晶圆切割自动装夹装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为晶圆切割自动装夹装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，是高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
3.现市面上的晶圆加工切割装夹装置在使用时存在以下问题；
4.1.传统的晶圆加工自动装夹装置在应用的过程中稳定性较差，在对晶圆进行装夹固定时容易导致其放置不稳定的情况，从而使得装夹过程无法正常的进行，以至于在装夹时工作人员需要额外的对晶圆进行手动加固，在操作时费时费力，不能够实现自主固定的效果；
5.2.多数的晶圆加工自动装夹装置在进行装夹的过程中需要事先确定好相应的中心位置，然后才方便利用夹持结构来实现装夹固定的效果，这样的操作方式不仅繁琐，而且根据不同直径大小的晶圆就需要确定不同的中心点位置，操作时较为的麻烦。


技术实现要素：

6.(一)解决的技术问题
7.针对现有技术的不足，本实用新型提供了晶圆切割自动装夹装置，解决了现有晶圆加工自动装夹装置在应用的过程中稳定性较差，在对晶圆进行装夹固定时容易导致其放置不稳定的情况，从而使得装夹过程无法正常的进行，以至于在装夹时工作人员需要额外的对晶圆进行手动加固，在操作时费时费力，不能够实现自主固定的效果，同时多数的晶圆加工自动装夹装置在进行装夹的过程中需要事先确定好相应的中心位置，然后才方便利用夹持结构来实现装夹固定的效果，这样的操作方式不仅繁琐，而且根据不同直径大小的晶圆就需要确定不同的中心点位置，操作时较为的麻烦的问题。
8.(二)技术方案
9.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：晶圆切割自动装夹装置，包括底板、放置板、橡胶圈以及吸盘，所述底板的顶部开设第一滑槽，所述第一滑槽的内部活动连接第一滑块，所述第一滑块的顶部固定连接放置板，所述放置板的顶部固定连接吸盘，所述底板的顶部设有第一夹块和第二夹块，所述底板的顶部设有电动推杆。
10.优选的，所述底板的顶部开设插槽，所述插槽的内部通过插入的方式连接插板，所述插板的侧面固定连接第一夹块。
11.优选的，所述电动推杆的侧面设有侧板，所述侧板的内部插入螺栓，所述底板的顶部开设螺孔，所述螺栓通过螺纹连接在螺孔的内部。
12.优选的，所述电动推杆的侧面设有伸缩杆，所述伸缩杆的另一端固定连接插杆，所述第二夹块的背面开设插孔，所述插杆插入在插孔的内部。
13.优选的，所述底板的顶部开设第二滑槽，所述第二滑槽的内部活动连接第二滑块，所述第二夹块的底部固定连接第二滑块。
14.优选的，所述放置板的顶部通过粘接的方式连接橡胶圈，所述橡胶圈位于吸盘的外部。
15.(三)有益效果
16.本实用新型提供了晶圆切割自动装夹装置。具备以下有益效果：
17.(1)、该晶圆切割自动装夹装置，通过在底板上设有特殊结构的放置板，解决了传统装夹装置在使用时稳定性较差的问题，由于在放置板的内部额外安装了吸盘结构，这样在将晶圆放在放置板上时，只需要将晶圆的中心对准放置板的中心，然后缓缓放下晶圆并持续下压，使得吸盘将晶圆吸附住，此时即可将晶圆稳定的固定在放置板上，大大提高了放置晶圆时的稳定性，在后续进行装夹时也不会出现晃动和位移的情况，整体结构简单，实用性较强；
18.(2)、该晶圆切割自动装夹装置，通过在底板和放置板之间采用第一滑块进行连接，这样即可让放置板处于可左右滑动的样式，然后在对不同直径大小的晶圆进行固定时，就无需事先确定好晶圆的中心位置，只需要将晶圆固定在放置板上，接着第二夹块向第一夹块的方向移动，同时就可以自然而然的推动放置板上的晶圆进行移动，直至第二夹块和第一夹块将晶圆固定好，这样就完成了装夹工作，降低了对晶圆进行安装时的难度，操作时省时省力，功能性较强。
附图说明
19.图1为本实用新型整体的结构示意图；
20.图2为本实用新型的底板结构示意图；
21.图3为本实用新型的第二夹块背面图；
