一种节能环保工作高效的真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体来说，涉及一种节能环保工作高效的真空镀膜机。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
3.如申请号：cn201620320798.2，公开了一种晶体管加工用真空镀膜机，罩体底部设有密封结构且通过所述密封结构与底座形成密封空间，抽真空机构用于对所述密封空间抽真空，转架位于所述密封空间内且通过转轴可转动安装在支架上，驱动机构通过驱动齿轮驱动转架围绕转轴旋转，转架上设有沿以转轴为中心的圆周分布的多个工件位，喷镀机构位于所述密封空间内且位于工件架下方。本实用新型提出的晶体管加工用真空镀膜机，结构设计合理，在喷镀时，驱动机构驱动转架旋转，同时拨动件通过拨动凸起驱动工件夹具旋转，从而保证工件喷镀均匀，大大提高喷镀效果。
4.但是上述技术中的真空镀膜机不便于对镀膜的工件进行多方位镀膜，当需要对工件进行多方位镀膜时，需要将工件拆卸，然后将工件转动后重新进行固定，因此导致操作工序繁琐，既提高了工作人员的劳动量，又降低了镀膜效率。


技术实现要素：

5.针对现有技术存在的真空镀膜机不便于对镀膜的工件进行多方位镀膜，当需要对工件进行多方位镀膜时，需要将工件拆卸，然后将工件转动后重新进行固定，因此导致操作工序繁琐，既提高了工作人员的劳动量，又降低了镀膜效率的问题，本实用新型提供了一种节能环保工作高效的真空镀膜机，采用封闭空间镀膜，实现了节能环保，且在镀膜过程中，既方便对待镀膜的工件进行夹紧固定，又能够实现对夹紧的工件进行三百六十度的旋转，从而实现对工件的全方位镀膜，因此有效的避免了频繁拆装工件所带来的不便，进而提高了镀膜的工作效率。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种节能环保工作高效的真空镀膜机，包括：
8.真空室，所述真空室内壁的底部安装有覆膜发射源，所述真空室的一侧安装有真空泵以及夹紧组件，所述真空室的另一侧安装有旋转组件以及驱动组件；
9.其中，所述真空室的顶部开设有放置口，所述真空室的顶部且对应所述放置口的位置设置有挡门，所述挡门的一端通过铰链转动安装在所述真空室上，所述挡门的另一端通过锁扣与所述真空室连接；
10.其中，所述夹紧组件包括固定连接在所述真空室侧面的夹紧气缸，所述夹紧气缸的输出端上固定连接有夹紧杆，所述夹紧杆的另一端通过滚珠轴承转动安装有第一夹座；
11.其中，所述旋转组件包括旋转杆，所述旋转杆的一端通过滚珠轴承转动安装在所述真空室内壁的侧面，所述旋转杆的另一端固定连接有第二夹座，所述第二夹座的表面固定连接有环形齿条；
12.其中，所述驱动组件包括固定连接在所述真空室侧面的伺服电机，所述伺服电机的输出轴上固定连接有驱动轴，所述驱动轴的另一端固定连接有与所述环形齿条相互啮合的齿轮。
13.优选的，所述挡门的底部固定连接有与所述放置口相适配的密封垫。
14.优选的，所述夹紧气缸、伺服电机以及真空泵靠近所述真空室的一侧均设置有密封圈。
15.优选的，所述第一夹座的侧面固定连接有第一夹紧垫。
16.优选的，所述第二夹座的侧面固定连接有第二夹紧垫。
17.优选的，所述第二夹座靠近所述旋转杆的一侧固定连接有对称设置的支撑杆，所述支撑杆的端部设置有滚珠。
18.优选的，所述滚珠靠近所述真空室的一侧与所述真空室的内壁滚动连接。
19.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
20.本实用新型通过真空室、覆膜发射源、真空泵、夹紧组件、旋转组件以及驱动组件之间的相互配合，实现了一种节能环保工作高效的真空镀膜机，采用封闭空间镀膜，实现了节能环保，且在镀膜过程中，既方便对待镀膜的工件进行夹紧固定，又能够实现对夹紧的工件进行三百六十度的旋转，从而实现对工件的全方位镀膜，因此有效的避免了频繁拆装工件所带来的不便，进而提高了镀膜的工作效率。
