本发明涉及旋转泵。
背景技术
作为通过使泵转子旋转而进行流体的吸入和排出的旋转泵，已知在专利文献1记载的旋转泵。专利文献1的旋转泵具有泵转子和将泵转子能够旋转地收容的壳体。
在壳体与泵转子的滑动面之间，通常设定用于容许泵转子的旋转的间隙。如果该间隙大，则流体的泄漏量变大而泵的排出量减少，因此优选壳体与泵转子的滑动面之间的间隙小。但是，如果将该间隙设得过小，则存在容易发生壳体与泵转子之间的烧熔这样的问题。因此，壳体与泵转子的滑动面之间的间隙通常设定为几十μm以上的大小。
在这里，本申请的申请人进行能够防止壳体与泵转子之间的烧熔，并将壳体与泵转子的滑动面之间的间隙设定得极小的旋转泵的开发，作为上述这样的旋转泵，提出了专利文献2的旋转泵。
专利文献2的旋转泵具有泵转子和将泵转子能够旋转地收容的壳体，在壳体和泵转子的一者或两者涂覆有交联氟树脂。交联氟树脂具有摩擦系数低且耐磨性高这样的特性，因此如果在壳体和泵转子的一者或两者涂覆交联氟树脂，则即使在将壳体与泵转子的滑动面之间的间隙设定得极小时，也能够长期地防止壳体与泵转子之间的烧熔。
专利文献1：日本特开2014－47751号公报
专利文献2：日本特开2014－173513号公报
技术实现要素：
本发明的一个方式所涉及的旋转泵具有：
泵转子，其具有朝向轴向的一侧的平坦的第1转子侧面和朝向轴向的另一侧的平坦的第2转子侧面；以及
壳体，其将所述泵转子能够旋转地收容，
在该旋转泵中，
所述壳体具有：
中空筒状的环状部件，其将所述泵转子的径向外侧包围，轴向的两端开口；
第1侧部件，其能够装卸地安装于所述环状部件的轴向的一个端部，通过由交联氟树脂构成的平坦的第1交联氟树脂平面对所述第1转子侧面进行滑动引导；以及
第2侧部件，其能够装卸地安装于所述环状部件的轴向的另一个端部，通过由交联氟树脂构成的平坦的第2交联氟树脂平面对所述第2转子侧面进行滑动引导。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式所涉及的旋转泵的分解斜视图。
图2是图1的旋转泵的正视图。
图3是沿图2的III－III线的剖视图。
图4是沿图3的IV－IV线的剖视图。
图5是图3的泵转子的附近的放大图。
图6是沿图2的VI－VI线的剖视图。
图7是本发明的第2实施方式所涉及的旋转泵的分解斜视图。
图8是将图7的旋转泵与图5相对应地表示的放大剖视图。
图9是本发明的第3实施方式所涉及的旋转泵的分解斜视图。
图10是将本发明的第4实施方式所涉及的旋转泵与图4相对应地表示的图。
图11是沿图10的XI－XI线的剖视图。
图12是图11的泵转子的附近的放大图。
具体实施方式
[本发明所要解决的课题]
本申请的发明人在公司内推进了如专利文献2那样在壳体和泵转子之中的至少一者涂覆有交联氟树脂的旋转泵的开发，研究了作为这样的旋转泵而将在壳体的内表面涂覆有交联氟树脂的旋转泵量产化。
在这里，壳体由壳体主体和能够装卸地安装于壳体主体的罩构成。壳体主体是将对泵转子的轴向的一个侧面进行滑动引导的第1侧部分和包围泵转子的径向外侧的环状部分无缝地一体形成而得到的部件。罩是对泵转子的轴向的另一个侧面进行滑动引导的第2侧部分。而且，发明人研究了将在该壳体主体和罩涂覆有交联氟树脂的旋转泵量产化。
然而，知晓了实际上在试图将在壳体的内表面涂覆有交联氟树脂的旋转泵量产化的情况下存在以下的问题。
