴固定连接在所述安装板远离所述第二电机侧；
14.第一滑动套，所述第一滑动套滑动连接在所述安装轴上，所述第一滑动套上周向设置有多个挤压板，所述安装板上开设有滑孔，所述挤压板与所述滑孔滑动连接；
15.第一连接杆，所述第一连接杆的第一端与所述挤压板铰接，所述第一连接杆的第二端与所述第一滑动套铰接；
16.第二滑动套，所述第二滑动套滑动连接在所述输出轴上；
17.螺纹套，所述输出轴上设有螺纹段，所述螺纹套螺纹连接在所述螺纹段上，所述螺纹套转动连接在所述第二滑动套上；
18.第二连接杆，所述第二连接杆的第一端与所述第二滑动套铰接，所述第二连接杆的第二端与所述挤压板远离所述第一连接杆端铰接。
19.进一步，所述机架上安装有喷洒装置，所述喷洒装置包括：
20.箱体，所述箱体内设有储液腔、传动腔、挤压腔、第一空腔、第二空腔，所述储液腔与所述第一空腔连通，所述第一空腔、第二空腔均与所述挤压腔连通，所述挤压腔与所述传动腔连通，所述第二电机安装在所述传动腔内；
21.第一齿轮，所述第一齿轮固定连接在所述输出轴上，所述第一齿轮位于所述传动腔内；
22.第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合连接，所述第二齿轮通过转动轴转动连接在所述传动腔内；
23.连接杆，所述连接杆的第一端偏心连接在所述第二齿轮上，所述连接杆的第二端连接有挤压杆，所述挤压杆滑动连接在所述挤压腔内；
24.第一弹簧，所述第一弹簧的第一端固定连接在所述第一空腔内，所述第一弹簧的第二端固定连接有第一半球体，所述第一半球体靠近储液腔设置；
25.第二弹簧，所述第二弹簧的第一端固定连接在所述第二空腔内，所述第二弹簧的第二端固定连接有第二半球体，所述第二半球体靠近挤压腔设置；
26.喷头，所述喷头通过管道与所述第二空腔连接。
27.进一步，所述工作腔内安装有第四电机，所述第四电机的输出端固定连接有连接套，所述连接套内螺纹连接有螺纹柱，所述螺纹轴与所述螺纹柱转动连接，所述螺纹柱垂直所述螺纹轴设置。
28.进一步，所述升降机构还包括限位柱，所述螺杆两侧均设有所述限位柱，所述安装架与所述限位柱滑动连接。
29.进一步，所述挤压板为弧形，所述挤压板靠近所述石英环内壁端安装有弹性垫。
30.如上所述，本发明的石英环倒角装置，具有以下有益效果：通过传动装置带动内圆倒角器和外圆倒角器同时滑动对石英环的内圆和外圆进行倒角，并通过切割刀将倒角后的石英环切割，避免了先制造石英环再进行倒角的工序，通过直接制造倒角石英环节约了工序，提高了效率，且内圆倒角器和外圆倒角器为相反的梯形状，使得石英环的内圆和外圆的倒角尺寸一致，避免了人工倒角出现的偏差，且倒角过程中无需人工操作，提高了倒角效率和质量；且无需使第三电机停止即可实现内圆倒角器和外圆倒角器在倒角完成后相远离，避免由于停止第三电机后，由于转动惯性导致内圆倒角器和外圆倒角器继续相靠近移动一段距离而影响倒角质量。
31.本发明的其他优点、目标和特征将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上对本领域技术人员而言是显而易见的，或者本领域技术人员可以从本发明的实践中得到教导。本发明的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。
附图说明
32.为了使本发明的目的、技术方案和有益效果更加清楚，本发明提供如下附图进行说明：
33.图1为本发明实施例的整体结构正视图；
34.图2为本发明实施例的图1中局部a的放大图；
35.图3为本发明实施例的图1中局部b的放大图；
36.图4为本发明实施例的整体结构侧视图；
37.图5为本发明实施例的图4中局部c的放大图；
38.图6位本发明实施例的喷洒装置的挤压腔处的剖视图；
39.图7位本发明实施例的升降机构的正视图。
