下垂罩板及带有该下垂罩板的PECVD设备的制作方法

下垂罩板及带有该下垂罩板的pecvd设备
技术领域
1.本发明涉及pecvd设备技术领域，更具体地说，涉及一种下垂罩板及带有该下垂罩板的pecvd设备。


背景技术：

2.利用pecvd设备对太阳能电池板进行真空镀膜的工艺中，承载有电池板的载板经动态传输进入工艺腔室中后，采用静态镀膜的方式完成加工。其中，载板通常停留在pecvd设备的阴极下部，载板和阴极之间缝隙作为气体流通的通道；当使用sih4等离子体辉光放电时，罩板和阴极之间会出现辉光不稳定的现象，大量粒子团簇聚集，从而形成黄色的固体粉末，即黄粉。
3.在真空镀膜工艺中，真空泵将气体及黄粉通过载板和阴极之间的通道抽走时，黄粉不可避免的会落在腔体、载板及罩板上。同时，由于载板通常需要循环使用，就会使载板上积累的黄粉过多，导致生产周期变短。此外，由于罩板上也有黄粉，积累后掉落到产品上，降低产品良率。
4.在现有技术中，通过设置多个排气孔的方式，快速排走反应后的气体，仅能较小程度地避免黄粉的产生，且不能及时地将产生的黄粉清除，在载板循环使用次数到达一定数值时，仍会产生黄粉积留的情况，从而降低加工效率和良品率。


