金属掩膜版清洗保护装置的制作方法

1.本实用新型涉及掩膜版定位治具领域，尤其涉及一种金属掩膜版清洗保护装置。


背景技术：

2.在有机发光二极管(organic light-emitting diode，oled)制造技术中，蒸镀制程用的掩膜版是至关重要的部件，该掩膜版用于控制有机材料沉积在玻璃基板上的位置，从而在玻璃基板上形成不同形状的有机图案。
3.掩膜版一般包括掩膜版框及设在掩膜版框上的掩膜基板，在蒸镀制程中，需要定期清洗掩膜版，每次清洗掩膜版都会对掩膜版造成一定的损伤，影响掩膜版的精度，而掩膜版清洗一定次数(例如20次)之后可能就需要报废了，由此可见，掩膜版是蒸镀制程中的一种重要的耗材。由于掩膜版需要采用特殊的合金(invar36合金)材料制造，并且，掩膜基板还需要将其加工至微米级的厚度，业内的一个标准是要低于30微米，此外，还需要在这种微米级的掩膜基板上加工形成蒸镀孔，而根据显示设备的分辨率要求，蒸镀孔的尺寸精度要求非常高，导致加工难度极高，由此，掩膜版作为一种耗材，其价格非常的昂贵，堪比白银的价格，一片掩膜版的价格一般高达数十万至上百万，然而，在掩膜版在运输过程中，由于路途中颠簸、掩膜基板厚度极薄、掩膜版的总体重量大(由于掩膜版框是铸造成型的厚重结构)等各种因素，造成了掩膜版在清洗的过程中固定不方便固定，与此同时，由于总体重过大，其运输也十分不便。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的目的在于提出一种金属掩膜版清洗保护装置。
5.为实现上述目的，根据本实用新型实施例的金属掩膜版清洗保护装置，包括：
6.车体，所述车体的底部设置有多个万向轮，上方设置有固定框架；
7.定位固定组件，所述定位固定组件包括下定位组件及上固定组件，所述下定位组件包括设置于所述固定框架内且沿前后方向延伸的下轨道以及设置于所述下轨道内的多个下滚轮；所述上固定组件设置于所述固定框架内，且与所述下轨道上下相对设置，用于将所述掩膜版竖向固定于所述上固定组件及下定位组件之间。
8.根据本实用新型实施例的金属掩膜版清洗保护装置，便于金属掩膜版的定位固定，从而便于清洗及转运。
9.另外，根据本实用新型上述实施例的金属掩膜版清洗保护装置还可以具有如下附加的技术特征：
10.根据本实用新型的一个实施例中，所述固定框架包括：
11.上框体，所述上框体为方形结构，所述上固定组件设置于所述上框体的底部；
12.下框体，所述下框体为方形结构，所述下定位组件设置于所述下框体上，且与所述上固定组件上下相对；
13.连接杆，所述连接杆设置于所述上框体及下框体的四角位置，其上端与所述上框体相连，下端与所述下框体相连。
14.根据本实用新型的一个实施例中，所述上固定组件包括：
15.上轨道，所述上轨道沿前后方向延伸；
16.多个上滚轮，所述多个上滚轮间隔均匀的布设于所述上轨道内；
17.固定件，所述固定件设置于所述固定框架上，用于将所述掩膜版固定于所述上轨道及下轨道之间。
18.根据本实用新型的一个实施例中，所述上轨道及下轨道均包括：
19.底板；
20.两侧板，所述两侧板相对的设置于所述底板的两侧，且与所述底板相连，所述上滚轮及下滚轮设置于两侧板之间。
21.根据本实用新型的一个实施例中，还包括多个加强杆，所述多个加强杆设置于所述上框体及下框体之间，且与所述上框体及下框体相连。
22.根据本实用新型的一个实施例中，所述加强杆设为四个，四个所述加强杆分别设置于所述上框体及下框体的左侧和右侧。
23.根据本实用新型的一个实施例中，所述固定件设置于所述固定框架的前侧，且一端与左侧的连接杆转动连接，另一端与右侧的连接杆可拆卸连接。
24.根据本实用新型的一个实施例中，所述车体上开设有一凹槽，所述凹槽内设置有减震垫，所述固定框架的下框体安装于所述减震垫上。
25.根据本实用新型的一个实施例中，所述固定框架为由金属材料制成。
附图说明
26.图1是本实用新型实施例的立体结构示意图；
27.图2是本实用新型实施例的平面结构示意图。
28.附图标记：
29.车体10；
30.万向轮11；
31.凹槽12；
32.固定框架20；
33.上框体21；
34.下框体22；
35.连接杆23；
36.加强杆24；
37.上固定组件30；
38.上轨道31；
39.上滚轮32；
40.固定件33；
41.下定位组件40；
42.下轨道41；
43.底板411；
44.侧板412；
45.下滚轮42。
46.本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
47.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
48.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
49.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
50.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