即，在对壳体主体的侧部分(对泵转子的轴向的一个侧面进行滑动引导的部分)涂覆交联氟树脂时，该交联氟树脂的表面是决定壳体与泵转子的滑动面之间的间隙的大小的部位，因此需要严格的尺寸管理。另一方面，在对壳体主体的侧部分涂覆交联氟树脂时，由于存在从侧部分立起的环状部分(将泵转子的径向外侧包围的部分)，因此难以以均一的厚度进行涂覆。另外，在对壳体主体的侧部分涂覆交联氟树脂后需要对该交联氟树脂的表面进行磨削的情况下，需要进行内表面磨削以使得不与从侧部分立起的环状部分发生干涉，因此加工成本高、量产性差。
因此，本发明的目的在于，提供能够高精度地管理壳体与泵转子的轴向的侧面之间的间隙，且量产性优异的旋转泵，该壳体将与泵转子的轴向的侧面相对的滑动面由交联氟树脂形成。
[本发明的效果]
根据本发明，能够提供能够高精度地管理壳体与泵转子的轴向的侧面之间的间隙，且量产性优异的旋转泵，该壳体将与泵转子的轴向的侧面相对的滑动面由交联氟树脂形成。
[本发明的实施方式的说明]
(1)本发明的一个方式所涉及的旋转泵具有：
泵转子，其具有朝向轴向的一侧的平坦的第1转子侧面和朝向轴向的另一侧的平坦的第2转子侧面；以及
壳体，其将所述泵转子能够旋转地收容，
在该旋转泵中，
所述壳体具有：
中空筒状的环状部件，其将所述泵转子的径向外侧包围，轴向的两端开口；
第1侧部件，其能够装卸地安装于所述环状部件的轴向的一个端部，通过由交联氟树脂构成的平坦的第1交联氟树脂平面对所述第1转子侧面进行滑动引导；以及
第2侧部件，其能够装卸地安装于所述环状部件的轴向的另一个端部，通过由交联氟树脂构成的平坦的第2交联氟树脂平面对所述第2转子侧面进行滑动引导。
如果以上述方式设置，则第1侧部件及第2侧部件能够从将泵转子的径向外侧包围的环状部件分别装卸，因此能够在没有环状部件的状态下，高精度地形成第1交联氟树脂平面及第2交联氟树脂平面。因此，能够高精度地管理第1交联氟树脂平面及第2交联氟树脂平面与泵转子的轴向的侧面之间的间隙，且量产性优异。
(2)优选所述环状部件具有：第1凸缘面，其形成于环状部件的轴向的一个开口的周围；以及第2凸缘面，其形成于环状部件的轴向的另一个开口的周围，
所述第1侧部件具有与所述第1凸缘面接触而被固定的第1对合面，所述第1对合面由与构成所述第1交联氟树脂平面的交联氟树脂连续而不间断的交联氟树脂形成，
所述第2侧部件具有与所述第2凸缘面接触而被固定的第2对合面，所述第2对合面由与构成所述第2交联氟树脂平面的交联氟树脂连续而不间断的交联氟树脂形成。
如果以上述方式设置，则第1侧部件的与环状部件相对的第1对合面和第2侧部件的与环状部件相对的第2对合面都由交联氟树脂形成，因此通过该交联氟树脂，能够将第1侧部件与环状部件的接触面之间、第2侧部件与环状部件的接触面之间密封。而且，形成第1对合面的交联氟树脂与构成对泵转子进行滑动引导的第1交联氟树脂平面的交联氟树脂连续而不间断，形成第2对合面的交联氟树脂也是与构成对泵转子进行滑动引导的第2交联氟树脂平面的交联氟树脂连续而不间断，因此制造成本被抑制得低。
(3)所述第1侧部件或者所述第2侧部件具有：吸入口，其在与所述第1转子侧面相对的面或者与所述第2转子侧面相对的面开口；排出口，其与所述吸入口在周向隔开间隔而开口；以及非开口部分，其将所述吸入口与所述排出口之间在周向隔开，
在上述情况下，优选采用在所述非开口部分形成有所述第1交联氟树脂平面或者所述第2交联氟树脂平面的结构。
如果以上述方式设置，则能够将使吸入口与排出口之间隔开的非开口部分与泵转子之间的间隙设定得极小，因此能够有效地减少从排出口向吸入口的流体的泄漏量，能够有效地提高泵的排出量。
(4)在使所述泵转子旋转的旋转轴设为具有从所述泵转子在轴向凸出的部分的情况下，
