一种光罩盒的制作方法

1.本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，特别涉及一种光罩盒。


背景技术：

2.在集成电路工艺中，光罩上的图形通过刻蚀技术赋值在半导体上，因此，对光罩表面洁净度的要求很高，光罩表面任何瑕疵或颗粒均可能影响到产品的良率，因此，光罩在传送或保存期间必须放置在洁净度高、气密性佳且抗静电的光罩盒内。待使用光罩时，光罩连同光罩盒一并传送至光刻设备的承载台，之后打开光罩盒，取出光罩进行后续光刻工艺。
3.承载台上具有用于感知光罩盒底座的底座传感器和用于感知光罩盒壳罩的壳罩传感器，一般来说，底座传感器和壳罩传感器的数量均为两个，且各类型的传感器均以对角线形式分布于承载台的周边，当承载台搭载有光罩盒时，底座传感器接触到光罩盒的底座，壳罩传感器接触到光罩盒的壳罩，且当四个传感器均接触到光罩盒时，设备才判定为承载台已搭载光罩盒，设备进行下一步操作，只要有一个传感器未接触到光罩盒，设备判定为承载台未搭载光罩盒，设备宕机，需要现场人员处理。现用的光罩盒上，底座传感器感知区和壳罩传感器感知区均为细长的条状区，该条状区的线宽范围与光罩盒在承载台上的位置精度范围相当，因此，容易出现将光罩盒放置于承载台上时，条状区不能完全覆盖底座传感器或壳罩传感器，设备发生误报，进而导致设备宕机，需要重新放置或确认，既影响产能，又浪费人力。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是提供一种光罩盒，能实现装载于承载台时，承载台的底座传感器和壳体传感器被完全覆盖，不会发生误报而导致的宕机，不对产能造成影响。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供的光罩盒，包括：
6.底座，所述底座形成有底座传感器感知区；
7.壳罩，所述壳罩罩设于所述底座，所述壳罩的底边形成有壳罩传感器感知区；
8.所述光罩盒搭载于承载台时，所述底座传感器感知区位于所述承载台的底座传感器的位置处；所述壳罩传感器感知区位于所述承载台的壳罩传感器的位置处；
9.所述光罩盒装载于所述承载台的位置精度为m毫米，所述底座传感器的直径为x毫米，所述壳罩传感器的直径为y毫米；
10.所述底座传感器感知区的面积大于(m+x)2平方毫米，所述壳罩传感器感知区的面积大于(m+y)2平方毫米。
11.较佳地，所述底座传感器感知区的形状为半径至少等于(m+x)毫米的圆形。
12.较佳地，所述壳罩传感器感知区的形状为半径至少等于(m+y)毫米的圆形。
13.较佳地，所述底座传感器感知区的形状为边长至少等于(m+x)毫米的正方形。
14.较佳地，所述壳罩传感器感知区的形状为边长至少等于(m+y)毫米的正方形。
15.较佳地，所述底座还包括连接孔和承托件，所述连接孔与所述承载台的销钉固定连接以固定所述底座，所述承托件用于放置光罩。
16.较佳地，所述连接孔的数量为三个，所述承托件的数量为四个。
17.较佳地，所述壳罩的底边与所述底座的底面齐平设置。
18.较佳地，所述壳罩与所述底座卡扣连接。
19.较佳地，所述壳罩的顶面设置有手柄。
20.本实用新型中，光罩盒的底座传感器感知区和壳罩传感器感知区的面积设定同时考虑了传感器自身的大小和光罩盒的位置精度两个因素，因此，将光罩盒搭载至承载台时，在其位置精度范围内，底座传感器感知区能够完全覆盖底座传感器，壳罩传感器感知区也能完全覆盖壳罩传感器，解决了设备误报而导致的设备宕机的问题，有效避免了因此而导致的产能损失和人力浪费。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面对本实用新型所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1是本实用新型的光罩盒一实施例的底座仰视图；
23.图2是本实用新型的光罩盒一实施例的光罩盒与承载台示意图；
24.图3是本实用新型的光罩盒一实施例的承载台俯视图，其中，虚线框代表底座传感器感知区或壳罩传感器感知区；
25.图4是本实用新型的光罩盒一实施例的底座传感器感知区或壳罩传感器感知区的形状示意图，其中虚线代表底座传感器或壳罩传感器。
26.图中，1-底座；2-壳罩；3-承载台；11-底座传感器感知区；12-连接孔；13-承托件；21-壳罩传感器感知区；22-手柄；31-底座传感器；32-壳罩传感器；33-销钉。
具体实施方式
27.下面将结合附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
28.参考图1、图2和图3，示出了本实用新型实施例的一种光罩盒，包括：
29.底座，所述底座形成有底座传感器感知区；
30.壳罩，所述壳罩罩设于所述底座，所述壳罩的底边形成有壳罩传感器感知区；
31.所述光罩盒搭载于承载台时，所述底座传感器感知区位于所述承载台的底座传感器的位置处；所述壳罩传感器感知区位于所述承载台的壳罩传感器的位置处；
32.所述光罩盒装载于所述承载台的位置精度为m毫米，所述底座传感器的直径为x毫米，所述壳罩传感器的直径为y毫米；
33.所述底座传感器感知区的面积大于(m+x)2平方毫米，所述壳罩传感器感知区的面
积大于(m+y)2平方毫米。
34.本实用新型实施例中，光罩盒的底座传感器感知区和壳罩传感器感知区的面积设定同时考虑了传感器自身的大小和光罩盒的位置精度两个因素，因此，将光罩盒搭载至承载台时，在其位置精度范围内，底座传感器感知区能够完全覆盖底座传感器，壳罩传感器感知区也能完全覆盖壳罩传感器，有效解决了设备误报而导致的设备宕机的问题，不会对产能造成影响，也不造成人力的浪费。
35.在一种具体的实施方案中，所述底座传感器感知区的形状为半径至少等于(m+x)毫米的圆形。可理解地，光罩盒搭载至承载台后，光罩盒在以其位置精度值m为半径的圆形范围内活动，考虑到底座传感器自身的直径为x，因此，设置底座传感器感知区的形状为半径至少等于(m+x)毫米的圆形能够完全覆盖底座传感器。
36.在一种具体的实施方案中，所述壳罩传感器感知区的形状为半径至少等于(m+y)毫米的圆形。可理解地，光罩盒搭载至承载台后，光罩盒在以其位置精度值m为半径的圆形范围内活动，考虑到壳罩传感器自身的直径为y，因此，设置壳罩传感器感知区的形状为半径至少等于(m+y)毫米的圆形能够完全覆盖底座传感器。
37.在一种具体的实施方案中，所述底座传感器感知区的形状为边长至少等于(m+x)毫米的正方形。可理解地，上述设置也能够满足底座传感器感知区完全覆盖底座传感器的要求。需要说明的是，底座传感器感知区的形状并不限于圆形或正方形，也可以是其他多边形或椭圆等形状，只要其形状能完全包含以(m+x)为半径的圆形即可，图4给出了部分形状示意图。
38.在一种具体的实施方案中，所述壳罩传感器感知区的形状为边长至少等于(m+y)毫米的正方形。可理解地，上述设置也能够满足底座壳罩器感知区完全覆盖壳罩传感器的要求。需要说明的是，壳罩传感器感知区的形状并不限于圆形或正方形，也可以是其他多边形或椭圆等形状，只要其形状能完全包含以(m+y)为半径的圆形即可，图4给出了部分形状示意图。
39.在一种具体的实施方案中，所述底座还包括连接孔和承托件，所述连接孔与所述承载台的销钉固定连接以固定所述底座，所述承托件用于放置光罩。优选地，所述连接孔的数量为三个，所述承托件的数量为四个。可理解地，承载台搭载光罩盒后，需要对光罩盒进行固定，承载台上的销钉插入底座的连接孔以实现对光罩盒的固定；另外，光罩储存于光罩盒内时，光罩置于承托件上。
40.在一种具体的实施方案中，所述壳罩的底边与所述底座的底面齐平设置。
41.在一种具体的实施方案中，所述壳罩与所述底座卡扣连接。可理解地，壳罩与底座进行卡扣连接后可以避免在传送过程中两者发生分离而导致的光罩被污染。
42.在一种具体的实施方案中，所述壳罩的顶面设置有手柄以便于取放。
43.综上所述，本实用新型中，光罩盒的底座传感器感知区和壳罩传感器感知区的面积设定同时考虑了传感器自身的大小和光罩盒的位置精度两个因素，因此，将光罩盒搭载至承载台时，在其位置精度范围内，底座传感器感知区能够完全覆盖底座传感器，壳罩传感器感知区也能完全覆盖壳罩传感器，解决了设备误报而导致的设备宕机的问题，有效避免了因此而导致的产能损失和人力浪费。
44.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型的保护范
围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型保护的范围之内。