22.图4为本实用新型的电动推杆结构示意图；
23.图5为本实用新型的第一滑块背面图；
24.图6为本实用新型的放置板侧视图。
25.图中，底板-1、第一夹块-2、第二夹块-3、插板-4、插槽-5、第一滑槽-6、第二滑槽-7、第一滑块-8、第二滑块-9、放置板-10、橡胶圈-11、吸盘-12、插孔-13、插杆-14、伸缩杆-15、电动推杆-16、侧板-17、螺孔-18、螺栓-19。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.请参阅图1-6，本实用新型实施例提供一种技术方案：晶圆切割自动装夹装置，包括底板1、放置板10、橡胶圈11以及吸盘12，所述底板1的顶部开设第一滑槽6，所述第一滑槽6的内部活动连接第一滑块8，所述第一滑块8的顶部固定连接放置板10，由于设有的第一滑块8结合第一滑槽6，使得在安装晶圆时可以无需确定好中心位置，操作时较为的方便，所述
放置板10的顶部固定连接吸盘12，所述底板1的顶部设有第一夹块2和第二夹块3，所述底板1的顶部设有电动推杆16，通过设有的带有吸盘12结构的放置板10，可以对放置晶圆时大幅度提高其稳定性，避免出现晃动和位移的情况。
28.所述底板1的顶部开设插槽5，所述插槽5的内部通过插入的方式连接插板4，所述插板4的侧面固定连接第一夹块2，由于在底板1和第一夹块2之间采用插接的方式进行连接，方便了对第一夹块2进行更换，操作时便捷性较强。
29.所述电动推杆16的侧面设有侧板17，所述侧板17的内部插入螺栓19，所述底板1的顶部开设螺孔18，所述螺栓19通过螺纹连接在螺孔18的内部，由于在电动推杆16的侧面设有侧板17结构，并用螺栓19来进行固定，便于工作人员进行检修维护。
30.所述电动推杆16的侧面设有伸缩杆15，所述伸缩杆15的另一端固定连接插杆14，所述第二夹块3的背面开设插孔13，所述插杆14插入在插孔13的内部，由于在伸缩杆15和第二夹块3之间采用插杆14进行连接，装卸时较为的方便。
31.所述底板1的顶部开设第二滑槽7，所述第二滑槽7的内部活动连接第二滑块9，所述第二夹块3的底部固定连接第二滑块9，由于在第二夹块3的底部设有滑动结构，可以使得第二夹块3在移动时更加的流畅。
32.所述放置板10的顶部通过粘接的方式连接橡胶圈11，所述橡胶圈11位于吸盘12的外部，由于设有的橡胶圈11，可以在和晶圆接触时避免其出现磨损的情况，保护效果较好。
33.工作原理：在使用该晶圆切割自动装夹装置时，通过在底板1上设有的放置板10，只需要先将晶圆固定在放置板10上，然后再利用第一夹块2和第二夹块3进行装夹固定即可，在进行操作时由于在放置板10的内部额外安装了吸盘12结构，这样在将晶圆放在放置板10上时，只需要将晶圆的中心对准放置板10的中心，然后缓缓放下晶圆并持续下压，使得吸盘12将晶圆吸附住，此时即可将晶圆稳定的固定在放置板10上，大大提高了放置晶圆时的稳定性，在后续进行装夹时也不会出现晃动和位移的情况，然后启动底板1上的电动推杆16，由电动推杆16带动伸缩杆15进行伸展，同时由于在底板1和放置板10之间是采用第一滑块8进行连接，这样即可让放置板10处于可左右滑动的样式，就可以自然而然的推动放置板10上的晶圆进行移动，直至第二夹块3和第一夹块2将晶圆固定好，这样就完成了装夹工作，降低了对晶圆进行安装时的难度，这样就能够在对不同直径大小的晶圆进行固定时，无需事先确定好晶圆的中心位置，只需要将晶圆固定在放置板10上即可，操作时省时省力，整体结构简单，实用性较强。
34.本实用新型的底板1、第一夹块2、第二夹块3、插板4、插槽5、第一滑槽6、第二滑槽7、第一滑块8、第二滑块9、放置板10、橡胶圈11、吸盘12、插孔13、插杆14、伸缩杆15、电动推杆16、侧板17、螺孔18、螺栓19，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是现有晶圆加工自动装夹装置在应用的过程中稳定性较差，在对晶圆进行装夹固定时容易导致其放置不稳定的情况，从而使得装夹过程无法正常的进行，以至于在装夹时工作人员需要额外的对晶圆进行手动加固，在操作时费时费力，不能够实现自主固定的效果，同时多数的晶圆加工自动装夹装置在进行装夹的过程中需要事先确定好相应的中心位置，然后才方便利用夹持结构来实现装夹固定的效果，这样的操作方式不仅繁琐，而且根据不同直径大小的晶圆就需要确定不同的中心点位置，操作时较为的麻烦等问题，本实用新型