技术实现要素：

5.1.发明解决的技术问题
6.本发明的目的在于克服现有技术中pecvd设备进行真空镀膜加工时，容易产生黄粉堆积而降低加工效率和良品率的不足，提供一种下垂罩板及带有该下垂罩板的pecvd设备，旨在避免工艺腔室内黄粉的积存，以提高加工效率和良品率。
7.2.技术方案
8.为达到上述目的，本发明提供的技术方案为：
9.本发明的一种下垂罩板，包括底板框、第一绝缘框和第二绝缘框，所述第一绝缘框设置在所述底板框上，所述第二绝缘框设置在第一绝缘框上；所述底板框由若干个底板连接形成，所述底板的下侧面设置有延伸部，所述延伸部与所述底板的下侧面相互垂直，所述第一绝缘框由若干个第一绝缘板拼合形成，所述第二绝缘框由若干个第二绝缘板拼合形成；所述底板的上侧面与所述第一绝缘板的下侧面之间，以及所述第一绝缘板的上侧面与所述第二绝缘板的下侧面之间，形成有若干个连通所述底板框内外两侧的条形孔，所述条形孔在所述底板框厚度方向上的高度为1-20mm。
10.进一步地，所述第二绝缘框的内侧边与所述第一绝缘框的内侧边齐平，所述第二绝缘框的外侧边与所述第一绝缘框的外侧边齐平；所述第一绝缘框的内侧边突出于所述底板框的内侧边设置，所述底板框的外侧边突出于所述第一绝缘框的外侧边设置。
11.进一步地，所述第一绝缘板的位置与所述第二绝缘板的位置相对应，且处于对应
位置的所述第一绝缘板和第二绝缘板之间形成有所述的条形孔。
12.进一步地，所述第一绝缘板的上侧面设置有若干个上凸部，所述第二绝缘板的下侧面上与所述上凸部对应的位置设置有下凸部，在同一所述第一绝缘板中，相邻的两个上凸部之间形成有所述的条形孔。
13.进一步地，所述第一绝缘板的上侧面设置有第一上凸部、第二上凸部和第三上凸部，所述第二上凸部位于所述第一上凸部和第三上凸部之间，所述第二绝缘板的下侧面上设置有分别与所述第一上凸部、第二上凸部和第三上凸部对应的第一下凸部、第二下凸部和第三下凸部；所述第一上凸部和第二上凸部之间形成有第一条形孔，所述第二上凸部与第三上凸部之间形成有第二条形孔。
14.进一步地，所述第一上凸部的左侧面突出于所述第一下凸部的左侧面设置，所述第三下凸部的右侧面突出于所述第三上凸部的右侧面设置。
15.进一步地，所述底板上与所述第二上凸部对应的位置处设置有第一凸起，所述底板上与所述第一上凸部和第三上凸部对应的位置处开设有第二凸起，所述第一凸起和第二凸起之间形成有第三条形孔。
16.进一步地，所述第一绝缘板在第二上凸部的位置处开设有第一固定孔，所述第二绝缘板在第二下凸部的位置处开设有第二固定孔，所述底板在第一凸起上开设有连接孔，利用紧固件穿过所述第二固定孔和所述第一固定孔后，与所述连接孔连接，以将所述第一绝缘板和第二绝缘板固定在所述底板上。
17.进一步地，所述底板框上连接有至少一个固定板，所述固定板的左右两侧中的一侧设置有压紧部，所述固定板的左右两侧中的另一侧设置有支撑部，所述压紧部用于压紧所述第一上凸部的左侧面突出于所述第一下凸部的左侧面的部分，所述支撑部被所述第三下凸部的右侧面突出于所述第三上凸部的右侧面的部分压紧。
18.本发明的一种下垂罩板，包括底板框、绝缘框，所述绝缘框设置在所述底板框上；所述底板框由若干个底板连接形成，所述底板的下侧面设置有延伸部，所述延伸部与所述底板的下侧面相互垂直，所述绝缘框由若干个绝缘板拼合形成；所述底板的上侧面与所述绝缘板的下侧面接触，所述绝缘板一体成型加工，且所述绝缘板的内部形成有若干个连通所述底板框内外两侧的条形孔，所述条形孔在所述底板框厚度方向上的高度为1-20mm。
19.本发明的一种pecvd设备，包括权利要求1～9中任一项所述的下垂罩板，所述下垂罩板设置在所述pecvd设备的工艺腔室中，且所述下垂罩板的底板固定在所述pecvd设备的阴极上。
20.3.有益效果
21.采用本发明提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：
22.(1)本发明的下垂罩板，第一绝缘框设置在底板框上，第二绝缘框设置在第一绝缘框上；底板框由若干个底板连接形成，底板的下侧面设置有延伸部，延伸部与底板的下侧面相互垂直，第一绝缘框由若干个第一绝缘板拼合形成，第二绝缘框由若干个第二绝缘板拼合形成；底板的上侧面与第一绝缘板的下侧面之间，以及第一绝缘板的上侧面与第二绝缘板的下侧面之间，形成有若干个连通底板框内外两侧的条形孔，条形孔在底板框厚度方向上的高度为1-20mm；因此，一方面，条形孔底板框厚度方向上的高度很小，条形孔类似为狭缝，工艺气体经过条形孔时，不易发生辉光放电，因而不易产生黄粉；另一方面，在当工艺气
体经过条形孔时，条形孔的截面远小于工艺腔室，导致工艺气体流速增大，即使条形孔内形成有微量的黄粉，也会被气流吹走，从而能够防止黄粉掉落至工艺腔室的工件上，极大程度地提高了真空镀膜工艺的加工效率和良品率。
23.(2)本发明中，第一绝缘板的上侧面设置有第一上凸部、第二上凸部和第三上凸部，第二绝缘板的下侧面上设置有分别与第一上凸部、第二上凸部和第三上凸部对应的第一下凸部、第二下凸部和第三下凸部，第一上凸部的左侧面突出于第一下凸部的左侧面设置，第三下凸部的右侧面突出于第三上凸部的右侧面设置，因而在下垂罩板装配时，可利用第三下凸部的右侧面突出于第三上凸部的右侧面的部分，压紧相邻的第一绝缘板上第一上凸部的左侧面突出于第一下凸部左侧面的部分，从而提高下垂罩板整体的强度，并提高装配效率。
24.(3)本发明中，底板框上连接有至少一个固定板，固定板的左右两侧中的一侧设置有压紧部，固定板的左右两侧中的另一侧设置有支撑部，压紧部用于压紧第一上凸部的左侧面突出于第一下凸部的左侧面的部分，支撑部被第三下凸部的右侧面突出于第三上凸部的右侧面的部分压紧，因而本发明的下垂罩板可利用多块标准尺寸的第一绝缘板、第二绝缘板拼装，以形成不同尺寸的下垂罩板，并利用可变尺寸的固定板对下垂罩板的尺寸进行微调。