技术特征：
1.一种光罩盒，其特征在于，包括：底座，所述底座形成有底座传感器感知区；壳罩，所述壳罩罩设于所述底座，所述壳罩的底边形成有壳罩传感器感知区；所述光罩盒搭载于承载台时，所述底座传感器感知区位于所述承载台的底座传感器的位置处；所述壳罩传感器感知区位于所述承载台的壳罩传感器的位置处；所述光罩盒装载于所述承载台的位置精度为m毫米，所述底座传感器的直径为x毫米，所述壳罩传感器的直径为y毫米；所述底座传感器感知区的面积大于(m+x)2平方毫米，所述壳罩传感器感知区的面积大于(m+y)2平方毫米。2.如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，所述底座传感器感知区的形状为半径至少等于(m+x)毫米的圆形。3.如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，所述壳罩传感器感知区的形状为半径至少等于(m+y)毫米的圆形。4.如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，所述底座传感器感知区的形状为边长至少等于(m+x)毫米的正方形。5.如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，所述壳罩传感器感知区的形状为边长至少等于(m+y)毫米的正方形。6.如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，所述底座还包括连接孔和承托件，所述连接孔与所述承载台的销钉固定连接以固定所述底座，所述承托件用于放置光罩。7.如权利要求6所述的光罩盒，其特征在于，所述连接孔的数量为三个，所述承托件的数量为四个。8.如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，所述壳罩的底边与所述底座的底面齐平设置。9.如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，所述壳罩与所述底座卡扣连接。10.如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，所述壳罩的顶面设置有手柄。

技术总结
本实用新型公开了一种光罩盒，包括底座和壳罩，光罩盒装载于承载台的位置精度为m毫米，底座传感器与壳罩传感器的直径分别为x和y毫米，底座传感器感知区的面积大于(m+x)2平方毫米，所述壳罩传感器感知区的面积大于(m+x)2平方毫米。本实用新型中，光罩盒的底座传感器感知区和壳罩传感器感知区的面积设定同时考虑了传感器自身的大小和光罩盒的位置精度两个因素，因此，将光罩盒搭载至承载台时，在其位置精度范围内，底座传感器感知区能够完全覆盖底座传感器，壳罩传感器感知区也能完全覆盖壳罩传感器，解决了设备误报而导致的设备宕机的问题，有效避免了因此而导致的产能损失和人力浪费。费。费。


技术研发人员：顾佳灵
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：2021.10.25
技术公布日：2022/5/25