一种划片刀电镀液组合物及其制备方法与流程

    专利查询2025-05-19  4


    本发明涉及划片刀的制备,公开了一种划片刀电镀液组合物及其制备方法。


    背景技术:

    1、在半导体封装制造过程中,有一道工序称为划片,是用以金刚石为磨料、电镀镍为粘合剂的划片刀对芯片单元进行切割分离,这是一种高精度加工,对芯片质量及成本有重要影响。

    2、随着芯片尺寸的微型化和集成化发展,芯片厚度在向两个极端发展,一类是变薄,另一类是变厚。薄的芯片要求在划片过程中受到的冲击力要小,进刀速度较快,有的速度高达180mm/s,这就要求划片刀刀刃要有足够的强度,否则很容易出现蛇形切割;而厚的芯片在划片过程中最容易出现的问题是斜切,这主要是由于刀刃强度不够和刀刃由于内应力产生变形造成的。

    3、在芯片划片过程中为了消除静电,会向切割冷却水中加入二氧化碳气体,以使冷却水呈弱酸性,这就会对划片刀的粘合剂产生腐蚀,从而造成划片刀刀刃破裂,影响划片过程的正常进行。


    技术实现思路

    1、鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种划片刀电镀液组合物及其制备方法,针对上述情况,为解决现有技术之缺陷,本发明之目的就是提供一种划片刀电镀液组合物及其制备方法,提高划片刀的强度、降低划片刀的内应力、提高划片刀的耐腐蚀。

    2、为了解决上述技术问题,本发明首先提供了一种划片刀电镀液组合物,所述电镀液组合物的配方包括以下组分:45~90g/l氨基磺酸镍,5~15g/l氯化镍,30~45g/l硼酸,10~15g/l苯二磺酸,10~15g/l2-巯基苯并咪唑,5~10g/l二苯磺酰基丙胺,0.1~0.5g/l苯亚磺酸钠,4~8ml/l十二烷基磺酸钠。

    3、本发明首先还提供了一种划片刀电镀液组合物的制备方法,所述方法包括将以下组分混合:45~90g/l氨基磺酸镍,5~15g/l氯化镍,30~45g/l硼酸,10~15g/l苯二磺酸,10~15g/l2-巯基苯并咪唑,5~10g/l二苯磺酰基丙胺,0.1~0.5g/l苯亚磺酸钠,4~8ml/l十二烷基磺酸钠。

    4、本发明还提供了一种划片刀的制备方法,所述方法包括以下步骤:

    5、提供一基体;

    6、于所述基体上电镀金刚石得到划片刀粗品;

    7、对所述划片刀粗品进行修整、抛光、开刃得到所述划片刀;

    8、其中,所述电镀用的电镀液组合物包括以下组分:45~90g/l氨基磺酸镍,5~15g/l氯化镍,30~45g/l硼酸,10~15g/l苯二磺酸,10~15g/l 2-巯基苯并咪唑,5~10g/l二苯磺酰基丙胺,0.1~0.5g/l苯亚磺酸钠,4~8ml/l十二烷基磺酸钠。

    9、较为优化地,所述基体在5%的氢氧化钠中碱洗2分钟、5%的硝酸中酸洗40秒、dsn-4沉锌剂中沉锌1分钟。

    10、较为优化地,所述基体为铝基体。

    11、较为优化地,所述基体在电镀之前经过碱洗、酸洗以及沉锌的步骤。

    12、较为优化地,所述电镀参数包括:ph为3.5~4.5,温度为40℃~45℃,电流密度为1.6~3.5asd。

    13、较为优化地,所述电镀金刚石包括在电镀槽中加入人造金刚石微粉搅拌,所述搅拌方式为阴极移动。

    14、较为优化地,所述划片刀粗品修整包括对所述基体进行线切割、斜车以及蚀刻。

    15、较为优化地,进行所述蚀刻时,采用氢氧化钠蚀刻液。

    16、较为优化地,所述抛光包括使用抛光液,所述抛光液为50%磷酸和50%硫酸的混合液。

    17、与现有技术相比,本发明所达到的有益效果是:

    18、1.划片刀的电镀液配方选用含硫带苯环的初级、次级光亮剂即苯二磺酸、2-巯基苯并咪唑,以及硬化剂二苯磺酰基丙胺获得了维氏硬度高达650~700的电沉积镍结合剂。

    19、2.加入了一种调节镀层内应力的添加剂苯亚磺酸钠,使得电沉积镍的内应力接近于0。

    20、3.对电镀液配方及电镀参数进行了配方设计,大大减少了镀层的空隙率,提高了耐腐蚀性能,使划片刀在整个使用生命周期中的腐蚀非常轻微,质量稳定。



    技术特征:

    1.一种划片刀电镀液组合物,其特征在于,所述电镀液组合物的配方包括以下组分:45~90g/l氨基磺酸镍,5~15g/l氯化镍,30~45g/l硼酸,10~15g/l苯二磺酸,10~15g/l2-巯基苯并咪唑,5~10g/l二苯磺酰基丙胺,0.1~0.5g/l苯亚磺酸钠,4~8ml/l十二烷基磺酸钠。

    2.一种划片刀电镀液组合物的制备方法,其特征在于,所述方法包括将以下组分混合:45~90g/l氨基磺酸镍,5~15g/l氯化镍,30~45g/l硼酸,10~15g/l苯二磺酸,10~15g/l2-巯基苯并咪唑,5~10g/l二苯磺酰基丙胺,0.1~0.5g/l苯亚磺酸钠,4~8ml/l十二烷基磺酸钠。

    3.一种划片刀的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

    4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:所述基体为铝基体。

    5.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:所述基体在电镀之前经过碱洗、酸洗以及沉锌的步骤。

    6.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:所述电镀参数包括:ph为3.5~4.5,温度为40℃~45℃,电流密度为1.6~3.5asd。

    7.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:所述电镀金刚石包括在电镀槽中加入人造金刚石微粉搅拌,所述搅拌方式为阴极移动。

    8.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:所述划片刀粗品修整包括对所述基体进行线切割、斜车以及蚀刻。

    9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于:进行所述蚀刻时,采用氢氧化钠蚀刻液。

    10.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:所述抛光包括使用抛光液,所述抛光液为50%磷酸和50%硫酸的混合液。


    技术总结
    本发明涉及划片刀的制备技术领域,公开了一种划片刀电镀液组合物及其制备方法。划片刀制备包括以下步骤:提供一基体;于所述基体上电镀金刚石得到划片刀粗品;对所述划片刀粗品进行修整、抛光、开刃得到所述划片刀;其中,所述电镀用的电镀液组合物包括以下组分:45~90g/L氨基磺酸镍,5~15g/L氯化镍,30~45g/L硼酸,10~15g/L苯二磺酸,10~15g/L 2‑巯基苯并咪唑,5~10g/L二苯磺酰基丙胺,0.1~0.5g/L苯亚磺酸钠,4~8mL/L十二烷基磺酸钠。所述制备方法制出的划片刀具有硬度高、应力低、耐腐蚀性强等优点。

    技术研发人员:俞月国
    受保护的技术使用者:江苏三晶半导体材料有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/11/26
    转载请注明原文地址:https://tc.8miu.com/read-28506.html

    最新回复(0)