40.附图中标记如下：1、机架；2、工作台；201、工作腔；202、第三电机；203、传动轴；204、第一弧形槽；205、第二弧形槽；206、第一滑座；207、第一转轴；208、第二滑座；209、第二转轴；210、滑动段；211、倒角段；212、第四电机；213、连接套；214、螺纹柱；3、升降机构；301、第一电机；302、螺杆；303、安装架；304、安装板；305、滑孔；306、限位柱；4、夹爪；5、第二电机；501、输出轴；502、螺纹段；6、内圆倒角器；7、外圆倒角器；701、切割刀；8、稳定夹持装置；801、安装轴；802、第一滑动套；803、挤压板；804、第一连接杆；805、第二滑动套；806、螺纹套；807、第二连接杆；9、喷洒装置；901、箱体；902、储液腔；903、传动腔；904、挤压腔；905、第一空腔；906、第二空腔；907、第一齿轮；908、第二齿轮；909、连接杆；910、挤压杆；911、第一弹簧；912、第一半球体；913、第二弹簧；914、第二半球体；915、喷头；10、石英环。
具体实施方式
41.请参阅图1至图7，本发明提供一种石英环倒角装置，包括：工作台2和安装在所述工作台2上的机架1，所述机架1上安装有升降机构3，所述升降机构3上连接有安装架303，所述升降机构3用于带动所述安装架303升降移动，所述安装架303上转动连接有安装板304；所述安装板304上靠近所述工作台2侧安装有夹爪4，所述夹爪4用于夹持石英环外周壁；所述安装板304通过输出轴501连接有第二电机5，所述工作台2上安装有传动装置，所述传动装置上安装有内圆倒角器6和外圆倒角器7，所述传动装置用于带动所述内圆倒角器6和所述外圆倒角器7相互靠近移动，所述外圆倒角器7上安装有切割刀701。
42.上述技术方案的工作原理：如图1至4，升降机构3包括第一电机301和螺杆302，第一电机301的输出端与螺杆302固定连接，螺杆302与安装架303螺纹连接，当需要对石英环10进行倒角时，利用夹爪4夹持住石英环10，启动第一电机301，从而带动螺杆302转动，从而带动安装架303往靠近工作台2的方向移动，从而带动石英环10往靠近工作台2的方向移动，直至内圆倒角器6位于石英环10的内圈，外圆倒角器7位于石英环10的外侧，然后启动第二电机5，通过第二电机5带动安装板304转动，从而带动石英环10转动，通过传动装置带动内圆倒角器6和外圆倒角器7相互靠近移动，使内圆倒角器6对石英环10的内圈进行磨削、外圆
倒角器7对石英环10的外圈进行磨削，其中内圆倒角器6为梯形，外圆倒角器7为与内圆倒角器6形状相反的梯形，通过滑动内圆倒角器6和外圆倒角器7实现对石英环10的倒角，在移动外圆倒角器7的过程中，切割刀701与石英环10先接触，使切割刀701对石英环10先切割出一道槽，然后外圆倒角器7移动对石英环10的外圆进行倒角，根据石英环10的厚度和预设的倒角后的厚度，对切割刀701伸出外圆倒角器7的距离进行调整，使石英环10在倒角完成后，切割刀701刚好将倒角完成的一段石英环10切割下来，当需要对下一个石英环10进行倒角时，将切割好的石英环10取出，再通过升降机构3带动剩余的石英环10移动至工作台2处即可。
43.上述技术方案的有益效果：通过传动装置带动内圆倒角器6和外圆倒角器7同时滑动对石英环的内圆和外圆进行倒角，并通过切割刀701将倒角后的石英环切割，避免了先制造石英环再进行倒角的工序，通过直接制造倒角石英环节约了工序，提高了效率，且内圆倒角器6和外圆倒角器7为相反的梯形状，使得石英环的内圆和外圆的倒角尺寸一致，避免了人工倒角出现的偏差，且倒角过程中无需人工操作，提高了倒角效率和质量。
44.所述传动装置包括：第三电机202、传动轴203、第一滑座206、第二滑座208，所述工作台2内设有工作腔201，所述第三电机202安装在所述工作腔201内；所述传动轴203固定连接在所述第三电机202输出端；所述传动轴203上设有第一弧形槽204和第二弧形槽205，所述第一弧形槽204和所述第二弧形槽205相对称设置；所述第一滑座206滑动连接在所述传动轴203上，所述第一滑座206限位滑动连接在所述工作腔201内，所述第一滑座206上转动连接有第一转轴207，所述第一转轴207滑动连接在所述第一弧形槽204内，所述内圆倒角器6固定连接在所述第一滑座206上；所述第二滑座208滑动连接在所述传动轴203上，所述第二滑座208限位滑动连接在所述工作腔201内，所述第二滑座208上转动连接有第二转轴209，所述第二转轴209滑动连接在所述第二弧形槽205内，所述外圆倒角器7固定连接在所述第二滑座208上。
