本发明涉及化学气相沉淀，更具体地说，它涉及一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置。
背景技术：
1、碳化硅，是一种无机物，化学式为sic，是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成；化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。
2、通过将半导体领域碳化硅晶体材料与化学气相沉淀技术的结合，不但可以对晶体或者晶体薄膜性能的改善有所帮助，而且也可以生产出很多别的手段无法制备出的一些晶体。
3、在中温或高温下，通过气态的初始化合物之间的气相化学反应而形成固体物质沉积在基体上，现有技术中，通过各组供气管将所需要的反应气体通入沉淀箱中混合与置于沉淀箱中加热后的碳化硅晶体发生化学反应生成薄膜，然而，在进行碳化硅化学气相沉淀的过程中，易造成化学气相沉淀反应区域内多种反应气体之间的混合不均匀，造成了在化学气相沉淀反应区域内单种反应气体在不同位置处的浓度差异较大，降低了碳化硅晶板端面位置化学气相沉淀反应的同步性以及不同区域位置处反应沉淀物厚度的不均匀程度。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，各组供气管中持续通气，配合活塞出气组件将各组反应气体抽进对应的集气球壳中，流动的气流带动拨动叶片转动，对进入集气球壳中的多组反应气体做预混和处理，多组活塞出气组件均匀设置在沉淀箱中，可将反应气体输送至沉淀箱中的多处区域，提升反应气体在沉淀箱中各区域的分散均匀程度，同时提升多种反应气体之间混合均匀程度。
2、为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：
3、一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，包括沉淀箱以及盖设在所述沉淀箱上的密封盖；所述沉淀箱周侧面均匀固定有若干耳板；各所述耳板之间固定有半环形管；所述半环形管中对称固定有l形导向管；两所述l形导向管之间穿设有与半环形管相适配的供气管组件；所述供气管组件包括外软管；所述外软管内部呈圆周阵列分布设置有若干供气管，且其内部呈线性阵列分布设置有若干集气球壳；所述集气球壳与各供气管之间连通设置有连接管；所述连接管上设置有第一单向阀；各所述集气球壳均贯穿外软管连通设置有耳管；所述耳管端部连通设置有密封环；所述沉淀箱周侧面均匀贯穿设置有与密封环插接配合的安装管；所述安装管端部连通设置有活塞出气组件；所述沉淀箱内部转动设置有与各活塞出气组件相适配的导向组件。
4、本发明进一步设置为：所述密封盖以及沉淀箱外周侧面均固定有连接法兰；所述密封盖以及沉淀箱上的连接法兰通过紧固螺栓固定连接；所述沉淀箱内底面固定有用于承载碳化硅晶体的承载台，且其内部安装有螺旋电加热丝；所述密封盖内顶部安装有温度传感器以及气压传感器，且其顶部安装有控制器；所述控制器输入端分别与温度传感器以及气压传感器通过电性连接，且其输出端与螺旋电加热丝通过电性连接。
5、本发明进一步设置为：所述沉淀箱内壁对称固定有支撑板；两所述支撑板之间固定有与沉淀箱同轴心设置有支撑环；所述支撑环内周侧面开设有环形槽；所述导向组件包括转环；所述转环外周侧面固定有与环形槽转动配合的环形轨；所述转环底部固定有固定环；所述固定环表面均匀固定有若干竖板；所述竖板侧面对称开设有滑槽，且其侧面位于两所述滑槽之间开设有插孔。
6、本发明进一步设置为：所述密封盖顶部固定有隔离罩，且其顶部贯穿转动设置有环形板；所述环形板底部均匀固定有若干与对应滑槽滑动配合的滑板；相邻两所述滑板之间固定有固定板；所述固定板侧面贯穿固定有第一活塞筒；所述第一活塞筒内部滑动设置有第一活塞杆；所述第一活塞杆一端固定有与第一活塞筒滑动配合的第一活塞，且其另一端固定有与插孔插接配合的插接球；所述第一活塞与第一活塞筒之间固定有复位弹簧。
7、本发明进一步设置为：所述第一活塞筒端部贯穿连通设置有导绳管；所述密封盖内顶部贯穿螺纹转动设置有螺杆；所述螺杆顶端固定有把手，且其底端固定有球座；所述球座中球铰接设置有球头；所述第一活塞与球头之间连接有穿过对应导绳管的连接绳。
8、本发明进一步设置为：所述环形板顶部固定有设置在隔离罩内部的内磁体；所述密封盖顶部固定有安装架；所述安装架内顶部安装有与控制器输出端通过电性连接的驱动电机；所述驱动电机输出端固定有安装板；所述安装板底面固定安装有设置在隔离罩外部的外磁体。
9、本发明进一步设置为：所述固定环周侧面均匀固定有若干曲面导向板；所述曲面导向板底面固定有连接杆；所述连接杆周侧面均匀固定有若干第一搅拌板；所述活塞出气组件包括与安装管通过紧固螺栓固定连接的第二活塞筒；所述第二活塞筒周侧面连通设置有排气管；所述第二活塞筒内部滑动设置有第二活塞；所述第二活塞侧面固定有第二活塞杆；所述第二活塞杆端部固定有与曲面导向板相适配的导向球；所述第二活塞与第二活塞筒之间连接有套设在第二活塞杆上的连接弹簧。
10、本发明进一步设置为：所述排气管端部固定有支板；所述支板侧面固定有导向柱；所述导向柱上滑动设置有挡板；所述挡板与支板之间固定有套设在支板上的支撑弹簧；所述排气管上设置有第二单向阀；所述排气管内周侧面开设有螺旋槽；所述挡板周侧面转动设置有环形套；所述环形套周侧面固定有转杆，且其周侧面固定有延伸板；所述延伸板侧面均匀固定有若干第二搅拌板；所述转杆端部固定有与螺旋槽滑动配合的连接球。
11、本发明进一步设置为：所述耳管上设置有第三单向阀；所述外软管与各供气管之间填充设置有填充层；所述集气球壳内壁均匀转动设置有转轴；所述转轴上固定有拨动叶片；所述沉淀箱周侧面依次连通设置有冷气进管以及出气管；所述沉淀箱周侧面连通设置有抽气管；所述抽气管周侧面连通设置有连通管；所述连通管上设置有与控制器输出端通过电性连接的控制阀。
12、本发明的优点是：
13、本发明各组供气管中持续通气，配合活塞出气组件将各组反应气体抽进对应的集气球壳中，流动的气流带动拨动叶片转动，对进入集气球壳中的多组反应气体做预混和处理，多组活塞出气组件均匀设置在沉淀箱中，可将反应气体输送至沉淀箱中的多处区域，提升反应气体在沉淀箱中各区域的分散均匀程度，同时提升多种反应气体之间混合均匀程度。
14、本发明通过控制导向组件转动带动各组活塞出气组件中的第二活塞在第二活塞筒中往复滑动，将对应集气球壳中预混后的混合气体周期性定量抽进第二活塞筒中，通过排气管排出的过程中，气流推动挡板沿着导向柱滑动，从而带动连接球在螺旋槽中滑动，进而带动环形套转动，使得各组第二搅拌板对排出的混合气体进行搅拌，进一步地提高了混合气体的混合程度。
1.一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，包括沉淀箱（1）以及盖设在所述沉淀箱（1）上的密封盖（2）；其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，其特征在于：
8.根据权利要求7所述的一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，其特征在于：
9.根据权利要求8所述的一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，其特征在于：