51.参照图1至图2所示，本实用新型实施例提供了一种金属掩膜版清洗保护装置，包括车体10及定位固定组件；
52.具体的，车体10的底部设置有多个万向轮11，上方设置有固定框架20。
53.定位固定组件包括下定位组件40及上固定组件30，下定位组件40包括设置于固定框架20内且沿前后方向延伸的下轨道41以及设置于下轨道41内的多个下滚轮42；上固定组件30设置于所述固定框架20内，且与下轨道41上下相对设置，用于将掩膜版竖向固定于上固定组件30及下定位组件40之间。
54.也就是说，下定位组件40及上固定组件30用于对掩膜版进行定位固定，从而将掩膜版固定于固定框架20上，也即是固定于车体10上。那么，在使用时，将掩膜版竖直的插入至下定位组件40的下轨道41以及上固定组件30之间，由于在下轨道41内设置有多个下滚轮42，因此，掩膜版的底部与多个下滚轮42之间的摩擦力相对较小，进而，可以十分方便的将掩膜版推入下轨道41及上固定组件30之间，并利用上固定组件30进行固定，由此，即可使得上固定组件30保持在竖直的状态，并被固定在固定框架20内。那么，由于掩膜版被竖直的固定在固定框架20内，那么，也就便于后续对其进行清洗；与此同时，固定框架20固定在车体10上，因此，当需要转运掩膜版时，利用车体10进行运输即可，十分方便。
55.根据本实用新型实施例的金属掩膜版清洗保护装置，便于金属掩膜版的定位固定，从而便于清洗及转运。
56.有利的，在本实用新型的一个实施例中，固定框架20包括上框体21，下框体22及连接杆23；
57.上框体21为方形结构，上固定组件30设置于上框体21的底部；
58.下框体22为方形结构，下定位组件40设置于下框体22上，且与下定位组件40上下相对；
59.连接杆23设置于上框体21及下框体22的四角位置，其上端与上框体21相连，下端与下框体22相连。
60.作为优选地，固定框架20为由金属材料制成。
61.如此，利用金属材料制成的固定框架20，具有一定的强度，同时，利用上框体21和下框体22以及多个连接杆23形成的固定框架20其耗材较少，有利于节约成本；此外，固定框架20为开放式的结构，也就方便清洗装置对掩膜版的清洗。
62.有利的，在本实用新型的一个实施例中，上固定组件30包括上轨道31，多个上滚轮32及固定件33；
63.上轨道31沿前后方向延伸；
64.多个上滚轮32间隔均匀的布设于上轨道31内；
65.固定件33设置于固定框架20上，用于将掩膜版固定于上轨道31及下轨道41之间。
66.也即是说，上轨道31与下轨道41对称设置，同时，在上轨道31内设置多个上滚轮32，那么，再将掩膜版推入下定位组件40及上固定组件30之中时，掩膜版与上固定组件30之间的摩擦力也相对较小，进而，可以更加方便的将掩膜版推入至上固定组件30及下定位组件40之间，最后，利用固定件33对掩膜版进行固定，即可使得掩膜版竖直的固定于上固定组件30及下定位组件40之间。
67.有利的，在本实用新型的另一个实施例中，上轨道31及下轨道41均包括底板411及两侧板412；
68.两侧板412相对的设置于底板411的两侧，且与底板411相连，上滚轮32及下滚轮42设置于两侧板412之间。
69.也即是说，上轨道31及下轨道41由底板411及相对设置于底板411两侧的侧板412形成，如此，一方面，两侧板412可以对掩膜版的插入起到导向作用，并由相应的上滚轮32和下滚轮42进行引导进入，同时，掩膜版的上下两端也可以被限定在底板411及两侧板412所形成的空间内。
70.有利的，在本实用新型的另一个实施例中，还包括多个加强杆24，多个加强杆24设置于上框体21及下框体22之间，且与上框体21及下框体22相连。
71.作为优选地，四个加强杆24分别设置于上框体21及下框体22的左侧和右侧。
72.如此，通过通过设置加强杆24，可以提高固定架体的强度，进而提高其使用寿命。
73.有利的，在本实用新型的一些实施例中，固定件33设置于固定框架20前侧，且一端与左侧的连接杆23转动连接，另一端与右侧的连接杆23可拆卸连接。
74.如此，在将掩膜版插入至上固定组件30及下定位组件40之后，由固定框架20前侧的固定件33进行固定，从而防止掩膜版从固定框架20上滑出。具体的操作时，将固定件33的
另一端从连接杆23上拆卸下来，然后将掩膜版插入至上固定组件30及下定位组件40之间，插入完成后，再将固定件33的另一端固定在连接杆23上即可。
75.有利的，在本实用新型的另一些实施例中，车体10上开设有一凹槽12，固定框架20的下框体22安装于凹槽12内。
76.作为优选地，在安装槽内安装有减震垫，固定框架20安装于减震垫上，进而，可以起到较好的减震作用，避免掩膜版损坏。
77.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
78.尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