附图说明
25.图1为本发明的下垂罩板结构示意图；
26.图2为本发明中紧固件与第一绝缘板、第二绝缘板的配合关系示意图；
27.图3为本发明中固定板与第一绝缘板、第二绝缘板的配合关系示意图；
28.图4为本发明中下垂罩板整体形状示意图。
具体实施方式
29.为进一步了解本发明的内容，结合附图和实施例对本发明作详细描述。
30.本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”等用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。
31.在相关领域中，pecvd设备的阴极喷嘴的四周设置有罩板，罩板与阴极喷嘴齐平设置，且罩板一般为金属，或陶瓷材质；同时，罩板和阴极喷嘴之间为绝缘设置，因而在进行真空镀膜加工时，能够抑制阴极喷嘴边部的无序放电。
32.然而，即使在阴极喷嘴的四周设置有罩板，承载有待加工产品的载板停留在pecvd设备的阴极下部，并进行真空镀膜加工时，载板和阴极之间的缝隙形成为工艺气体流通的通道；当使用sih4等离子体辉光放电时，罩板和阴极之间会出现辉光不稳定，从而产生黄粉，即高阶硅烷粉末。因此，在进行真空镀膜工艺时，真空泵将工艺气体和黄粉通过载板和
310的下侧面上可以设置有分别与第一上凸部211、第二上凸部212和第三上凸部213对应的第一下凸部311、第二下凸部312和第三下凸部313；第一上凸部211和第二上凸部212 之间可以形成有第一条形孔201，第二上凸部212与第三上凸部213之间可以形成有第二条形孔202。
41.作为进一步的优化，第一上凸部211的左侧面可以突出于第一下凸部311的左侧面设置，第三下凸部313的右侧面可以突出于第三上凸部213的右侧面设置，因而在下垂罩板装配时，可利用第三下凸部313的右侧面突出于第三上凸部213的右侧面的部分，压紧相邻的第一绝缘板210上第一上凸部211的左侧面突出于第一下凸部311左侧面的部分，从而提高下垂罩板整体的强度，并提高装配效率。
42.在本实施方式中，底板100上与第二上凸部212对应的位置处可以设置有第一凸起101，底板100上与第一上凸部211和第三上凸部213对应的位置处可以开设有第二凸起103，第一凸起101和第二凸起103之间可以形成有第三条形孔。具体的，第一凸起101和第二凸起 103之间可以设有凹槽102，下垂罩板装配完成后，第一绝缘板210的下侧面能够遮盖住凹槽102，从而形成第三条形孔。
43.作为进一步的优化，参照图3，第一绝缘板210在第二上凸部212的位置处开设有第一固定孔203，第二绝缘板310在第二下凸部312的位置处可以开设有第二固定孔301，底板 100在第一凸起101上可以开设有连接孔105，利用紧固件400可以穿过第一固定孔203和第二固定孔301后，与连接孔105连接，以将第一绝缘板210和第二绝缘板310固定在底板 100上。
44.此外，底板100框上连接有至少一个固定板500，固定板500的左右两侧中的一侧可以设置有压紧部502，固定板500的左右两侧中的另一侧可以设置有支撑部503。因此，在下垂罩板装配时，可利用固定板500的压紧部502，压紧相邻的第一绝缘板210上第一上凸部 211的左侧面突出于第一下凸部311左侧面的部分；支撑部503可以被第三下凸部313的右侧面突出于第三上凸部213的右侧面的部分压紧，从而提高下垂罩板整体的强度，并提高装配效率。
45.参照图3，为了方便于底板100与固定板500的连接，底板100上与固定板500对应的位置处设置有第三凸起104，固定板500上与第三凸起104对应的位置处设置有第三固定孔 501。装配时，可用紧固件400穿过第三固定孔501并与第三凸起104连接，从而将固定板 500固定在底板100上。此外，第三凸起104与相邻的第一凸起101也可形成有第三条形孔。
46.应当说明的是，当底板100上设置有固定板500时，底板100与固定板500对应的位置处设置的第三凸起104，第三凸起104取代了该位置处本应设置的第二凸起103。
47.此外，下垂罩板结构的其他实施方式中，其可以包括底板框、绝缘框，所述绝缘框设置在所述底板框上；所述底板框由若干个底板连接形成，所述底板的下侧面设置有延伸部，所述延伸部与所述底板的下侧面相互垂直，所述绝缘框由若干个绝缘板拼合形成；所述底板的上侧面与所述绝缘板的下侧面接触，所述绝缘板一体成型加工，且所述绝缘板内部形成有若干个连通所述底板框内外两侧的条形孔，所述条形孔在所述底板框厚度方向上的高度为1
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20mm。
48.本实施方式还提供了一种pecvd设备，该pecvd设备中，下垂罩板设置在pecvd 设备的工艺腔室中，且下垂罩板的底板100固定在pecvd设备的阴极上。其中，下垂罩板可以是
本实施方式中的下垂罩板。
49.以上示意性的对本发明及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本发明的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本发明创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本发明的保护范围。