优选所述第1侧部件或者所述第2侧部件由侧块和滑动板构成，在该侧块安装将所述旋转轴的从所述泵转子在轴向凸出的部分能够旋转地支撑的轴承，该滑动板夹入至该侧块与所述环状部件之间而固定，具有所述第1交联氟树脂平面或者所述第2交联氟树脂平面。
如果以上述方式设置，则第1交联氟树脂平面或者第2交联氟树脂平面不设置于对轴承进行安装的侧块，而是设置于与侧块分体的滑动板，因此交联氟树脂平面的形成变得容易。
(5)所述滑动板能够采用由金属板和在该金属板的至少所述环状部件侧的面涂覆的交联氟树脂覆膜构成的结构。
如果以上述方式设置，则能够确保滑动板的强度，因此在侧块与环状部件之间夹入滑动板时，能够防止滑动板的损坏。
(6)所述交联氟树脂覆膜能够涂覆于所述金属板的所述侧块侧的面和所述环状部件侧的面这两者。
如果以上述方式设置，则作为涂覆的方法能够使用浸渍等方法，能够低价地得到具有准确的膜厚的交联氟树脂覆膜。
(7)所述滑动板能够采用交联氟树脂制的板。
(8)所述泵转子能够由内转子和环状的外转子构成，该内转子在外周具有多个外齿，该环状的外转子以从所述内转子的中心偏心的位置为中心能够旋转地被支撑，在内周具有与所述外齿啮合的多个内齿。
(9)所述泵转子能够由转子主体和多个叶片构成，该转子主体在外周具有多个叶片收容槽，该多个叶片能够在径向滑动地分别收容于所述多个叶片收容槽。
[本发明的实施方式的详细内容]
以下，参照附图对本发明的实施方式所涉及的旋转泵的具体例进行说明。此外，本发明不受这些例示所限定，而是由权利要求书示出，包含与权利要求书等同的含义及范围内的全部变更。
在图1至图6示出本发明的第1实施方式所涉及的旋转泵。旋转泵具有泵转子1、将泵转子1能够旋转地收容的壳体2和使泵转子1旋转的旋转轴3。
如图1、图4所示，泵转子1由在外周具有多个外齿4的内转子5和在内周具有与外齿4啮合的多个内齿6的环状的外转子7构成。
如图3所示，在内转子5形成有供旋转轴3插入的轴孔8。旋转轴3和轴孔8嵌合以使得旋转轴3和内转子5一体旋转。旋转轴3和轴孔8的嵌合除了图示那样的对边平的嵌合以外，还可以采用花键嵌合、键槽嵌合、具有圆筒面彼此的过盈量的嵌合(热压配合、通过压入进行的嵌合)。
如图4所示，外转子7具有外周圆筒面9。外周圆筒面9与在壳体2设置的内周圆筒面10具有间隙地嵌合，通过该嵌合，外转子7能够旋转地被支撑。在这里，外转子7以从内转子5的中心位置(即旋转轴3的旋转中心位置)偏心的位置为中心能够旋转地被支撑。如果使内转子5旋转，则外转子7通过内齿6和外齿4的啮合而与内转子5一起旋转。内转子5的旋转方向在图中为顺时针方向。
外转子7的内齿6的数量比内转子5的外齿4的数量多1个。在内转子5的外周与外转子7的内周之间形成有通过各外齿4及各内齿6划分出的多个腔室11(收容流体的空间)。在这里，多个腔室11构成为伴随内转子5及外转子7的旋转而容积变化。即，在内转子5的中心和外转子7的中心相距最远的角度位置(在图中为上侧位置)腔室11的容积变得最大，随着与内转子5的中心和外转子7的中心相距最近的角度位置(在图中为下侧位置)接近而腔室11的容积变小。因此，在内转子5及外转子7旋转时，在从内转子5的中心和外转子7的中心相距最远的角度位置朝向内转子5的中心和外转子7的中心相距最近的角度位置移动的一侧(在图中为右侧)，发生由腔室11的容积缩小而引起的流体的排出作用，另一方面，在从内转子5的中心和外转子7的中心相距最近的角度位置朝向内转子5的中心和外转子7的中心相距最远的角度位置移动的一侧(在图中为左侧)，发生由腔室11的容积逐渐扩大而引起的流体的吸入作用。
