本申请属于半导体材料制造设备，尤其是涉及一种半导体材料移动、升降和旋转平台。
背景技术：
1、半导体材料包括光伏硅片和晶圆，光伏硅片和晶圆的生产都要通过工艺和清洗，要保证清洗效果，通常需要对光伏硅片和晶圆进行抽检，通过光学检测系统检测光伏硅片和晶圆上是否有颗粒物或者缺陷。
2、cn118150591a用在半导体材料的自动光学检测系统及其影像处理方法，通过承载台承载半导体材料，进而对半导体进行光学检测，但是该承载台仅能提供旋转，不能对承载台进行三维方向的定位，也即不能集平移、升降和旋转功能于一，导致功能受限。
技术实现思路
1、本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种集平移、升降和旋转功能于一体的便于半导体材料对准视觉检测设备的半导体材料移动、升降和旋转平台。
2、本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种半导体材料移动、升降和旋转平台，包括：
4、第一水平方向运动机构；
5、第二水平方向运动机构，设置在第一水平方向运动机构上；
6、升降和旋转机构，设置在第二水平方向运动机构上，能够被第一水平方向运动机构和第二水平方向运动机构带动而分别做第一水平方向和第二水平方向运动，其中第一水平方向与第二水平方向垂直；所述升降和旋转机构包括安装台、升降机构和旋转机构；
7、所述安装台安装在第二水平方向运动机构上；
8、所述升降机构包括固定在所述安装台上的升降驱动件、联动组件和旋转螺杆组件，以及设置在旋转螺杆组件上的升降平台，所述升降驱动件通过驱动联动组件带动旋转螺杆组件，使升降平台发生升降，所述安装台上还安装有水平平台；
9、所述旋转机构包括设置在水平平台上的旋转驱动件，设置在旋转驱动件输出轴上的旋转驱动齿轮，具有与驱动齿轮相啮合的外齿的旋转筒；所述旋转筒上设置有治具安装座，升降平台上安装有外筒，所述外筒与旋转筒之间设置有轴承，旋转驱动件驱动转驱动齿轮旋转带动旋转筒和治具安装座旋转；
10、旋转筒受所述升降机构驱动而升降而时旋转筒的外齿始终与所述旋转驱动齿轮相啮合。
11、优选地，本发明的半导体材料移动、升降和旋转平台，所述水平平台和所述安装台的同一侧均具有开口，升降驱动件和旋转驱动件均位于远离开口的一侧设置使水平平台的开口处形成供检测机械手伸入的空间。
12、优选地，本发明的半导体材料移动、升降和旋转平台，所述联动组件包括皮带轮和皮带，旋转螺杆组件为两个并分别设置在所述安装台两侧，旋转螺杆组件的螺杆底部设置有从动轮，皮带连接皮带轮、驱动轮以及升降驱动件上的主动轮形成联动，使两个旋转螺杆组件的螺杆同步旋转。
13、优选地，本发明的半导体材料移动、升降和旋转平台，所述皮带轮包括第一皮带轮、第二皮带轮、第三皮带轮、第四皮带轮、第五皮带轮、第六皮带轮、第七皮带轮和第八皮带轮；
14、所述皮带包括第一皮带、第二皮带和第三皮带；
15、第一皮带轮与第二皮带轮通过第一皮带连接，且第一皮带轮受升降驱动件直接驱动，第一皮带轮与第三皮带轮同轴设置，第二皮带轮与第四皮带轮同轴设置；
16、第三皮带轮、第七皮带轮和第八皮带轮与一个旋转螺杆组件底部的从动轮通过第三皮带相连接；第四皮带轮、第五皮带轮和第六皮带轮与另一个旋转螺杆组件底部的从动轮通过第二皮带相连接；从而使无皮皮带无需通过所述开口一侧。
17、优选地，本发明的半导体材料移动、升降和旋转平台，所述升降驱动件和旋转驱动件为电机。
18、优选地，本发明的半导体材料移动、升降和旋转平台，治具安装座上安装有具有阶梯方形孔的方形支撑治具。
19、优选地，本发明的半导体材料移动、升降和旋转平台，治具安装座上安装有具有阶梯圆形孔的圆形支撑治具。
20、本发明的有益效果是：
21、本申请的半导体材料移动、升降和旋转平台，第一水平方向运动机构和第二水平方向运动机构提供了水平方向的位移，升降和旋转机构提供了垂直方向的位移并可以施加转动。通过上述机构使得治具安装座上的半导体材料-光伏硅片或者晶圆能够对准检测摄像头，便于对半导体材料的检测。
1.一种半导体材料移动、升降和旋转平台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的半导体材料移动、升降和旋转平台，其特征在于，所述水平平台(325)和所述安装台(31)的同一侧均具有开口，升降驱动件(321)和旋转驱动件(331)均位于远离开口的一侧设置使水平平台(325)的开口处形成供检测机械手伸入的空间。
3.根据权利要求2所述的半导体材料移动、升降和旋转平台，其特征在于，所述联动组件(322)包括皮带轮(3221)和皮带(3222)，旋转螺杆组件(324)为两个并分别设置在所述安装台(31)两侧，旋转螺杆组件(324)的螺杆底部设置有从动轮(3241)，皮带(3222)连接皮带轮(3221)、驱动轮(3241)以及升降驱动件(321)上的主动轮形成联动，使两个旋转螺杆组件(324)的螺杆(3242)同步旋转。
4.根据权利要求3所述的半导体材料移动、升降和旋转平台，其特征在于，所述皮带轮(3221)包括第一皮带轮(32211)、第二皮带轮(32212)、第三皮带轮(32213)、第四皮带轮(32214)、第五皮带轮(32215)、第六皮带轮(32216)、第七皮带轮(32217)和第八皮带轮(32218)；
5.根据权利要求1所述的半导体材料移动、升降和旋转平台，其特征在于，所述升降驱动件(321)和旋转驱动件(331)为电机。
6.根据权利要求1所述的半导体材料移动、升降和旋转平台，其特征在于，治具安装座(334)上安装有具有阶梯方形孔的方形支撑治具(91)。
7.根据权利要求1所述的半导体材料移动、升降和旋转平台，其特征在于，治具安装座(334)上安装有具有阶梯圆形孔的圆形支撑治具(92)。