技术特征：
1.一种下垂罩板，其特征在于：包括底板框、第一绝缘框和第二绝缘框，所述第一绝缘框设置在所述底板框上，所述第二绝缘框设置在第一绝缘框上；所述底板框由若干个底板连接形成，所述底板的下侧面设置有延伸部，所述延伸部与所述底板的下侧面相互垂直，所述第一绝缘框由若干个第一绝缘板拼合形成，所述第二绝缘框由若干个第二绝缘板拼合形成；所述底板的上侧面与所述第一绝缘板的下侧面接触，以及所述第一绝缘板的上侧面与所述第二绝缘板的下侧面接触，从而形成有若干个连通所述底板框内外两侧的条形孔，所述条形孔在所述底板框厚度方向上的高度为1-20mm。2.根据权利要求1所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述第二绝缘框的内侧边与所述第一绝缘框的内侧边齐平，所述第二绝缘框的外侧边与所述第一绝缘框的外侧边齐平；所述第一绝缘框的内侧边突出于所述底板框的内侧边设置，所述底板框的外侧边突出于所述第一绝缘框的外侧边设置。3.根据权利要求1所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述第一绝缘板的位置与所述第二绝缘板的位置相对应，且处于对应位置的所述第一绝缘板和第二绝缘板之间形成有所述的条形孔。4.根据权利要求3所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述第一绝缘板的上侧面设置有若干个上凸部，所述第二绝缘板的下侧面上与所述上凸部对应的位置设置有下凸部，在同一所述第一绝缘板中，相邻的两个上凸部之间形成有所述的条形孔。5.根据权利要求4所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述第一绝缘板的上侧面设置有第一上凸部、第二上凸部和第三上凸部，所述第二上凸部位于所述第一上凸部和第三上凸部之间，所述第二绝缘板的下侧面上设置有分别与所述第一上凸部、第二上凸部和第三上凸部对应的第一下凸部、第二下凸部和第三下凸部；所述第一上凸部和第二上凸部之间形成有第一条形孔，所述第二上凸部与第三上凸部之间形成有第二条形孔。6.根据权利要求5所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述第一上凸部的左侧面突出于所述第一下凸部的左侧面设置，所述第三下凸部的右侧面突出于所述第三上凸部的右侧面设置。7.根据权利要求6所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述底板上与所述第二上凸部对应的位置处设置有第一凸起，所述底板上与所述第一上凸部和第三上凸部对应的位置处开设有第二凸起，所述第一凸起和第二凸起之间形成有第三条形孔。8.根据权利要求7所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述第一绝缘板在第二上凸部的位置处开设有第一固定孔，所述第二绝缘板在第二下凸部的位置处开设有第二固定孔，所述底板在第一凸起上开设有连接孔，利用紧固件穿过所述第二固定孔和所述第一固定孔后，与所述连接孔连接，以将所述第一绝缘板和第二绝缘板固定在所述底板上。9.根据权利要求7所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述底板框上连接有至少一个固定板，所述固定板的左右两侧中的一侧设置有压紧部，所述固定板的左右两侧中的另一侧设置有支撑部，所述压紧部用于压紧所述第一上凸部的左侧面突出于所述第一下凸部的左侧面的部分，所述支撑部被所述第三下凸部的右侧面突出于所述第三上凸部的右侧面的部分压紧。10.一种下垂罩板，其特征在于：包括底板框、绝缘框，所述绝缘框设置在所述底板框上；所述底板框由若干个底板连接形成，所述底板的下侧面设置有延伸部，所述延伸部与所
述底板的下侧面相互垂直，所述绝缘框由若干个绝缘板拼合形成；所述底板的上侧面与所述绝缘板的下侧面接触，所述绝缘板一体成型加工，且所述绝缘板的内部形成有若干个连通所述底板框内外两侧的条形孔，所述条形孔在所述底板框厚度方向上的高度为1-20mm。11.一种pecvd设备，其特征在于：包括权利要求1～10中任一项所述的下垂罩板，所述下垂罩板设置在所述pecvd设备的工艺腔室中，且所述下垂罩板的底板固定在所述pecvd设备的阴极上。

技术总结
本发明公开了一种下垂罩板及带有该下垂罩板的PECVD设备，属于PECVD设备技术领域。本发明的下垂罩板，第一绝缘框设置在底板框上，第二绝缘框设置在第一绝缘框上；底板框由若干个底板连接形成，底板的下侧面设置有延伸部，延伸部与底板的下侧面相互垂直，第一绝缘框由若干个第一绝缘板拼合形成，第二绝缘框由若干个第二绝缘板拼合形成；底板的上侧面与第一绝缘板的下侧面之间，以及第一绝缘板的上侧面与第二绝缘板的下侧面之间，形成有若干个连通底板框内外两侧的条形孔，条形孔在底板框厚度方向上的高度为1-20mm；本实施方式的下垂罩板能够极大程度地提高真空镀膜工艺的加工效率和良品率。良品率。良品率。


技术研发人员：刘亚南 张斌 陈晨 王登志 刘欢
受保护的技术使用者：苏州迈正科技有限公司
技术研发日：2022.03.07
技术公布日：2022/5/25