45.上述技术方案的工作原理：启动第三电机202，第三电机202带动传动轴203转动，从而带动第一转轴207在第一弧形槽204内滑动，从而带动第一滑座206在传动轴203上滑动，由于第一弧形槽204和第二弧形槽205相对称设置，从而传动轴203转动时带动第二滑座208在传动轴203上滑动，使第一滑座206和第二滑座208相互靠近滑动，从而带动内圆倒角器6和外圆倒角器7相互靠近移动，从而同时对石英环的内圆和外圆进行倒角。
46.上述技术方案的有益效果：通过启动第三电机202，能够带动内圆倒角器6和外圆倒角器7相互靠近移动对石英环的内圆和外圆进行倒角，使得内圆和外圆的倒角同时进行，保证了倒角角度，使得内圆和外圆的倒角尺寸保持一致，提高了倒角质量；且通过第一转轴207在第一弧形槽204内滑动带动第一滑座206移动和第二转轴209在第二弧形槽205内滑动带动第二滑座208移动，使得第一滑座206和第二滑座208移动更加稳定；且第一弧形槽204和第二弧形槽205相对称设置，保证了第一滑座206和第二滑座208移动的同步性，且第一转轴207为转动连接在第一滑座206上，第二转轴209为转动连接在第二滑座208上，使得第一转轴207在第一弧形槽204内滑动时和第二转轴209在第二滑座208上滑动时减少摩擦，使第一滑座206和第二滑座208的移动更加平缓；且当第一滑座206和第二滑座208相互靠近移动时，当第一转轴207移动至第一弧形槽204内靠近第二弧形槽205侧的端部时，由于传动轴203继续转动，将带动第一转轴207往远离第二弧形槽205侧滑动，从而使得内圆倒角器6和外圆倒角器7相互远离移动，无需使第三电机202停止即可实现内圆倒角器6和外圆倒角器7
在倒角完成后相远离，避免由于停止第三电机202后，由于转动惯性导致内圆倒角器6和外圆倒角器7继续相靠近移动一段距离而影响倒角质量。
47.在本发明的一个实施例中，所述第一弧形槽204和所述第二弧形槽205均包括：滑动段210和倒角段211，所述倒角段211与所述滑动段210连通，所述倒角段211的曲率大于所述滑动段210的曲率。
48.上述技术方案的工作原理：第一滑座206和第二滑座208在滑动段210上滑动时，此时内圆倒角器6和外圆倒角器7与石英环不接触，当第一滑座206和第二滑座208在倒角段211上滑动时，内圆倒角器6和外圆倒角器7与石英环接触，从而对石英环进行倒角。
49.上述技术方案的有益效果：倒角段211的曲率大于滑动段210的曲率，避免内圆倒角器6和外圆倒角器7移动过快而影响倒角效果，避免对石英环造成破坏，使第一滑座206和第二滑座208在滑动段210处滑动平缓，有利于对石英的倒角。
50.在本发明的一个实施例中，所述安装板304上安装有稳定夹持装置8，所述稳定夹持装置8包括：安装轴801、第一滑动套802、挤压板803、第一连接杆804、第二滑动套805、螺纹套806、第二连接杆807，所述安装轴801固定连接在所述安装板304远离所述第二电机5侧；所述第一滑动套802滑动连接在所述安装轴801上，所述第一滑动套802上周向设置有多个挤压板803，所述安装板304上开设有滑孔305，所述挤压板803与所述滑孔305滑动连接，所述第一连接杆804的第一端与所述挤压板803铰接，所述第一连接杆804的第二端与所述第一滑动套802铰接，所述第二滑动套805滑动连接在所述输出轴501上；所述输出轴501上设有螺纹段502，所述螺纹套806螺纹连接在所述螺纹段502上，所述螺纹套806转动连接在所述第二滑动套805上；所述第二连接杆807的第一端与所述第二滑动套805铰接，所述第二连接杆807的第二端与所述挤压板803远离所述第一连接杆804端铰接。