通过上述部件的互相组合，通过在底板1上设有特殊结构的放置板10，由于在放置板10的内部额外安装了吸盘12结构，这样在将晶圆放在放置板10上时，只需要将晶圆的中心对准放置板10的中心，然后缓缓放下晶圆并持续下压，使得吸盘12将晶圆吸附住，此时即可将晶圆稳定的固定在放置板10上，大大提高了放置晶圆时的稳定性，在后续进行装夹时也不会出现晃动和位移的情况，同时由于在底板1和放置板10之间采用第一滑块8进行连接，这样即可让放置板10处于可左右滑动的样式，然后在对不同直径大小的晶圆进行固定时，就无需事先确定好晶圆的中心位置，只需要将晶圆固定在放置板10上，接着第二夹块3向第一夹块2的方向移动，同时就可以自然而然的推动放置板10上的晶圆进行移动，直至第二夹块3和第一夹块2将晶圆固定好，这样就完成了装夹工作，降低了对晶圆进行安装时的难度，操作时省时省力，功能性较强。
35.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
36.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：
1.晶圆切割自动装夹装置，其特征在于：包括底板(1)、放置板(10)、橡胶圈(11)以及吸盘(12)，所述底板(1)的顶部开设第一滑槽(6)，所述第一滑槽(6)的内部活动连接第一滑块(8)，所述第一滑块(8)的顶部固定连接放置板(10)，所述放置板(10)的顶部固定连接吸盘(12)，所述底板(1)的顶部设有第一夹块(2)和第二夹块(3)，所述底板(1)的顶部设有电动推杆(16)。2.根据权利要求1所述的晶圆切割自动装夹装置，其特征在于：所述底板(1)的顶部开设插槽(5)，所述插槽(5)的内部通过插入的方式连接插板(4)，所述插板(4)的侧面固定连接第一夹块(2)。3.根据权利要求1所述的晶圆切割自动装夹装置，其特征在于：所述电动推杆(16)的侧面设有侧板(17)，所述侧板(17)的内部插入螺栓(19)，所述底板(1)的顶部开设螺孔(18)，所述螺栓(19)通过螺纹连接在螺孔(18)的内部。4.根据权利要求1所述的晶圆切割自动装夹装置，其特征在于：所述电动推杆(16)的侧面设有伸缩杆(15)，所述伸缩杆(15)的另一端固定连接插杆(14)，所述第二夹块(3)的背面开设插孔(13)，所述插杆(14)插入在插孔(13)的内部。5.根据权利要求1所述的晶圆切割自动装夹装置，其特征在于：所述底板(1)的顶部开设第二滑槽(7)，所述第二滑槽(7)的内部活动连接第二滑块(9)，所述第二夹块(3)的底部固定连接第二滑块(9)。6.根据权利要求1所述的晶圆切割自动装夹装置，其特征在于：所述放置板(10)的顶部通过粘接的方式连接橡胶圈(11)，所述橡胶圈(11)位于吸盘(12)的外部。

技术总结
本实用新型公开了晶圆切割自动装夹装置，包括底板、放置板、橡胶圈以及吸盘，所述底板的顶部开设第一滑槽，所述第一滑槽的内部活动连接第一滑块，所述第一滑块的顶部固定连接放置板，所述放置板的顶部固定连接吸盘，所述底板的顶部设有第一夹块和第二夹块，所述底板的顶部设有电动推杆。该晶圆切割自动装夹装置，通过在底板上设有特殊结构的放置板，解决了传统装夹装置在使用时稳定性较差的问题，这样在将晶圆放在放置板上时，只需要将晶圆的中心对准放置板的中心，然后缓缓放下晶圆并持续下压，使得吸盘将晶圆吸附住，此时即可将晶圆稳定的固定在放置板上，大大提高了放置晶圆时的稳定性，整体结构简单，实用性较强。实用性较强。实用性较强。


技术研发人员：殷泽安
受保护的技术使用者：苏州译品芯半导体有限公司
技术研发日：2021.11.12
技术公布日：2022/5/25