本发明涉及划片机,具体为一种用于电池片无损激光划片机的定位机构。
背景技术:
1、划片机包括砂轮划片机和激光划片机。砂轮划片机是综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。主要用于硅集成电路,发光二极管,铌酸锂,压电陶瓷,砷化镓,蓝宝石,氧化铝,氧化铁,石英,玻璃,陶瓷,太阳能电池片等材料的划切加工。其中砂轮划片机国内也称为精密砂轮切割机。激光划片机是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件不易变形。热影响极小,划精度高,广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。
2、现有的激光划片机在进行操作时,首先将晶圆平躺防止在工作台上,然后利用定位装置对晶圆进行定位,以确定激光设备的加工位置,如专利公开号为:cn 214978588 u,公开了一种用于电池片激光划片机的定位机构,放置槽的下侧壁内设有空腔,空腔内部的左右两侧设有连接板,连接板的前后两侧固定有滑架,滑架滑动设置在空腔上侧壁上的滑槽内,滑架的竖边定在夹板下表面的前后两侧,空腔的前侧壁内嵌设有电动推杆,电动推杆与蓄电池连接,电动推杆的活塞杆上固定有推动板,推动板的一侧壁上固定有驱动管,驱动管的内部插设有导向杆,导向杆的后端固定在空腔后侧的内壁上,驱动管外环壁的左右两侧均通过铰接座旋接有连杆,连杆的另一端分别通过铰接座与连接板的一侧壁连接,在放料时,可对电池片的两侧进行定位,进而可达到切片时定位精度的稳定性。
3、专利公开号为:cn 116423083 a,公开了一种无损激光划片机视觉检测定位装置,包括机架、设置在机架上的传动部分和检测定位部分,传动部分包括伺服电机、与伺服电机输出轴连接的同步轮、与同步轮传动连接的同步带、与同步带驱动连接的侧顶座,还包括导轨机构,同步带通过导轨机构驱动侧顶座运动,侧顶座包括相对应设置的前侧顶座和后侧顶座,还包括惰性同步轮,惰性同步轮和同步轮共同支撑同步带以保证同步带的传动功能;能对待加工电池片进行精确定位并能在加工过程中进行实时检测和定位调整。
4、上述定位装置通常利用光学相机或者ct来对晶圆进行定位,但是这种方式仍然需要将晶圆放置在合适位置,以减少定位时的位置偏移;而且夹持过程中,晶圆很难保证稳定性,因此有必要提供一种能够对晶圆进行初步定位,以减少晶圆定位偏差的划片机。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种用于电池片无损激光划片机的定位机构,以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
3、一种用于电池片无损激光划片机的定位机构,包括激光划片机的工作台,还包括:
4、同轴固接于所述工作台顶部的凸台,所述凸台内部开设有连通腔,所述凸台的顶面开设有多个与所述连通腔相贯通的吸附孔;
5、连接于所述工作台上的滑动座,所述滑动座在所述工作台上沿所述工作台的径向自由滑动,所述滑动座上表面固接有夹持块;
6、设于所述工作台上的负压吸附机构;
7、设于所述工作台上的平移驱动机构,所述平移驱动机构用于驱动多个所述滑动座运动。
8、进一步地,所述工作台端面开设有供所述滑动座卡合的卡槽,所述滑动座在所述卡槽内自由滑动,所述卡槽内壁固接有导向柱,所述滑动座上开设有供所述导向柱自由通过的滑动孔。
9、进一步地,所述夹持块表面设有橡胶层。
10、进一步地,所述负压吸附机构包括固接于所述工作台下表面的固定座,所述固定座内部空心且卡合有活塞,所述活塞在所述固定座内竖直自由滑动,所述工作台开设有与所述固定座内腔、所述连通腔相连通的连通口,所述固定座底部竖直安装有气缸,所述气缸的气缸杆穿入所述固定座内且连接有连接柱,所述连接柱上端固接于所述活塞下端面。
11、进一步地,所述平移驱动机构包括套接于所述连接柱上的浮动环,所述浮动环在所述连接柱上自由滑动,所述连接柱上设有用于驱动所述浮动环朝远离所述活塞方向远离的弹性抵顶单元,所述浮动环周缘固接有连接臂,所述连接臂穿出所述固定座的一端固接有连接环,所述固定座开设有供所述连接臂自由通过的避空槽,所述连接环周缘固接有固定臂,所述固定臂远离所述连接环的一端固接有浮动块,所述滑动座底部固接有固定杆,所述固定杆下端固接有滑动销,所述浮动块开设有供所述滑动销插合的腰形孔,所述腰形孔的长度方向与所述固定杆的轴向呈夹角。
12、进一步地,所述弹性抵顶单元包括套绕于所述连接柱上的弹簧,所述弹簧弹力方向的两端一一对应地弹性抵顶所述活塞下端面、所述浮动环上端面,所述连接柱下端设有制成外翻的凸缘,所述凸缘用于对所述浮动环朝下运动进行限位。进一步地,所述凸台上表面嵌设有环形胶垫。
13、进一步地,所述环形胶垫内部开设有环形腔,所述环形胶垫上表面开设有多个所述环形腔贯通的出油孔,所述工作台下表面固接有储油筒,所述环形胶垫下端面固接有穿入所述储油筒内的连接管,所述储油筒内设有出油单元。