51.上述技术方案的工作原理：如图2，当需要对石英环进行夹持时，通过转动螺纹套806，则螺纹套806在螺纹段502上移动，从而带动第二滑动套805在输出轴501上滑动，从而通过第二连接杆807带动挤压板803往靠近石英环内壁的方向滑动，挤压板803限位滑动连接在滑孔305内，挤压板803往靠近石英环内壁的方向滑动时，带动第一连接杆804转动，从而带动第一滑动套802在安装轴801上往靠近安装板304的方向滑动，直至挤压板803抵接在石英环内壁，当对石英环进行倒角时，启动第二电机5带动安装板304转动，从而带动挤压板803跟随安装板304转动。
52.上述技术方案的有益效果：挤压板803与夹爪4相对应，通过挤压板803抵接石英环内壁，夹爪4夹持石英环外壁，使得对石英环的夹持更加稳定；且由于石英环为环状，通过对石英环内壁和外壁的同时夹持，避免只对石英环外壁进行夹持时，石英环只受到外壁的夹持力导致对石英环损坏；通过转动螺纹套806即可实现多个挤压板803抵接在石英环内壁上，操作简单；且由于螺纹套806与螺纹段502为螺纹连接，当挤压板803抵接在石英环内壁后，避免第一滑动套802的重力导致第一滑动套802在安装轴801上往下滑动而造成挤压板803与石英环内壁脱离，而造成挤压不稳定的问题；通过转动螺纹套806带动多个挤压板803同时往靠近石英环内壁方向移动，使得多个挤压板803移动的速度和位移一致，进一步保证了夹持的稳定性；且通过分别控制夹爪4和挤压板803，对于直径大小不一的石英环均能起到稳定夹持作用，避免通过夹持器对石英环的环壁夹持时，对于厚度过大的石英环无法夹持的问题，提高了装置的适用性；当对石英环进行倒角时，启动第二电机5带动安装板304转
动，从而带动挤压板803跟随安装板304转动，利用滑动305对挤压板803进行限位，避免倒角过程中，石英环的转动导致挤压板803无法同频转动而对石英环的夹持造成影响。
53.在本发明的一个实施例中，所述机架1上安装有喷洒装置9，所述喷洒装置9包括：箱体901，所述箱体901内设有储液腔902、传动腔903、挤压腔904、第一空腔905、第二空腔906，所述储液腔902与所述第一空腔905连通，所述第一空腔905、第二空腔906均与所述挤压腔904连通，所述挤压腔904与所述传动腔903连通，所述第二电机5安装在所述传动腔903内；还包括第一齿轮907、第二齿轮908、连接杆909、挤压杆910、第一弹簧911、第一半球体912、第二弹簧913、第二半球体914、喷头915，所述第一齿轮907固定连接在所述输出轴501上，所述第一齿轮907位于所述传动腔903内；所述第二齿轮908与所述第一齿轮907啮合连接，所述第二齿轮908通过转动轴转动连接在所述传动腔903内；所述连接杆909的第一端偏心连接在所述第二齿轮908上，所述连接杆909的第二端连接有挤压杆910，所述挤压杆910滑动连接在所述挤压腔904内；所述第一弹簧911的第一端固定连接在所述第一空腔905内，所述第一弹簧911的第二端固定连接有第一半球体912，所述第一半球体912靠近储液腔902设置；第二弹簧913，所述第二弹簧913的第一端固定连接在所述第二空腔906内，所述第二弹簧913的第二端固定连接有第二半球体914，所述第二半球体914靠近挤压腔904设置；所述喷头915通过管道与所述第二空腔906连接。
54.上述技术方案的工作原理：如图4至6，当不对石英环进行倒角时，第一半球体912堵住储液腔902设置，第二半球体未堵住挤压腔904，当对石英环进行倒角时，启动第二电机5带动安装板304转动，从而带动石英环转动进行倒角，当第二电机5带动输出轴501转动时，带动第一齿轮907转动，从而带动第二齿轮908转动，由于连接杆909的第一端偏心连接在第二齿轮908上，即第二齿轮908上远离圆心处固定安装有固定轴，连接杆909的第一端与固定轴转动连接，当第二齿轮908转动时带动连接杆909跟随固定轴的方向转动，从而通过连接杆909的第二端带动挤压杆910在挤压腔904内来回滑动，当挤压杆910往靠近第二齿轮908的方向滑动时，挤压腔904内气体的密度变小，从而带动第一弹簧911压缩、第二弹簧913拉伸，使第一半球体912未堵住储液腔902，第二半球体914堵住挤压腔904，从而使储液腔902内的喷洒液流入至挤压腔904内，当挤压杆910往远离第二齿轮908的方向滑动时，挤压腔904内的密度变大，带动第一弹簧911拉伸、第二弹簧913压缩，从而使第一半球体912堵住储液腔902，第二半球体914未堵住挤压腔904，从而使喷洒液从挤压腔904内流入至第二空腔906内，从而使喷洒液通过管道从喷头915喷出。
