本发明涉及圆晶检测，具体涉及一种圆晶检测载台调平结构及设备。
背景技术：
1、现有的晶圆检测设备中，执行光模块与底部晶圆载台需要保持相对平行，且需要底部晶圆载台镂空直径550mm孔，位于下方的检测相机才能达到最佳检测效果。目前，市场上通过xyzθxθyθz轴角度俯仰偏摆平台实现执行光模块与底部晶圆载台保持相对平行，但是其存在以下问题：
2、1.目前市面上卖的xyzθxθyθz轴角度俯仰偏摆平台需要多轴联动调整，调平纠偏时间长，影响设备产能，结构复杂出现故障时检修难度大，且由于需要联动轴太多，故载台镂空只能达到100mm，无法满足底部安装检测相机需求。
3、2.目前市面上卖的xyzθxθyθz轴角度俯仰偏摆平台制作周期长、价格高。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本发明提供一种圆晶检测载台调平结构及设备，结构紧凑，调平纠偏时间短，高效稳定。
2、本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种圆晶检测载台调平结构，包括从上至下依次间隔设置的第一调平板、第二调平板及第三调平板，所述第一调平板、第二调平板及第三调平板的中部均设置有一个镂空孔，且所述第一调平板、第二调平板及第三调平板上的镂空孔处于同一轴线方向上，所述第一调平板与第二调平板之间设置有第一电动角度位移台，所述第一电动角度位移台用于驱动所述第一调平板在θx轴方向的偏转角度，所述第二调平板与第三调平板之间设置有第二电动角度位移台，所述第二电动角度位移台用于驱动所述第二调平板在θx轴方向的偏转角度。
4、作为上述技术方案的进一步改进，所述第一调平板、第二调平板及第三调平板上的镂空孔为圆形孔。
5、作为上述技术方案的进一步改进，所述第一调平板、第二调平板及第三调平板上的镂空孔的尺寸相同。
6、作为上述技术方案的进一步改进，所述第一调平板与第二调平板之间设置有多个所述第一电动角度位移台，多个所述第一电动角度位移台均布设置于镂空孔的四周。
7、作为上述技术方案的进一步改进，所述第一电动角度位移台包括两个，两个所述第一电动角度位移台位于镂空孔的一相对两侧。
8、作为上述技术方案的进一步改进，所述第二调平板与第三调平板之间设置有多个所述第二电动角度位移台，多个所述第二电动角度位移台均布设置于镂空孔的四周，且与所述第一电动角度位移台在竖直方向上错位设置。
9、作为上述技术方案的进一步改进，所述第二电动角度位移台包括两个，两个所述第二电动角度位移台位于镂空孔的另一相对两侧。
10、作为上述技术方案的进一步改进，所述第一调平板、第二调平板及第三调平板均为矩形板。
11、作为上述技术方案的进一步改进，所述第一调平板、第二调平板及第三调平板的边角均为倒圆角设置。
12、一种圆晶检测设备，包括执行光模块、晶圆载台、检测相机和所述圆晶检测载台调平结构，所述晶圆载台安装于所述第一调平板上，所述检测相机位于所述镂空孔的正下方。
13、本发明的有益效果是：通过第一电动角度位移台来实现第一调平板在θx轴方向的偏转角度调节，通过第二电动角度位移台来实现第二调平板在θy轴方向的偏转角度调节，进而调节第一调平板在θy轴方向的偏转角度。这样，通过θxθy轴方向调节即可使安装于第一调平板上的晶圆载台与执行光模块保持相对平行，从而提高圆晶检测效果，本发明的圆晶检测载台调平结构调平纠偏时间短，高效稳定，且其结构简单紧凑，便于生产加工，制作周期短，成本低。
1.一种圆晶检测载台调平结构，其特征在于：包括从上至下依次间隔设置的第一调平板、第二调平板及第三调平板，所述第一调平板、第二调平板及第三调平板的中部均设置有一个镂空孔，且所述第一调平板、第二调平板及第三调平板上的镂空孔处于同一轴线方向上，所述第一调平板与第二调平板之间设置有第一电动角度位移台，所述第一电动角度位移台用于驱动所述第一调平板在θx轴方向的偏转角度，所述第二调平板与第三调平板之间设置有第二电动角度位移台，所述第二电动角度位移台用于驱动所述第二调平板在θx轴方向的偏转角度。
2.根据权利要求1所述的一种圆晶检测载台调平结构，其特征在于：所述第一调平板、第二调平板及第三调平板上的镂空孔为圆形孔。
3.根据权利要求2所述的一种圆晶检测载台调平结构，其特征在于：所述第一调平板、第二调平板及第三调平板上的镂空孔的尺寸相同。
4.根据权利要求1所述的一种圆晶检测载台调平结构，其特征在于：所述第一调平板与第二调平板之间设置有多个所述第一电动角度位移台，多个所述第一电动角度位移台均布设置于镂空孔的四周。
5.根据权利要求4所述的一种圆晶检测载台调平结构，其特征在于：所述第一电动角度位移台包括两个，两个所述第一电动角度位移台位于镂空孔的一相对两侧。
6.根据权利要求1所述的一种圆晶检测载台调平结构，其特征在于：所述第二调平板与第三调平板之间设置有多个所述第二电动角度位移台，多个所述第二电动角度位移台均布设置于镂空孔的四周，且与所述第一电动角度位移台在竖直方向上错位设置。
7.根据权利要求6所述的一种圆晶检测载台调平结构，其特征在于：所述第二电动角度位移台包括两个，两个所述第二电动角度位移台位于镂空孔的另一相对两侧。
8.根据权利要求1所述的一种圆晶检测载台调平结构，其特征在于：所述第一调平板、第二调平板及第三调平板均为矩形板。
9.根据权利要求8所述的一种圆晶检测载台调平结构，其特征在于：所述第一调平板、第二调平板及第三调平板的边角均为倒圆角设置。
10.一种圆晶检测设备，包括执行光模块、晶圆载台和检测相机，其特征在于：还包括权利要求1-9任一项所述的圆晶检测载台调平结构，所述晶圆载台安装于所述第一调平板上，所述检测相机位于所述镂空孔的正下方。
