一种波长锁定的半导体激光器的制作方法

    专利查询2025-03-01  8


    本发明涉及半导体激光,具体涉及一种波长锁定的半导体激光器。


    背景技术:

    1、波长锁定的半导体激光器是一种能够将输出激光的波长稳定在特定值或窄波段范围内的半导体激光器,具有输出波长稳定、光谱线宽窄和泵浦效率高等优点,被广泛应用于光纤通信、激光光谱学和精密测量等领域。为了满足复杂多变的场景,要求半导体激光器在不同温度、不同电流下都能够实现超过30db的边模抑制比。

    2、波长锁定的半导体激光器包括半导体激光单元、准直镜和反射型布拉格光栅(volume bragg grating,vbg)透镜,半导体激光单元发出的激光经过准直镜准直后,经过vbg透镜进行外腔选模,使特定波长的激光反射注入到半导体激光单元的前腔面和后腔面构成的f-p谐振腔内,满足振荡和阈值条件的纵模形成振荡放大,其它纵模则被抑制,实现对半导体激光源输出波长的选择和锁定。

    3、由于半导体激光器在不同温度和电流下输出的激光的波长不同,为了避免波长锁定范围随温度或电流变化影响高边模抑制比,需要根据温度或电流灵活调整vbg透镜的衍射效率。但是,半导体激光器中vbg透镜的衍射效率是固定的,难以实现灵活调整。


    技术实现思路

    1、有鉴于此,本发明提供了一种波长锁定的半导体激光器,以解决半导体激光器在不同温度或电流下难以实现超过30db的边模抑制比的问题。

    2、本发明提供了一种波长锁定的半导体激光器,半导体激光器包括半导体激光单元、快轴准直镜、偏振分光镜、1/4波片和反射型布拉格光栅透镜,1/4波片光轴的角度可调;半导体激光单元用于发射第一偏振光,快轴准直镜用于对第一偏振光在快轴方向上的发散角进行准直,偏振分光镜用于对准直后的第一偏振光进行偏振分光,得到目标偏振方向的偏振光,1/4波片用于将目标偏振方向的偏振光转换为第二偏振光,反射型布拉格光栅透镜用于对第二偏振光进行选模,并将目标波长的第二偏振光反射至1/4波片,其中,目标偏振方向为水平偏振方向或垂直偏振方向,第二偏振光为水平偏振方向的偏振光和垂直偏振方向的偏振光的叠加态;1/4波片还用于调整目标波长的目标偏振方向的偏振光的比例,偏振分光镜还用于使目标波长的目标偏振方向的偏振光全透射或全反射,以使目标波长的目标偏振方向的偏振光经过快轴准直镜返回半导体激光单元。

    3、在一种可选的实施方式中,在目标偏振方向为水平偏振方向时,快轴准直镜、偏振分光镜、1/4波片和反射型布拉格光栅透镜沿半导体激光单元的光路依次设置。

    4、在一种可选的实施方式中,在目标偏振方向为垂直偏振方向时,快轴准直镜和偏振分光镜沿半导体激光单元的光路依次设置,1/4波片和反射型布拉格光栅透镜依次设置于偏振分光镜的反射光路上。

    5、在一种可选的实施方式中,目标波长的目标偏振方向的偏振光的比例大于5%。

    6、在一种可选的实施方式中,在目标偏振方向为水平偏振方向时,1/4波片光轴和水平偏振方向的夹角的取值范围为0°至37°,或1/4波片光轴和水平偏振方向的夹角的取值范围为53°至90°。