如图5所示，内转子5具有朝向轴向的一侧(在图中为左侧)的平坦的第1内转子侧面12a和朝向轴向的另一侧(在图中为右侧)的平坦的第2内转子侧面12b。第1内转子侧面12a和第2内转子侧面12b是在轴向彼此朝向相反方向的平行的平面。另外，外转子7具有朝向轴向的一侧的平坦的第1外转子侧面13a和朝向轴向的另一侧的平坦的第2外转子侧面13b。第1外转子侧面13a和第2外转子侧面13b是在轴向彼此朝向相反方向的平行的平面。
在这里，从第1内转子侧面12a至第2内转子侧面12b为止的内转子5的轴向宽度尺寸与从第1外转子侧面13a至第2外转子侧面13b为止的外转子7的轴向宽度尺寸相同。第1内转子侧面12a和第1外转子侧面13a位于同一平面上，第2内转子侧面12b和第2外转子侧面13b也位于同一平面上。内转子5和外转子7都为烧结体。烧结体是将铁类的粉末材料通过模具进行压缩成型而成的粉末成型体以熔点以下的高温进行加热而得到的部件。
如图3所示，供旋转轴3插入的轴孔8是在轴向将内转子5贯通的贯通孔。而且，旋转轴3以具有从内转子5向轴向的一侧(在图中为左侧)凸出的部分3a和从内转子5向轴向的另一侧(在图中为右侧)凸出的部分3b的方式插入轴孔8。旋转轴3的从内转子5向轴向的一侧凸出的部分3a能够旋转地由第1轴承14a支撑，旋转轴3的从内转子5向轴向的另一侧凸出的部分3b能够旋转地由第2轴承14b支撑。旋转轴3的从内转子5向轴向的另一侧凸出的部分3b与未图示的旋转驱动装置(电动机等)连接。
壳体2具有：环状部件15，其形成为将泵转子1(内转子5及外转子7)的径向外侧包围的中空筒状；第1侧部件16a，其能够装卸地安装于环状部件15的轴向的一个端部(在图中为左侧的端部)；以及第2侧部件16b，其能够装卸地安装于环状部件15的轴向的另一个端部(在图中为右侧的端部)。
第1侧部件16a由对第1轴承14a进行安装的第1侧块17a和夹入至第1侧块17a和环状部件15之间的第1滑动板18a构成。同样地，第2侧部件16b也由对第2轴承14b进行安装的第2侧块17b和夹入至第2侧块17b和环状部件15之间的第2滑动板18b构成。
第1侧块17a、第1滑动板18a、环状部件15、第2滑动板18b、第2侧块17b利用共通的螺栓19在轴向进行紧固而彼此被固定。另外，第1侧块17a、第1滑动板18a、环状部件15、第2滑动板18b、第2侧块17b通过将共通的顶销21插入至形成于各部件的顶销插入孔20而在轴直角方向被定位。
如图5所示，环状部件15形成为轴向的两端开口的中空筒状。环状部件15具有在环状部件15的轴向的一个(在图中为左侧)开口的周围形成的第1凸缘面22a和在环状部件15的轴向的另一个(在图中为右侧)开口的周围形成的第2凸缘面22b。第1凸缘面22a和第2凸缘面22b是在轴向彼此朝向相反方向的平行的平面。
第1滑动板18a具有对第1内转子侧面12a及第1外转子侧面13a进行滑动引导的平坦的第1交联氟树脂平面23a和与第1凸缘面22a接触而被固定的第1对合面24a。在这里，第1滑动板18a由金属板25和在该金属板25的环状部件15侧的面涂覆的交联氟树脂覆膜26构成。第1交联氟树脂平面23a及第1对合面24a在该实施方式为交联氟树脂覆膜26的表面。第1对合面24a由与将第1交联氟树脂平面23a构成的交联氟树脂连续而不间断的交联氟树脂形成。即，第1滑动板18a的单侧整面由交联氟树脂涂覆。第1滑动板18a是具有5mm以下(优选为4mm以下)的均一厚度的平板。
交联氟树脂是将构成氟树脂的链状高分子的分子间交联结合而成的，具有与通常的氟树脂(非交联氟树脂)同等的低摩擦系数，但是具有比通常的氟树脂极高的耐磨性。
