液体折射率测量装置的制作方法

    专利查询2025-04-06  16


    本发明涉及折射率测量领域,尤其涉及液体折射率测量装置。


    背景技术:

    1、液体折射率的测量是物理学和化学学科中重要的实验内容之一。折射率是衡量光线在穿过透明媒介的时候偏转程度的物理量,因此折射率的大小影响光的反射和透射的大小,从而影响光的传输性能,液体折射率的测量在光通信、光探测、光学成像等领域有广泛的应用。比如在光通信领域中,在进行激光器与硅光芯片的光场耦合时,需要采用合适的折射率匹配液,来降低光的反射和损耗,使得光信号能最大程度地耦合进入硅光芯片。

    2、液体折射率的测量方法主要包括折射法、反射法等,折射法是将光线从空气穿入液体中,通过测量光线在空气和液体的偏转程度来计算液体折射率的方法。目前在对液体的折射率进行测量时,通常将液体输入容器中,激光器发出的激光通过需要测量折射率的液体,通过观察光折射的情况,进而测量光通过液体的折射率,为了保证测量的精度,需要较多的液体进而延长光线在液体中的长度,但是这需要较大的容器和较多的液体,不便于进行携带。


    技术实现思路

    1、本发明的目的在于通过检测部分的光场为扩散光场,光场不被限制在核心波导内,传输损耗随环境折射率变化,当在检测部分置入不同折射率的液体,输出部分的光谱会表现出不同的形状,通过峰谷和光谱的对应关系,确定液体折射率的一种液体折射率测量装置。

    2、本申请提出一种液体折射率测量装置,包括:光输入单元,用于可调光波输入;第一检测单元,与光输入单元连接,用于放置待检测不同折射率的液体,所述第一检测单元能够产生扩散光场,通过不同折射率的所述液体改变输入光波的损耗程度;光输出单元,用于将检测流程之后的光波输出为光谱,通过放置待检测不同折射率的液体对光波损耗程度产生的光谱判断所述液体的折射率。

    3、作为进一步具体的实施例,所述第一检测单元包括第一氮化硅波导层,所述光输入单元在与第一氮化硅波导层连接位置的宽度大于第一氮化硅波导层的宽度,使光波不被束缚在第一氮化硅波导层,在所述第一检测单元能够产生扩散光场。

    4、作为进一步具体的实施例,所述第一检测单元的第一氮化硅波导层为渐变波导,用于使光场逐渐从扩散状态恢复到在第一氮化硅波导层内束缚状态。

    5、作为进一步具体的实施例,所述渐变波导长度范围为在100um-1000um。

    6、作为进一步具体的实施例,光传输单元,与第一检测单元连接,用于传输通过第一检测单元的光波。

    7、作为进一步具体的实施例,还包括与第一检测单元结构相同的第二检测单元,所述第一检测单元和第二检测单元分别对称设于光传输单元的两端,分别与光输入单元和光输出单元相连接。

    8、作为进一步具体的实施例,所述第一检测单元设于光传输单元的一端,所述第一检测单元的一端通过光传输单元与光输出单元相连接。

    9、作为进一步具体的实施例,所述光输入单元和光输出单元均为光纤。

    10、作为进一步具体的实施例,所述第一检测单元和光传输单元均由硅基芯片组成。

    11、作为进一步具体的实施例,所述第一检测单元从下往上依次为硅衬底、二氧化硅下包层、第一氮化硅波导层、二氧化硅上包层。

    12、作为进一步具体的实施例,所述光传输单元从下往上依次为硅衬底、二氧化硅下包层、第二氮化硅波导层、二氧化硅上包层。

    13、作为进一步具体的实施例,所述二氧化硅上包层上侧还设有氮化硅顶部层。

    14、作为进一步具体的实施例,所述光输出单元与光功率计相连接。

    15、作为进一步具体的实施例,所述光输入单元与激光器相连接。

    16、作为进一步具体的实施例,所述渐变波导的长度范围为100um-1000um。

    17、作为进一步具体的实施例,所述第一氮化硅波导层的厚度范围为250nm-400nm,宽度范围小于400nm。

    18、作为进一步具体的实施例,所述第二氮化硅波导层的厚度范围为250nm-400nm,宽度范围700nm-2000nm。

    19、本发明的有益效果在于:

    20、通过扩散光场不被限制在核心波导内,而传输到不同折射率的液体内,导致不同折射率液体在检测时对扩散光场传输损耗的不同,通过不同折射率所产生的光谱不同,进而判断不同放置液体的折射率;