技术特征：
1.一种金属掩膜版清洗保护装置，用于固定保持掩膜版，其特征在于，包括：车体，所述车体的底部设置有多个万向轮，上方设置有固定框架；定位固定组件，所述定位固定组件包括下定位组件及上固定组件，所述下定位组件包括设置于所述固定框架内且沿前后方向延伸的下轨道以及设置于所述下轨道内的多个下滚轮；所述上固定组件设置于所述固定框架内，且与所述下轨道上下相对设置，用于将所述掩膜版竖向固定于所述上固定组件及下定位组件之间。2.根据权利要求1所述的金属掩膜版清洗保护装置，其特征在于，所述固定框架包括：上框体，所述上框体为方形结构，所述上固定组件设置于所述上框体的底部；下框体，所述下框体为方形结构，所述下定位组件设置于所述下框体上，且与所述上固定组件上下相对；连接杆，所述连接杆设置于所述上框体及下框体的四角位置，其上端与所述上框体相连，下端与所述下框体相连。3.根据权利要求2所述的金属掩膜版清洗保护装置，其特征在于，所述上固定组件包括：上轨道，所述上轨道沿前后方向延伸；多个上滚轮，所述多个上滚轮间隔均匀的布设于所述上轨道内；固定件，所述固定件设置于所述固定框架上，用于将所述掩膜版固定于所述上轨道及下轨道之间。4.根据权利要求3所述的金属掩膜版清洗保护装置，其特征在于，所述上轨道及下轨道均包括：底板；两侧板，所述两侧板相对的设置于所述底板的两侧，且与所述底板相连，所述上滚轮及下滚轮设置于两侧板之间。5.根据权利要求4所述的金属掩膜版清洗保护装置，其特征在于，还包括多个加强杆，所述多个加强杆设置于所述上框体及下框体之间，且与所述上框体及下框体相连。6.根据权利要求5所述的金属掩膜版清洗保护装置，其特征在于，所述加强杆设为四个，四个所述加强杆分别设置于所述上框体及下框体的左侧和右侧。7.根据权利要求3所述的金属掩膜版清洗保护装置，其特征在于，所述固定件设置于所述固定框架的前侧，且一端与左侧的连接杆转动连接，另一端与右侧的连接杆可拆卸连接。8.根据权利要求3所述的金属掩膜版清洗保护装置，其特征在于，所述车体上开设有一凹槽，所述凹槽内设置有减震垫，所述固定框架的下框体安装于所述减震垫上。9.根据权利要求3所述的金属掩膜版清洗保护装置，其特征在于，所述固定框架为由金属材料制成。

技术总结
本实用新型公开了一种金属掩膜版清洗保护装置，包括车体及定位固定组件；所述车体的底部设置有多个万向轮，上方设置有固定框架；定位固定组件，所述定位固定组件包括下定位组件及上固定组件，所述下定位组件包括设置于所述固定框架内且沿前后方向延伸的下轨道以及设置于所述下轨道内的多个下滚轮；所述上固定组件设置于所述固定框架内，且与所述下轨道上下相对设置，用于将所述掩膜版竖向固定于所述上固定组件及下定位组件之间。根据本实用新型实施例的金属掩膜版清洗保护装置，便于金属掩膜版的定位固定，从而便于清洗及转运。从而便于清洗及转运。从而便于清洗及转运。


技术研发人员：唐军
受保护的技术使用者：深圳浚漪科技有限公司
技术研发日：2021.11.30
技术公布日：2022/5/25