作为交联的氟树脂，能够采用聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯－六氟丙烯共聚物(FEP)、四氟乙烯－全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)等。作为交联氟树脂，优选采用交联PTFE。采用交联PTFE，交联PTFE在上述的氟树脂之中也是具有特别低的摩擦系数，且耐磨性优异，因此几乎不会磨损，能够有效地提高泵效率。
由交联氟树脂构成的交联氟树脂覆膜26例如能够以下述方式形成。首先，在金属板25的表面涂敷使氟树脂(例如PTFE)的微粒分散于水的分散液。接下来，通过使涂敷的分散液干燥，从而在金属板25的表面形成氟树脂的微粒的层。接下来，通过将金属板25及氟树脂的微粒的层加热至氟树脂的熔点以上的温度，从而将氟树脂的微粒烧结，使氟树脂的微粒彼此熔接。然后，在规定的高温的无氧气氛中照射放射线(例如，电子束)，从而在构成氟树脂的链状高分子彼此之间产生共价键，将链状高分子的分子间进行交联。另外，通过此时照射的放射线，在构成氟树脂的链状高分子的分子与金属板25之间产生化学键，通过该化学键，交联氟树脂覆膜26具有极高的密接性而与金属板25粘接。然后，对交联氟树脂覆膜26的表面进行磨削加工。
同样地，第2滑动板18b具有：对第2内转子侧面12b及第2外转子侧面13b进行滑动引导的平坦的第2交联氟树脂平面23b；以及与第2凸缘面22b接触而被固定的第2对合面24b。在这里，第2滑动板18b由金属板25和在该金属板25的环状部件15侧的面涂覆的交联氟树脂覆膜26构成。第2交联氟树脂平面23b及第2对合面24b是交联氟树脂覆膜26的表面。第2对合面24b由与构成第2交联氟树脂平面23b的交联氟树脂连续而不间断的交联氟树脂形成。
如图6所示，在第1滑动板18a设置有：第1吸入口27a，其在与第1内转子侧面12a及第1外转子侧面13a相对的面开口；第1排出口28a，其与第1吸入口27a在周向隔开间隔而开口；以及第1非开口部分29a，其将第1吸入口27a和第1排出口28a之间在周向隔开(参照图1)。
同样地，在第2滑动板18b设置有：第2吸入口27b，其在与第2内转子侧面12b及第2外转子侧面13b相对的面开口；第2排出口28b，其与第2吸入口27b在周向隔开间隔而开口；以及第2非开口部分29b，其将第2吸入口27b和第2排出口28b之间在周向隔开(参照图1)。
如图1所示，第1吸入口27a和第1排出口28a都是以旋转轴3为中心的圆弧状开口的。在第1滑动板18a，在将第1吸入口27a和第1排出口28a之间隔开的第1非开口部分29a形成有上述的第1交联氟树脂平面23a。同样地，第2吸入口27b和第2排出口28b也都是以旋转轴3为中心的圆弧状开口的。在第2滑动板18b，在将第2吸入口27b和第2排出口28b之间隔开的第2非开口部分29b形成有上述的第2交联氟树脂平面23b。
第1吸入口27a和第2吸入口27b在隔着内转子5及外转子7而对称的位置以相同形状开口。由此，使第1内转子侧面12a及第1外转子侧面13a从第1吸入口27a内的流体受到的压力和第2内转子侧面12b及第2外转子侧面13b从第2吸入口27b内的流体受到的压力平衡，防止在内转子5及外转子7发生倾斜。
同样地，第1排出口28a和第2排出口28b也在隔着内转子5及外转子7而对称的位置以相同形状开口。由此，使第1内转子侧面12a及第1外转子侧面13a从第1排出口28a内的流体受到的压力和第2内转子侧面12b及第2外转子侧面13b从第2排出口28b内的流体受到的压力平衡，防止在内转子5及外转子7发生倾斜。