55.上述技术方案的有益效果：在对石英环进行倒角时，通过喷洒液对石英环进行冷却和清洗，避免了石英环倒角过程中由于切屑影响倒角质量；且通过启动第二电机5带动第一齿轮907转动，从而使喷洒液从喷头915喷出，使得在倒角过程中，喷洒液自动从喷头915喷出；且倒角完成后，关闭第二电机5，使得挤压杆910停止滑动，从而使喷洒液停止喷洒，通过机械结构的联动起到节约喷洒液的效果。
56.在本发明的一个实施例中，第三电机202可以替换成手摇杆，通过手动转动手摇杆控制螺纹轴203转动，方便操作人员控制。
57.在本发明的一个实施例中，所述工作腔201内安装有第四电机212，所述第四电机212的输出端固定连接有连接套213，所述连接套213内螺纹连接有螺纹柱214，所述传动轴203与所述螺纹柱214转动连接，所述螺纹柱214垂直所述传动轴203设置。
58.上述技术方案的工作原理：如图1，传动轴203限位滑动连接在工作腔201侧壁上，第四电机212滑动连接在工作腔201内，启动第四电机212，带动带动连接套213转动，从而带动螺纹柱214移动，从而带动传动轴203上升，从而调节内圆倒角器6和外圆倒角器7与石英环的接触高度。
59.上述技术方案的有益效果：通过第四电机212带动传动轴203移动，起到调节内圆倒角器6和外圆倒角器7的高度的作用，从而可调节石英环的倒角高度。
60.在本发明的一个实施例中，所述升降机构3还包括限位柱306，所述螺杆302两侧均设有所述限位柱306，所述安装架303与所述限位柱306滑动连接。
61.上述技术方案的工作原理：如图7，当第一电机301带动螺杆302转动时，从而带动安装架303移动，在安装架303移动过程中，通过限位柱305与安装架303滑动连接，使安装架303在两侧的限位柱305上滑动。
62.上述技术方案的有益效果：通过限位柱305与安装架303滑动连接，保证了安装架303移动的稳定性。
63.在本发明的一个实施例中，所述挤压板803为弧形，所述挤压板803靠近所述石英环内壁端安装有弹性垫。
64.上述技术方案的工作原理：挤压板803为弧形，挤压板803挤压石英环内壁时，弹性垫与石英环内壁接触。
65.上述技术方案的有益效果：挤压板803挤压石英环内壁时，弹性垫起到增大摩擦的作用，保证了夹持的稳定性；同时为避免挤压板803抵接在石英环内壁时，对石英环内壁造成损坏，通过弹性垫起到保护石英环的作用。
66.最后说明的是，以上优选实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管通过上述优选实施例已经对本发明进行了详细的描述，但本领域技术人员应当理解，可以在形式上和细节上对其作出各种各样的改变，而不偏离本发明权利要求书所限定的范围。

技术特征：
1.一种石英环倒角装置，其特征在于，包括：工作台和安装在所述工作台上的机架，所述机架上安装有升降机构，所述升降机构上连接有安装架，所述升降机构用于带动所述安装架升降移动，所述安装架上转动连接有安装板；所述安装板上靠近所述工作台侧安装有夹爪，所述夹爪用于夹持石英环外周壁；所述安装板通过输出轴连接有第二电机，所述工作台上安装有传动装置，所述传动装置上安装有内圆倒角器和外圆倒角器，所述传动装置用于带动所述内圆倒角器和所述外圆倒角器相互靠近移动，所述外圆倒角器上安装有切割刀；所述传动装置包括：第三电机，所述工作台内设有工作腔，所述第三电机安装在所述工作腔内；传动轴，所述传动轴固定连接在所述第三电机输出端；所述传动轴上设有第一弧形槽和第二弧形槽，所述第一弧形槽和所述第二弧形槽相对称设置；第一滑座，所述第一滑座滑动连接在所述传动轴上，所述第一滑座上转动连接有第一转轴，所述第一转轴滑动连接在所述第一弧形槽内，所述内圆倒角器固定连接在所述第一滑座上；第二滑座，所述第二滑座滑动连接在所述传动轴上，所述第二滑座上转动连接有第二转轴，所述第二转轴滑动连接在所述第二弧形槽内，所述外圆倒角器固定连接在所述第二滑座上。