一种保护壳用接触条结构单元的制作方法

1.本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，特别涉及一种保护壳用接触条结构单元。


背景技术：

2.半导体集成电路的制备工艺复杂，流程繁多，其中，部分工艺需要用到高温及高频电磁场，用于实现该部分工艺的设备均需要增设防高温散出、防电磁波泄露的保护壳，保护壳一般并非一体成型，而是由多个板块组装而成，板块与板块之间存在缝隙，在该缝隙处设置扁条式金属接触条以防止高温自缝隙处散出和防止电磁波泄漏。
3.现有的扁条式金属接触条由弹片安装于铰链组装而成，弹片整体裸露于外侧，容易受其他外部因素的影响而脱离铰链，比如人为非故意碰掉、保护壳移动过程中掉落等。弹片掉落后，板块与板块之间的缝隙不再被遮挡，导致高温散出、电磁波泄漏，形成安全隐患，同时，还可能影响到工艺参数，进而影响产品质量，另外，弹片掉落后需要及时进行维修，需要花费一定的人力和财力，造成一定的浪费。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是提供一种保护壳用接触条结构单元，能有效防止弹片部的掉落。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供的保护壳用接触条结构单元，包括弹片部和保护部，所述弹片部包括弹片连接端和弹片自由端，所述弹片连接端连接于一铰链的一侧边，所述保护部包括保护连接端和保护自由端，所述保护连接端连接于所述铰链的另一侧边，所述保护自由端朝向所述弹片连接端延伸，所述弹片自由端朝向所述保护连接端延伸，所述弹片自由端位于所述保护自由端与所述铰链之间。
6.较佳地，所述弹片连接端与所述铰链可拆卸连接。
7.较佳地，所述弹片连接端与所述铰链卡扣连接。
8.较佳地，所述保护连接端与所述铰链可拆卸连接。
9.较佳地，所述保护连接端与所述铰链卡扣连接。
10.较佳地，所述弹片自由端与所述保护连接端之间具有间隙。
11.较佳地，所述弹片部、所述保护部的材质均为金属材质。
12.较佳地，所述弹片部、所述保护部的材质均为金属铜。
13.较佳地，所述铰链的材质为金属材质。
14.较佳地，所述铰链的材质为金属铜。
15.本实用新型通过设置保护部，将弹片部的弹片自由端较好的与外界隔开，使得弹片部不容易脱落，既有效防止了高温散出、电磁波泄漏导致的安全隐患，又一定程度上节省了人力、财力等成本，本实用新型结构简单，成本较低，适合广泛应用于半导体集成电路制造工艺过程中各具有高温、高频电磁场的设备的保护壳中。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面对本实用新型所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1是本实用新型的保护壳用接触条结构单元一实施例的示意图；
18.图2是本实用新型的保护壳用接触条结构单元一实施例的多个结构单元组成的接触条示意图；
19.图中，1-弹片部；2-保护部；3-铰链；11-弹片连接端；12-弹片自由端；21-保护连接端；22-保护自由端；a-弹片连接端与铰链连接处；b-保护连接端与铰链连接处。
具体实施方式
20.下面将结合附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.参考图1，示出了本实用新型的一种保护壳用接触条结构单元，所述结构单元包括弹片部1和保护部2，所述弹片部1包括弹片连接端11和弹片自由端12，所述弹片连接端11连接于一铰链3的一侧边，所述保护部2包括保护连接端21和保护自由端22，所述保护连接端21连接于所述铰链3的另一侧边，所述保护自由端22朝向所述弹片连接端11延伸，所述弹片自由端12朝向所述保护连接端21延伸，所述弹片自由端12位于所述保护自由端22与所述铰链3之间。
22.本实用新型实施例中，弹片部1的弹片自由端12位于保护部2的保护自由端22与铰链3之间，而并非完全暴露于外部，因此，不容易被人为碰掉，也不容易在保护壳移动过程中掉落，保护部2对弹片自由端12起到了很好的保护作用，使得弹片部1不容易脱落，克服了现有技术中存在的弹片容易脱落的问题，因此，既有效防止了高温散出、电磁波泄漏导致的安全隐患，又一定程度上节省了人力、财力等成本。需要说明的是，接触条通过多个结构单元依次连接与铰链3形成，如图2所示。
23.在一种具体的实施方案中，所述弹片连接端11与所述铰链3可拆卸连接。优选地，所述弹片连接端11与所述铰链3卡扣连接，参考图1中的a处。所述保护连接端21与所述铰链3可拆卸连接。优选地，所述保护连接端21与所述铰链3卡扣连接，参考图1中的b处。可理解地，将弹片部1与铰链3之间以及保护部2与铰链3之间均设置为可拆卸连接，是便于对接触条进行维护以及结构单元的安装，需要说明的是，弹片连接端11、保护连接端21与铰链3的连接方式不限于图1中示出的a处和b处的连接方式。
24.在一种具体的实施方案中，所述弹片自由端12与所述保护连接端21之间具有间隙。可理解地，弹片的自由端并非延伸至保护部2的保护连接端21，而是与保护连接端21之间具有一定的缓冲距离以供弹片部1形变时延伸用，有效防止弹片部1形变时无缓冲距离可能导致的弹片损坏。
25.在一种具体的实施方案中，所述弹片部1、所述保护部2的材质均为金属材质；所述
铰链3的材质为金属材质。优选地，所述弹片部1、所述保护部2、所述铰链3的材质均为金属铜。可理解地，金属材质尤其是铜，具备较好的电磁屏蔽作用。
26.综上所述，本实用新型通过设置保护部，将弹片部的弹片自由端较好的与外界隔开，使得弹片部不容易脱落，既有效防止了高温散出、电磁波泄漏导致的安全隐患，又一定程度上节省了人力、财力等成本，本实用新型结构简单，成本较低，适合广泛应用于半导体集成电路制造工艺过程中各具有高温、高频电磁场的设备的保护壳中。
27.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型保护的范围之内。