如图4、图6所示，第1吸入口27a和第2吸入口27b经由在与对环状部件15的泵转子1进行收容的开口分离的位置形成的连通路30而连通。另外，如图2、图6所示，第1吸入口27a与在第1侧块17a的外表面开口的吸入口31连通，第1排出口28a与在第1侧块17a的外表面开口的排出口32连通。
上述的旋转泵如图5所示，通过第1交联氟树脂平面23a及第2交联氟树脂平面23b对内转子5及外转子7的轴向的侧面进行滑动引导，因此能够将内转子5及外转子7与壳体2之间的轴向的间隙(即，壳体2的内宽与内转子5的宽度或者外转子7的宽度之差)设定为极小的大小(20μm以下，优选为15μm以下，更优选为10μm以下)。
另外，该旋转泵如图1所示，第1侧部件16a及第2侧部件16b设为能够从将泵转子1的径向外侧包围的环状部件15分别装卸，因此在没有环状部件15的状态下，能够高精度地形成第1交联氟树脂平面23a及第2交联氟树脂平面23b。因此，能够高精度地管理第1交联氟树脂平面23a及第2交联氟树脂平面23b与内转子5及外转子7的轴向的侧面之间的间隙，且量产性优异。
特别地，该旋转泵是第1交联氟树脂平面23a没有设置于对第1轴承14a进行安装的第1侧块17a，而是设置于与第1侧块17a分体的第1滑动板18a，因此与对第1侧块17a的表面直接涂覆交联氟树脂相比，第1交联氟树脂平面23a的形成变得容易。同样地，该旋转泵是第2交联氟树脂平面23b没有设置于对第2轴承14b进行安装的第2侧块17b，而是设置于与第2侧块17b分体的第2滑动板18b，因此与对第2侧块17b的表面直接涂覆交联氟树脂相比，第2交联氟树脂平面23b的形成变得容易。
并且，该旋转泵通过在已有的旋转泵追加装入第1滑动板18a及第2滑动板18b也能够得到实施方式的旋转泵，因此为低成本。
另外，该旋转泵如图5所示，第1侧部件16a的与环状部件15相对的第1对合面24a和第2侧部件16b的与环状部件15相对的第2对合面24b都由交联氟树脂形成，因此通过该交联氟树脂，能够将第1侧部件16a与环状部件15的接触面之间、第2侧部件16b与环状部件15的接触面之间分别密封。而且，形成第1对合面24a的交联氟树脂是与构成对泵转子1进行滑动引导的第1交联氟树脂平面23a的交联氟树脂连续而不间断地形成的，形成第2对合面24b的交联氟树脂也是与构成对泵转子1进行滑动引导的第2交联氟树脂平面23b的交联氟树脂连续不间断地形成的，因此制造成本低。
另外，该旋转泵在将第1吸入口27a与第1排出口28a之间隔开的第1非开口部分29a形成有第1交联氟树脂平面23a，因此能够将第1非开口部分29a与第1内转子侧面12a及第1外转子侧面13a之间的间隙设为极小，能够有效地减少从第1排出口28a向第1吸入口27a的流体的泄漏量。同样地，在将第2吸入口27b与第2排出口28b之间隔开的第2非开口部分29b形成有第2交联氟树脂平面23b，因此能够将第2非开口部分29b与第2内转子侧面12b及第2外转子侧面13b之间的间隙设为极小，能够有效地减少从第2排出口28b向第2吸入口27b的流体的泄漏量。因此，能够有效地提高泵的排出量。
另外，在该旋转泵，作为第1滑动板18a而采用了由金属板25和在该金属板25的至少环状部件15侧的面涂覆的交联氟树脂覆膜26构成的结构，因此能够确保第1滑动板18a的强度。因此，在第1侧块17a与环状部件15之间夹入第1滑动板18a时，能够防止第1滑动板18a的损坏。同样地，第2滑动板18b也采用了由金属板25和在该金属板25的至少环状部件15侧的面涂覆的交联氟树脂覆膜26构成的结构，因此能够确保第2滑动板18b的强度。因此，在第2侧块17b与环状部件15之间夹入第2滑动板18b时，能够防止第2滑动板18b的损坏。