    21、在进行检测液体折射率时,仅需要将需要检测的液体滴在检测单元上,不需要准备大容器和较多的液体就能够对液体的折射率进行检测,进而便于携带,使用方便。



    技术特征:

    1.一种液体折射率测量装置,其特征在于,包括:

    2.根据权利要求1所述的液体折射率测量装置,其特征在于,所述第一检测单元(2)包括第一氮化硅波导层(8),所述光输入单元(1)在与第一氮化硅波导层(8)连接位置的宽度大于第一氮化硅波导层(8)的宽度,使光波不被束缚在第一氮化硅波导层(8),在所述第一检测单元(2)能够产生扩散光场。

    3.根据权利要求2所述的液体折射率测量装置,其特征在于,所述第一检测单元(2)的第一氮化硅波导层(8)为渐变波导,用于使光场逐渐从扩散状态恢复到在第一氮化硅波导层(8)内束缚状态。

    4.根据权利要求3所述的液体折射率测量装置,其特征在于,所述渐变波导的长度范围为在100um-1000um。

    5.根据权利要求1所述的液体折射率测量装置,其特征在于,还包括光传输单元(3),与第一检测单元(2)连接,用于传输通过第一检测单元(2)的光波。

    6.根据权利要求5所述的液体折射率测量装置,其特征在于,所述第一检测单元(2)设于光传输单元(3)的一端,所述第一检测单元(2)的一端通过光传输单元(3)与光输出单元(5)相连接。

    7.根据权利要求5所述的液体折射率测量装置,其特征在于,还包括与第一检测单元(2)结构相同的第二检测单元(4),所述第一检测单元(2)和第二检测单元(4)分别对称设于光传输单元(3)的两端,分别与光输入单元(1)和光输出单元(5)相连接,所述第一检测单元(2)和第二检测单元(4)通过光传输单元(3)连接。

    8.根据权利要求1所述的液体折射率测量装置,其特征在于,所述光输入单元(1)和光输出单元(5)均为光纤。

    9.根据权利要求5所述的液体折射率测量装置,其特征在于,所述第一检测单元(2)和光传输单元(3)均由硅基芯片组成。

    10.根据权利要求1所述的液体折射率测量装置,其特征在于,所述第一检测单元(2)从下往上依次为硅衬底(6)、二氧化硅下包层(7)、第一氮化硅波导层(8)、二氧化硅上包层(9)。

    11.根据权利要求5所述的液体折射率测量装置,其特征在于,所述光传输单元(3)从下往上依次为硅衬底(6)、二氧化硅下包层(7)、第二氮化硅波导层(11)、二氧化硅上包层(9)。

    12.根据权利要求10或11所述的液体折射率测量装置,其特征在于,所述二氧化硅上包层(9)上侧还设有氮化硅顶部层(10)。

    13.根据权利要求1所述的液体折射率测量装置,其特征在于,所述光输出单元(5)与光功率计相连接。

    14.根据权利要求1所述的液体折射率测量装置,其特征在于,所述光输入单元(1)与激光器相连接。

    15.根据权利要求2所述的液体折射率测量装置,其特征在于,所述第一氮化硅波导层(8)的厚度范围为250nm-400nm,宽度范围小于400nm。

    16.根据权利要求11所述的液体折射率测量装置,其特征在于,所述第二氮化硅波导层(11)的厚度范围为250nm-400nm,宽度范围700nm-2000nm。


    技术总结
    本发明提供了一种液体折射率测量装置,涉及折射率测量领域,包括:光输入单元,用于可调光波输入;第一检测单元,与光输入单元连接,用于放置待检测不同折射率的液体,所述第一检测单元能够产生扩散光场,通过不同折射率的所述液体改变输入光波的损耗程度;光输出单元,用于将检测流程之后的光波输出为光谱,通过放置待检测不同折射率的液体对光波损耗程度产生的光谱判断所述液体的折射率。本发明的有益效果在于:通过扩散光场不被限制在核心波导内,而传输到不同折射率的液体内,导致不同折射率液体在检测时对扩散光场传输损耗的不同,通过不同折射率所产生的光谱不同,进而判断不同放置液体的折射率。

    技术研发人员:陈宇轩,周广柱,张轲,余云初
    受保护的技术使用者:上海赛丽微电子有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/11/26
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