技术特征：
1.一种保护壳用接触条结构单元，其特征在于，所述结构单元包括弹片部和保护部，所述弹片部包括弹片连接端和弹片自由端，所述弹片连接端连接于一铰链的一侧边，所述保护部包括保护连接端和保护自由端，所述保护连接端连接于所述铰链的另一侧边，所述保护自由端朝向所述弹片连接端延伸，所述弹片自由端朝向所述保护连接端延伸，所述弹片自由端位于所述保护自由端与所述铰链之间。2.如权利要求1所述的结构单元，其特征在于，所述弹片连接端与所述铰链可拆卸连接。3.如权利要求2所述的结构单元，其特征在于，所述弹片连接端与所述铰链卡扣连接。4.如权利要求1所述的结构单元，其特征在于，所述保护连接端与所述铰链可拆卸连接。5.如权利要求4所述的结构单元，其特征在于，所述保护连接端与所述铰链卡扣连接。6.如权利要求1所述的结构单元，其特征在于，所述弹片自由端与所述保护连接端之间具有间隙。7.如权利要求1所述的结构单元，其特征在于，所述弹片部、所述保护部的材质均为金属材质。8.如权利要求7所述的结构单元，其特征在于，所述弹片部、所述保护部的材质均为金属铜。9.如权利要求1所述的结构单元，其特征在于，所述铰链的材质为金属材质。10.如权利要求9所述的结构单元，其特征在于，所述铰链的材质为金属铜。

技术总结
本实用新型公开了一种保护壳用接触条结构单元，包括弹片部和保护部，弹片部包括弹片连接端和弹片自由端，弹片连接端连接于一铰链的一侧边，保护部包括保护连接端和保护自由端，保护连接端连接于铰链的另一侧边，保护自由端朝向弹片连接端延伸，弹片自由端朝向保护连接端延伸，弹片自由端位于保护自由端与铰链之间。本实用新型通过设置保护部，将弹片部的弹片自由端较好的与外界隔开，使得弹片部不容易脱落，既有效防止了高温散出、电磁波泄漏导致的安全隐患，又一定程度上节省了人力、财力等成本，本实用新型结构简单，成本较低，适合广泛应用于半导体集成电路制造工艺过程中各具有高温、高频电磁场的设备的保护壳中。高频电磁场的设备的保护壳中。高频电磁场的设备的保护壳中。


技术研发人员：孙雷雷 龚荟卓
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：2021.10.25
技术公布日：2022/5/25