在上述实施方式，作为第1滑动板18a及第2滑动板18b，举例出仅在金属板25的单面涂覆交联氟树脂覆膜26的结构而进行了说明，但第1滑动板18a及第2滑动板18b也能够采用在金属板25的两面(即，侧块侧的面和环状部件15侧的面)涂覆交联氟树脂覆膜26的结构。如果采用上述结构，作为涂覆的方法能够使用浸渍等方法，能够低价地得到具有准确的膜厚的交联氟树脂覆膜26。在通过浸渍的方法进行涂覆的情况下，供螺栓19插入的孔33(参照图5)的内表面也成为由交联氟树脂覆膜26涂覆的状态。
在图7、图8示出本发明的第2实施方式所涉及的旋转泵。第2实施方式仅第1滑动板18a及第2滑动板18b的结构与第1实施方式不同，其他结构与第1实施方式相同。因此，对与第1实施方式相对应的部分标注相同标号而省略说明。
第1滑动板18a为交联氟树脂制的薄板。即，第1滑动板18a的整体由交联氟树脂形成。第1滑动板18a是具有1mm以下(优选为0.5mm以下)的均一厚度的平板。第2滑动板18b也与第1滑动板18a同样地形成。
该旋转泵是第1交联氟树脂平面23a没有设置于对第1轴承14a进行安装的第1侧块17a，而是设置于与第1侧块17a分体的第1滑动板18a，因此与对第1侧块17a的表面直接涂覆交联氟树脂相比，第1交联氟树脂平面23a的形成变得容易。同样地，该旋转泵是第2交联氟树脂平面23b没有设置于对第2轴承14b进行安装的第2侧块17b，而是设置于与第2侧块17b分体的第2滑动板18b，因此与对第2侧块17b的表面直接涂覆交联氟树脂相比，第2交联氟树脂平面23b的形成变得容易。
另外，通过在已有的旋转泵追加装入第1滑动板18a及第2滑动板18b也能够得到实施方式的旋转泵，因此为低成本。
另外，该旋转泵如图8所示，通过第1滑动板18a及第2滑动板18b能够将第1侧部件16a与环状部件15的接触面之间、第2侧部件16b与环状部件15的接触面之间分别密封。
另外，该旋转泵是第1侧块17a与环状部件15之间通过第1滑动板18a被绝缘，第2侧块17b与环状部件15之间通过第2滑动板18b被绝缘，能够防止由第1侧块17a与环状部件15直接接触而引起的电蚀，并且能够防止由第2侧块17b与环状部件15直接接触而引起的电蚀。例如，在将第1侧块17a及第2侧块17b由铝合金形成，将环状部件15由钢材形成的情况下，能够防止由铝合金和钢材的电位差引起的第1侧块17a及第2侧块17b的电蚀。
在图9示出本发明的第3实施方式所涉及的旋转泵。对与上述各实施方式相对应的部分标注相同标号而省略说明。
第1侧部件16a由第1侧块17a和在第1侧块17a的环状部件15侧的面涂覆的第1交联氟树脂覆膜34a构成。同样地，第2侧部件16b由第2侧块17b和在第2侧块17b的环状部件15侧的面涂覆的第2交联氟树脂覆膜34b构成。在这里，第1交联氟树脂覆膜34a形成了第1交联氟树脂平面23a，第2交联氟树脂覆膜34b形成了第2交联氟树脂平面23b。
该旋转泵也与上述各实施方式同样地，第1侧部件16a及第2侧部件16b设为能够从将泵转子1的径向外侧包围的环状部件15分别装卸，因此在没有环状部件15的状态下，能够高精度地形成第1交联氟树脂平面23a及第2交联氟树脂平面23b。因此，能够高精度地管理第1交联氟树脂平面23a及第2交联氟树脂平面23b与内转子5及外转子7的轴向的侧面之间的间隙，且量产性优异。