    7、在一种可选的实施方式中,在目标偏振方向为垂直偏振方向时,1/4波片光轴和目标偏振方向的夹角的取值范围为10°至80°。

    8、在一种可选的实施方式中,反射型布拉格光栅透镜的衍射效率大于或等于99.7%。

    9、在一种可选的实施方式中,偏振分光镜的通光面设置有增透膜,增透膜的透射率大于或等于99%。

    10、在一种可选的实施方式中,半导体激光器还包括慢轴准直镜,慢轴准直镜位于快轴准直镜和偏振分光镜之间。

    11、在一种可选的实施方式中,快轴准直镜和慢轴准直镜的通光面均设置有增透膜,增透膜的透射率大于或等于99%。

    12、本实施例提供的波长锁定的半导体激光器,在通过在快轴准直镜和反射型布拉格光栅透镜之间设置偏振分光镜和1/4波片,可以根据波长锁定要求,灵活调整注入半导体激光单元的锁波长功率,等效实现衍射效率可调,使半导体激光器在不同温度或电流下都能够实现超过30db的边模抑制比。而且,本实施例可以根据锁定边模抑制比要求,无额外激光功率损耗,任意调整注入芯片锁波长模式能量,达到波长锁定要求。



    技术特征:

    1.一种波长锁定的半导体激光器,其特征在于,所述半导体激光器包括半导体激光单元、快轴准直镜、偏振分光镜、1/4波片和反射型布拉格光栅透镜,所述1/4波片光轴的角度可调;

    2.根据权利要求1所述的波长锁定的半导体激光器,其特征在于,在所述目标偏振方向为水平偏振方向时,所述快轴准直镜、所述偏振分光镜、所述1/4波片和所述反射型布拉格光栅透镜沿所述半导体激光单元的光路依次设置。

    3.根据权利要求1所述的波长锁定的半导体激光器,其特征在于,在所述目标偏振方向为垂直偏振方向时,所述快轴准直镜和所述偏振分光镜沿所述半导体激光单元的光路依次设置,所述1/4波片和所述反射型布拉格光栅透镜依次设置于所述偏振分光镜的反射光路上。

    4.根据权利要求1所述的波长锁定的半导体激光器,其特征在于,所述目标波长的所述目标偏振方向的偏振光的比例大于5%。

    5.根据权利要求4所述的波长锁定的半导体激光器,其特征在于,在所述目标偏振方向为水平偏振方向时,所述1/4波片光轴和所述目标偏振方向的夹角的取值范围为0°至37°,或所述1/4波片光轴和所述目标偏振方向的夹角的取值范围为53°至90°。

    6.根据权利要求4所述的波长锁定的半导体激光器,其特征在于,在所述目标偏振方向为垂直偏振方向时,所述1/4波片光轴和所述目标偏振方向的夹角的取值范围为10°至80°。

    7.根据权利要求1至6中任一项所述的波长锁定的半导体激光器,其特征在于,所述反射型布拉格光栅透镜的衍射效率大于或等于99.7%。

    8.根据权利要求1至6中任一项所述的波长锁定的半导体激光器,其特征在于,所述偏振分光镜的通光面设置有增透膜,所述增透膜的透射率大于或等于99%。

    9.根据权利要求1至6中任一项所述的波长锁定的半导体激光器,其特征在于,所述半导体激光器还包括慢轴准直镜,所述慢轴准直镜位于所述快轴准直镜和偏振分光镜之间。

    10.根据权利要求9所述的波长锁定的半导体激光器,其特征在于,所述快轴准直镜和所述慢轴准直镜的通光面均设置有增透膜,所述增透膜的透射率大于或等于99%。


    技术总结
    本发明涉及半导体激光技术领域,公开了一种波长锁定的半导体激光器,半导体激光器包括半导体激光单元、快轴准直镜、偏振分光镜、1/4波片和反射型布拉格光栅透镜;偏振分光镜用于对准直后的第一偏振光进行偏振分光,得到目标偏振方向的偏振光,1/4波片用于将目标偏振方向的偏振光转换为第二偏振光,反射型布拉格光栅透镜用于对第二偏振光进行选模,并将目标波长的第二偏振光反射至1/4波片;1/4波片还用于调整目标波长的目标偏振方向的偏振光的比例,偏振分光镜还用于使目标波长的目标偏振方向的偏振光全透射或全反射,以使目标波长的目标偏振方向的偏振光返回半导体激光单元,本发明能够等效实现衍射效率可调。

    技术研发人员:裘利平,俞浩,刘晓雷,谭少阳,王俊
    受保护的技术使用者:苏州长光华芯光电技术股份有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/11/26
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