附图说明
21.图1为本实用新型节能环保工作高效的真空镀膜机的结构示意图；
22.图2为本实用新型节能环保工作高效的真空镀膜机中夹紧组件的结构示意图；
23.图3为本实用新型节能环保工作高效的真空镀膜机中旋转组件的结构示意图；
24.图4为本实用新型节能环保工作高效的真空镀膜机中驱动组件的结构示意图。
25.图中：1、真空室；2、覆膜发射源；3、真空泵；4、夹紧组件；5、旋转组件；6、驱动组件；101、放置口；102、挡门；103、密封垫；401、夹紧气缸；402、夹紧杆；403、第一夹座；501、旋转杆；502、第二夹座；503、环形齿条；504、支撑杆；505、滚珠；601、伺服电机；602、驱动轴；603、齿轮。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.如图1-4所示，一种节能环保工作高效的真空镀膜机，包括真空室1，真空室1内壁的底部安装有覆膜发射源2，真空室1的一侧安装有真空泵3以及夹紧组件4，真空室1的另一侧安装有旋转组件5以及驱动组件6；
28.其中，真空室1的顶部开设有放置口101，真空室1的顶部且对应放置口101的位置设置有挡门102，挡门102的一端通过铰链转动安装在真空室1上，挡门102的另一端通过锁扣与真空室1连接；
29.其中，夹紧组件4包括固定连接在真空室1侧面的夹紧气缸401，夹紧气缸401的输出端上固定连接有夹紧杆402，夹紧杆402的另一端通过滚珠轴承转动安装有第一夹座403；
30.其中，旋转组件5包括旋转杆501，旋转杆501的一端通过滚珠轴承转动安装在真空室1内壁的侧面，旋转杆501的另一端固定连接有第二夹座502，第二夹座502的表面固定连接有环形齿条503；
31.其中，驱动组件6包括固定连接在真空室1侧面的伺服电机601，伺服电机601的输出轴上固定连接有驱动轴602，驱动轴602的另一端固定连接有与环形齿条503相互啮合的齿轮603。
32.通过采用上述技术方案，采用封闭空间镀膜，实现了节能环保，且在镀膜过程中，既方便对待镀膜的工件进行夹紧固定，又能够实现对夹紧的工件进行三百六十度的旋转，从而实现对工件的全方位镀膜，因此有效的避免了频繁拆装工件所带来的不便，进而提高了镀膜的工作效率。
33.如图1-4所示，挡门102的底部固定连接有与放置口101相适配的密封垫103，夹紧气缸401、伺服电机601以及真空泵3靠近真空室1的一侧均设置有密封圈。
34.通过采用上述技术方案，增加了真空室1的密封性。
35.如图1-4所示，第一夹座403的侧面固定连接有第一夹紧垫，第二夹座502的侧面固定连接有第二夹紧垫。
36.通过采用上述技术方案，既增加了对待镀膜工件夹紧的稳定性，又能够对工件起到防护作用。
37.如图1-4所示，第二夹座502靠近旋转杆501的一侧固定连接有对称设置的支撑杆504，支撑杆504的端部设置有滚珠505，滚珠505靠近真空室1的一侧与真空室1的内壁滚动连接。
38.通过采用上述技术方案，对第二夹座502起到限位作用，增加了第二夹座502带动待镀膜工件转动的稳定性。
39.为了方便理解本实用新型的上述技术方案，以下就本实用新型在实际过程中的工作原理或者操作方式进行详细说明。
40.本实用新型提供的节能环保工作高效的真空镀膜机，使用时，将待镀膜的工件放置在第一夹座403与第二夹座502之间，然后通过夹紧气缸401带动第一夹座403对工件进行夹紧固定，夹紧完成后，盖上挡门102，即可通过覆膜发射源2对工件进行镀膜操作，与此同时，打开伺服电机601，使其通过驱动轴602带动齿轮603转动，从而在齿牙的啮合作用下，带动环形齿条503转动，因此能够带动第二夹座502上的工件进行转动，从而能够实现对夹紧的工件进行三百六十度的旋转，进而实现对工件的全方位镀膜。