图10～图12示出本发明的第4实施方式所涉及的旋转泵。第4实施方式仅泵转子1的结构与第1实施方式不同，其他结构与第1实施方式相同。因此，对与第1实施方式相对应的部分标注相同标号而省略说明。
如图10、图11所示，泵转子1由在外周具有多个叶片收容槽35的转子主体36和能够在径向滑动地分别收容于多个叶片收容槽35的多个叶片37构成。叶片37的径向外端与凸轮环38的内周滑动接触。在转子主体36的外周与凸轮环38的内周之间形成有通过叶片37划分出的多个腔室39(收容流体的空间)。凸轮环38的内周构成为伴随转子主体36的旋转而各腔室39的容积变化，使得产生由腔室39的容积缩小而引起的流体的排出作用和由腔室39的容积逐渐扩大而引起的流体的吸入作用。
如图12所示，第1滑动板18a具有对转子主体36及叶片37的轴向的一个(在图中为左侧)侧面进行滑动引导的平坦的第1交联氟树脂平面23a和与环状部件15的第1凸缘面22a接触而被固定的第1对合面24a。第2滑动板18b具有对转子主体36及叶片37的轴向的另一个(在图中为右侧)侧面进行滑动引导的平坦的第2交联氟树脂平面23b和与环状部件15的第2凸缘面22b接触而被固定的第2对合面24b。另外，在凸轮环38的内周涂覆有交联氟树脂覆膜40。在将第1吸入口27a与第1排出口28a之间隔开的第1非开口部分29a(参照图10)形成有第1交联氟树脂平面23a。同样地，在将第2吸入口27b与第2排出口28b之间隔开的第2非开口部分29b形成有第2交联氟树脂平面23b。转子主体36的轴向宽度尺寸与叶片37的轴向宽度尺寸相同。
该旋转泵如图12所示，通过第1交联氟树脂平面23a及第2交联氟树脂平面23b对转子主体36及叶片37的轴向的侧面进行滑动引导，因此能够将转子主体36及叶片37与壳体2之间的轴向的间隙(即，壳体2的内宽与转子主体36的宽度或者叶片37的宽度之差)设定为极小的大小。
另外，该旋转泵是第1侧部件16a及第2侧部件16b设为能够从将泵转子1的径向外侧包围的环状部件15分别装卸，因此在没有环状部件15的状态下，能够高精度地形成第1交联氟树脂平面23a及第2交联氟树脂平面23b。因此，能够高精度地管理第1交联氟树脂平面23a及第2交联氟树脂平面23b与转子主体36及叶片37的轴向的侧面之间的间隙，且量产性优异。
标号的说明
1 泵转子
2 壳体
3 旋转轴
3a 旋转轴的向一侧凸出的部分
3b 旋转轴的向另一侧凸出的部分
4 外齿
5 内转子
6 内齿
7 外转子
8 轴孔
9 外周圆筒面
10 内周圆筒面
11 腔室
12a 第1内转子侧面
12b 第2内转子侧面
13a 第1外转子侧面
13b 第2外转子侧面
14a 第1轴承
14b 第2轴承
15 环状部件
16a 第1侧部件
16b 第2侧部件
17a 第1侧块
17b 第2侧块
18a 第1滑动板
18b 第2滑动板
19 螺栓
20 顶销插入孔
21 顶销
22a 第1凸缘面
22b 第2凸缘面
23a 第1交联氟树脂平面
23b 第2交联氟树脂平面
24a 第1对合面
24b 第2对合面
25 金属板
26 交联氟树脂覆膜
27a 第1吸入口
27b 第2吸入口
28a 第1排出口
28b 第2排出口
29a 第1非开口部分
29b 第2非开口部分
30 连通路
31 吸入口
32 排出口
33 孔
34a 第1交联氟树脂覆膜
34b 第2交联氟树脂覆膜
35 叶片收容槽
36 转子主体
37 叶片
38 凸轮环
39 腔室
40 交联氟树脂覆膜