14、进一步地,所述出油单元包括同轴卡合于所述储油筒内的滑动塞,所述滑动塞在所述储油筒内上下自由滑动,所述储油筒内竖直安装有拉簧,所述拉簧两端分别焊接在所述滑动塞上端面以及所述储油筒内顶壁,所述滑动塞由磁吸结构驱动其朝下移动。通过拉簧对滑动塞产生拉力,使得滑动塞将储油筒内的润滑油喷向环形胶垫表面,进而能够填充环形胶垫上表面和晶圆底面之间的间隙,使得能够对晶圆产生较大的负压吸附力。
15、进一步地,所述磁吸结构包括嵌设于所述滑动塞上的磁吸块,所述连接环周缘固接有耳块,所述耳块上设有与所述磁吸块配合使用的永磁铁。
16、与现有技术相比,本发明的有益效果是:
17、本发明通过负压吸附机构对晶圆进行负压吸附,再通过平移驱动机构对晶圆的边缘进行夹持,使得晶圆能够自动定心,进而将晶圆定位在凸台上,减少光学相机或ct对晶圆加工位置进行定位过程中所耗费时间,同时减少了晶圆定位偏差,提高晶圆的加工效率;
18、本发明通过气缸驱动活塞朝下移动,使得活塞将连通腔内的空气抽出,进而使得连通腔内的气压降低,进而能够对晶圆进行负压吸附,另外活塞在朝下移动时,带动连接环朝下运动,使得滑动座朝凸台的方向运动,进而使得夹持块夹住晶圆,夹持过程中,夹持块对晶圆产生推力,推力大于晶圆所受的负压吸附力,进而使得晶圆能够自动定心;
19、本发明通过拉簧对滑动塞产生拉力,使得滑动塞将储油筒内的润滑油喷向环形胶垫表面,进而能够填充环形胶垫上表面和晶圆底面之间的间隙,使得能够对晶圆产生较大的负压吸附力。
1.一种用于电池片无损激光划片机的定位机构,包括激光划片机的工作台(1),其特征在于,还包括:
2.根据权利要求1所述的用于电池片无损激光划片机的定位机构,其特征在于,所述工作台(1)端面开设有供所述滑动座(3)卡合的卡槽(29),所述滑动座(3)在所述卡槽(29)内自由滑动,所述卡槽(29)内壁固接有导向柱(25),所述滑动座(3)上开设有供所述导向柱(25)自由通过的滑动孔。
3.根据权利要求1所述的用于电池片无损激光划片机的定位机构,其特征在于,所述夹持块(7)表面设有橡胶层。
4.根据权利要求1所述的用于电池片无损激光划片机的定位机构,其特征在于,所述负压吸附机构包括固接于所述工作台(1)下表面的固定座(5),所述固定座(5)内部空心且卡合有活塞(12),所述活塞(12)在所述固定座(5)内竖直自由滑动,所述工作台(1)开设有与所述固定座(5)内腔、所述连通腔(10)相连通的连通口,所述固定座(5)底部竖直安装有气缸(4),所述气缸(4)的气缸杆穿入所述固定座(5)内且连接有连接柱(14),所述连接柱(14)上端固接于所述活塞(12)下端面。
5.根据权利要求4所述的用于电池片无损激光划片机的定位机构,其特征在于,所述平移驱动机构包括套接于所述连接柱(14)上的浮动环(15),所述浮动环(15)在所述连接柱(14)上自由滑动,所述连接柱(14)上设有用于驱动所述浮动环(15)朝远离所述活塞(12)方向远离的弹性抵顶单元,所述浮动环(15)周缘固接有连接臂(16),所述连接臂(16)穿出所述固定座(5)的一端固接有连接环(17),所述固定座(5)开设有供所述连接臂(16)自由通过的避空槽(27),所述连接环(17)周缘固接有固定臂(21),所述固定臂(21)远离所述连接环(17)的一端固接有浮动块(6),所述滑动座(3)底部固接有固定杆(24),所述固定杆(24)下端固接有滑动销,所述浮动块(6)开设有供所述滑动销插合的腰形孔(28),所述腰形孔(28)的长度方向与所述固定杆(24)的轴向呈夹角。
6.根据权利要求5所述的用于电池片无损激光划片机的定位机构,其特征在于,所述弹性抵顶单元包括套绕于所述连接柱(14)上的弹簧(13),所述弹簧(13)弹力方向的两端一一对应地弹性抵顶所述活塞(12)下端面、所述浮动环(15)上端面,所述连接柱(14)下端设有制成外翻的凸缘,所述凸缘用于对所述浮动环(15)朝下运动进行限位。
7.根据权利要求5所述的用于电池片无损激光划片机的定位机构,其特征在于,所述凸台(2)上表面嵌设有环形胶垫(8)。
8.根据权利要求7所述的用于电池片无损激光划片机的定位机构,其特征在于,所述环形胶垫(8)内部开设有环形腔(26),所述环形胶垫(8)上表面开设有多个所述环形腔(26)贯通的出油孔(30),所述工作台(1)下表面固接有储油筒(22),所述环形胶垫(8)下端面固接有穿入所述储油筒(22)内的连接管(11),所述储油筒(22)内设有出油单元。
9.根据权利要求8所述的用于电池片无损激光划片机的定位机构,其特征在于,所述出油单元包括同轴卡合于所述储油筒(22)内的滑动塞(18),所述滑动塞(18)在所述储油筒(22)内上下自由滑动,所述储油筒(22)内竖直安装有拉簧(23),所述拉簧(23)两端分别焊接在所述滑动塞(18)上端面以及所述储油筒(22)内顶壁,所述滑动塞(18)由磁吸结构驱动其朝下移动。
10.根据权利要求9所述的用于电池片无损激光划片机的定位机构,其特征在于,所述磁吸结构包括嵌设于所述滑动塞(18)上的磁吸块(20),所述连接环(17)周缘固接有耳块,所述耳块上设有与所述磁吸块(20)配合使用的永磁铁(19)。