2.根据权利要求1所述的一种石英环倒角装置，其特征在于，所述第一弧形槽和所述第二弧形槽均包括：滑动段和倒角段，所述倒角段与所述滑动段连通，所述倒角段的曲率大于所述滑动段的曲率。3.根据权利要求1所述的一种石英环倒角装置，其特征在于：所述安装板上安装有稳定夹持装置，所述稳定夹持装置包括：安装轴，所述安装轴固定连接在所述安装板远离所述第二电机侧；第一滑动套，所述第一滑动套滑动连接在所述安装轴上，所述第一滑动套上周向设置有多个挤压板，所述安装板上开设有滑孔，所述挤压板与所述滑孔滑动连接；第一连接杆，所述第一连接杆的第一端与所述挤压板铰接，所述第一连接杆的第二端与所述第一滑动套铰接；第二滑动套，所述第二滑动套滑动连接在所述输出轴上；螺纹套，所述输出轴上设有螺纹段，所述螺纹套螺纹连接在所述螺纹段上，所述螺纹套转动连接在所述第二滑动套上；第二连接杆，所述第二连接杆的第一端与所述第二滑动套铰接，所述第二连接杆的第二端与所述挤压板远离所述第一连接杆端铰接。4.根据权利要求1所述的一种石英环倒角装置，其特征在于：所述机架上安装有喷洒装置，所述喷洒装置包括：箱体，所述箱体内设有储液腔、传动腔、挤压腔、第一空腔、第二空腔，所述储液腔与所述第一空腔连通，所述第一空腔、第二空腔均与所述挤压腔连通，所述挤压腔与所述传动腔连通，所述第二电机安装在所述传动腔内；第一齿轮，所述第一齿轮固定连接在所述输出轴上，所述第一齿轮位于所述传动腔内；第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合连接，所述第二齿轮通过转动轴转动连接在所述传动腔内；连接杆，所述连接杆的第一端偏心连接在所述第二齿轮上，所述连接杆的第二端连接有挤压杆，所述挤压杆滑动连接在所述挤压腔内；
第一弹簧，所述第一弹簧的第一端固定连接在所述第一空腔内，所述第一弹簧的第二端固定连接有第一半球体，所述第一半球体靠近储液腔设置；第二弹簧，所述第二弹簧的第一端固定连接在所述第二空腔内，所述第二弹簧的第二端固定连接有第二半球体，所述第二半球体靠近挤压腔设置；喷头，所述喷头通过管道与所述第二空腔连接。5.根据权利要求1所述的一种石英环倒角装置，其特征在于：所述工作腔内安装有第四电机，所述第四电机的输出端固定连接有连接套，所述连接套内螺纹连接有螺纹柱，所述螺纹轴与所述螺纹柱转动连接，所述螺纹柱垂直所述螺纹轴设置。6.根据权利要求1所述的一种石英环倒角装置，其特征在于：所述升降机构还包括限位柱，所述螺杆两侧均设有所述限位柱，所述安装架与所述限位柱滑动连接。7.根据权利要求2所述的一种石英环倒角装置，其特征在于：所述挤压板为弧形，所述挤压板靠近所述石英环内壁端安装有弹性垫。

技术总结
本发明公开了一种石英环倒角装置，属于半导体生产装置技术领域，包括：工作台和安装在所述工作台上的机架，所述机架上安装有升降机构，所述升降机构上连接有安装架，所述安装架上转动连接有安装板；所述安装板上靠近所述工作台侧安装有夹爪；所述安装板通过输出轴连接有第二电机，所述工作台上安装有传动装置，所述传动装置上安装有内圆倒角器和外圆倒角器，所述外圆倒角器上安装有切割刀。通过传动装置带动内圆倒角器和外圆倒角器同时滑动对石英环进行倒角并通过切割刀切割，节约了石英环倒角工序，提高了效率，传动装置能及时限位，内、外圆倒角器为相反的梯形状，使石英环的内圆和外圆的倒角尺寸一致，提高了倒角效率和质量。提高了倒角效率和质量。提高了倒角效率和质量。


技术研发人员：黄世果 朱江林 许欢 杨佐东
受保护的技术使用者：重庆臻宝实业有限公司
技术研发日：2022.03.08
技术公布日：2022/5/25