41.综上所述：该节能环保工作高效的真空镀膜机，由真空室1、覆膜发射源2、真空泵3、夹紧组件4、旋转组件5以及驱动组件6构成，解决了背景技术所提到的问题。
42.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修
改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种节能环保工作高效的真空镀膜机，其特征在于，包括：真空室（1），所述真空室（1）内壁的底部安装有覆膜发射源（2），所述真空室（1）的一侧安装有真空泵（3）以及夹紧组件（4），所述真空室（1）的另一侧安装有旋转组件（5）以及驱动组件（6）；其中，所述真空室（1）的顶部开设有放置口（101），所述真空室（1）的顶部且对应所述放置口（101）的位置设置有挡门（102），所述挡门（102）的一端通过铰链转动安装在所述真空室（1）上，所述挡门（102）的另一端通过锁扣与所述真空室（1）连接；其中，所述夹紧组件（4）包括固定连接在所述真空室（1）侧面的夹紧气缸（401），所述夹紧气缸（401）的输出端上固定连接有夹紧杆（402），所述夹紧杆（402）的另一端通过滚珠轴承转动安装有第一夹座（403）；其中，所述旋转组件（5）包括旋转杆（501），所述旋转杆（501）的一端通过滚珠轴承转动安装在所述真空室（1）内壁的侧面，所述旋转杆（501）的另一端固定连接有第二夹座（502），所述第二夹座（502）的表面固定连接有环形齿条（503）；其中，所述驱动组件（6）包括固定连接在所述真空室（1）侧面的伺服电机（601），所述伺服电机（601）的输出轴上固定连接有驱动轴（602），所述驱动轴（602）的另一端固定连接有与所述环形齿条（503）相互啮合的齿轮（603）。2.根据权利要求1所述的一种节能环保工作高效的真空镀膜机，其特征在于：所述挡门（102）的底部固定连接有与所述放置口（101）相适配的密封垫（103）。3.根据权利要求2所述的一种节能环保工作高效的真空镀膜机，其特征在于：所述夹紧气缸（401）、伺服电机（601）以及真空泵（3）靠近所述真空室（1）的一侧均设置有密封圈。4.根据权利要求3所述的一种节能环保工作高效的真空镀膜机，其特征在于：所述第一夹座（403）的侧面固定连接有第一夹紧垫。5.根据权利要求4所述的一种节能环保工作高效的真空镀膜机，其特征在于：所述第二夹座（502）的侧面固定连接有第二夹紧垫。6.根据权利要求5所述的一种节能环保工作高效的真空镀膜机，其特征在于：所述第二夹座（502）靠近所述旋转杆（501）的一侧固定连接有对称设置的支撑杆（504），所述支撑杆（504）的端部设置有滚珠（505）。7.根据权利要求6所述的一种节能环保工作高效的真空镀膜机，其特征在于：所述滚珠（505）靠近所述真空室（1）的一侧与所述真空室（1）的内壁滚动连接。

技术总结
本实用新型公开了一种节能环保工作高效的真空镀膜机，包括真空室，所述真空室内壁的底部安装有覆膜发射源，所述真空室的一侧安装有真空泵以及夹紧组件，所述真空室的另一侧安装有旋转组件以及驱动组件；其中，所述真空室的顶部开设有放置口。本实用新型通过真空室、覆膜发射源、真空泵、夹紧组件、旋转组件以及驱动组件之间的相互配合，实现了一种节能环保工作高效的真空镀膜机，采用封闭空间镀膜，实现了节能环保，且在镀膜过程中，既方便对待镀膜的工件进行夹紧固定，又能够实现对夹紧的工件进行三百六十度的旋转，从而实现对工件的全方位镀膜，因此有效的避免了频繁拆装工件所带来的不便，进而提高了镀膜的工作效率。进而提高了镀膜的工作效率。进而提高了镀膜的工作效率。


技术研发人员：张志松
受保护的技术使用者：张志松
技术研发日：2021.11.03
技术公布日：2022/5/25