一种碳化硅MOS管引线框架酸洗实验装置的制作方法

    专利查询2025-05-31  88


    本发明涉及mos管框架表面处理,特别涉及一种碳化硅mos管引线框架酸洗实验装置。


    背景技术:

    1、在碳化硅mos管生产过程中,对材料和要求非常高,常规工艺下无法达到正常生产的条件,在碳化硅mos管固晶焊线后会对半成品框架产生高温焊接后的杂质残留,一部分需要进行酸蚀表面处理,但碳化硅芯片生产的器件对辅助材料要求相当严格,从而导致混合酸的材料配比经常会产生变化,如直接上机会导致部分材料表面腐蚀过量或不足。

    2、为此,本申请设计了一种碳化硅mos管引线框架酸洗实验装置,以解决上述问题。


    技术实现思路

    1、本发明为了弥补现有技术中的不足,提供了一种碳化硅mos管引线框架酸洗实验装置。

    2、一种碳化硅mos管引线框架酸洗实验装置,包括主体框架,其特征在于:

    3、所述主体框架的底部安放用于盛放引线框架的引线框架托盘,在主体框架的上方安装有混合调配1号2号3号酸的混合酸配比调节装置,混合酸配比调节装置将混合酸喷淋到下方的引线框架托盘中,最后进入到混合酸存储装置中。

    4、进一步的,为了更好地实现本发明,所述主体框架的下方底部设有引线框架托盘底座,引线框架托盘底座上通过引线框架托盘底座支架连接有引线框架托盘。

    5、进一步的,为了更好地实现本发明,所述混合酸存储装置包括连通引线框架托盘的引线框架托盘导酸管,引线框架托盘导酸管的管口朝下并邻接有成品混合酸收纳罐。

    6、进一步的,为了更好地实现本发明,所述主体框架的顶部竖立有安装架,安装架上固定连接混合酸配比调节装置。

    7、进一步的,为了更好地实现本发明,所述混合酸配比调节装置包括储酸罐,储酸罐底部连通混合酸喷淋装置,储酸罐顶部连通混合酸调节收纳罐,储酸罐一侧连接增压泵,混合酸调节收纳罐上方连接一号酸导管、二号酸导管和三号酸导管,一号酸导管上安装有一号酸导管阀门且顶部连接一号酸储液罐,二号酸导管上安装有二号酸阀门且顶部连接二号酸储液罐,三号酸导管上安装有三号酸阀门且顶部连接三号酸储液罐。

    8、进一步的,为了更好地实现本发明,所述混合酸喷淋装置包括固定在主体框架中的组合喷头支架,组合喷头支架的一端连接朝向引线框架托盘的组合喷头,组合喷头的顶部通过连接软管连接带有导酸管阀门的导酸管,导酸管连接储酸罐。

    9、本发明的有益效果是:

    10、本发明能够对混合酸的1号2号3号酸进行材料配比,通过实验出的比例结果对设备的混合酸进行调节,从而减少混合酸调节过量或不足时浪费的时间与人工,减少调节时对混合酸的浪费,大大降低生产成本。



    技术特征:

    1.一种碳化硅mos管引线框架酸洗实验装置,包括主体框架(1),其特征在于:

    2.根据权利要求1所述碳化硅mos管引线框架酸洗实验装置,其特征在于:

    3.根据权利要求1所述碳化硅mos管引线框架酸洗实验装置,其特征在于:

    4.根据权利要求1所述碳化硅mos管引线框架酸洗实验装置,其特征在于:

    5.根据权利要求4所述碳化硅mos管引线框架酸洗实验装置,其特征在于:

    6.根据权利要求5所述碳化硅mos管引线框架酸洗实验装置,其特征在于:


    技术总结
    本发明涉及MOS管框架表面处理技术领域,特别涉及一种碳化硅MOS管引线框架酸洗实验装置,主体框架的底部安放用于盛放引线框架的引线框架托盘,在主体框架的上方安装有混合调配1号2号3号酸的混合酸配比调节装置,混合酸配比调节装置将混合酸喷淋到下方的引线框架托盘中,最后进入到混合酸存储装置中。本发明能够对混合酸的1号2号3号酸进行材料配比,通过实验出的比例结果对设备的混合酸进行调节,从而减少混合酸调节过量或不足时浪费的时间与人工,减少调节时对混合酸的浪费,大大降低生产成本。

    技术研发人员:刘婷,赵俊男,徐文汇
    受保护的技术使用者:济南鲁晶半导体有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/11/26
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