本发明涉及一种半导体制集成电路工艺方法，尤其是涉及一种光学邻近效应修正(optical proximity correction，opc)不同配置模型的质量评价方法。
背景技术：
1、为实现针对不同结构下的不同opc软件仿真的稳定性评价，经常截取待验证区域的结构图形进行仿真，来评价对此结构模型(model)的准确性是否存疑。现有方法都是手动截取待验证区域，选择相对应的工艺信息，再产生配置文件进行不同软件的opc的仿真，最后将生成的opc仿真结果手动叠加至同一界面，进行定性研究其准确性。这非常费时费力，且容易出错。
技术实现思路
1、本发明所要解决的技术问题是提供一种opc不同配置模型的质量评价方法，能自动判别不同结构区域的不同opc工具软件的模型仿真的准确性，还能进一步实现对适用于不同产品、不同工艺平台和不同厂商提高的opc工具软件的opc模型进行自动化评价分析并提升通用性。
2、为解决上述技术问题，本发明提供一种的opc不同配置模型的质量评价方法包括如下步骤：
3、步骤一、提供不同的opc工具软件，各所述opc工具软件的opc模型不同。
4、步骤二、在版图中截取待评价结构区域，所述待评价结构区域中具有一个以上的待评价结构图形。
5、步骤三、依次采用各所述opc工具软件对所述待评价结构区域中的各所述待评价结构图形进行仿真并得到对应的仿真图形。
6、步骤四、将各所述opc工具软件对应的所述仿真图形叠加在一起。
7、步骤五、对各所述opc工具软件对应的所述仿真图形进行网格划分，设置各格点的权重以及设置各所述opc工具软件对应的所述仿真图形对应的格点信息；对各所述opc工具软件对应的所述仿真图形对应的格点信息进行矩阵向量化处理并得到各所述opc工具软件对应的所述仿真图形对应的各矩阵向量。
8、步骤六、建立相似度评价函数，将需要比较的两个所述opc工具软件对应的所述仿真图形的各矩阵向量代入所述相似度评价函数中得到相似度评价值，基于所述相似度评价值判断所述待评价结构区域对应的所述opc工具软件的模型的准确性。
9、进一步的改进是，步骤二中，所述版图包括多个工艺层次的图形，所述待评价结构图形位于选定的工艺层次中。
10、进一步的改进是，步骤二中，截取区域大于所述待评价结构区域。
11、进一步的改进是，各所述截取区域的边缘和对应的所述待评价结构区域的边缘间距为1微米以上。
12、进一步的改进是，步骤三中，在进行所述仿真之前，还包括提取所述版图对应的产品的配置信息和工艺条件信息。
13、各所述opc工具软件接收所述配置信息和所述工艺条件信息并产生各所述opc工具软件对应的配置文件，之后再进行所述仿真。
14、进一步的改进是，步骤三之前，还包括：
15、建立配置模板库，所述配置模板库中包括各所述opc工具软件对应的配置文件模板。
16、在步骤三中，自动提取所述配置信息和所述工艺条件信息；在提取到所述配置信息和所述工艺条件信息后，所述配置信息和所述工艺条件信息自动填入到所述配置文件模板中并形成所述配置文件。
17、进一步的改进是，所述配置模板库中还包括各所述opc工具软件对应的仿真沙盒。
18、步骤三中，在形成所述配置文件后，所述opc工具软件在所述仿真沙盒中自动完成所述仿真。
19、进一步的改进是，步骤四中，将各所述opc工具软件对应的所述仿真图形都贴在当前界面实现叠加。
20、进一步的改进是，步骤五中，所述网格划分形成的各所述格点都为边长相同的正方形。
21、进一步的改进是，各所述格点的边长为小于等于1nm。
22、进一步的改进是，各所述opc工具软件对应的所述仿真图形对应的所述格点信息的设置包括：
23、将被所述仿真图形完全覆盖的所述格点的所述格点信息设置为0。
24、将未被所述仿真图形完全覆盖的所述格点的所述格点信息设置为0。
25、将被所述仿真图形覆盖区域小于50％的所述格点的所述格点信息设置为1。
26、将被所述仿真图形覆盖区域大于等于50％的所述格点的所述格点信息设置为2。
27、进一步的改进是，步骤五中，根据位置区域设置所述权重，相同权重区域中的各所述格点对应的所述权重相同。
28、进一步的改进是，步骤五中，所述矩阵向量化处理包括：
29、在所述仿真图形的叠加图形中，采用矩形对所述叠加图形的区域进行划分并形成多个仿真区域。
30、将各所述opc工具软件对应的所述仿真图形位于各所述仿真区域中的各所述格点信息按照所述格点在所述仿真区域对应的矩形中的位置形成矩阵信息。
31、将各所述矩阵信息的各所述格点信息化成一维向量。
32、各所述opc工具软件对应的所述仿真图形的信息采用各所述仿真区域对应的一维向量表示并从而实现所述矩阵向量化处理。
33、进一步的改进是，所述相似度评价函数采用公式表示为：
34、
35、其中，evaa-b表示两个所述opc工具软件对应的所述相似度评价值；
36、a对应于一个所述opc工具软件的编号；
37、b对应于另一个所述opc工具软件的编号；
38、aij表示编号a的所述opc工具软件对应的所述一维向量中的元素值；
39、bij表示编号b的所述opc工具软件对应的所述一维向量中的元素值；
40、wtij表示aij对应的所述格点的权重；
41、i表示所述一维向量对应的所述仿真区域的编号；
42、j表示所述元素值在所述一维向量中的编号。
43、ni表示i对应的所述一维向量对应的所述仿真区域得到的所述矩阵信息的元素最大个数。
44、进一步的改进是，步骤六中，所述opc工具软件大于3件时，对各所述opc工具软件都进行两两比较并形成对应的所述相似度评价值。
45、进一步的改进是，还包括：
46、对各所述opc工具软件进行两两比较形成的所述相似度评价值进行算术平均得到相似度评价平均值。
47、将所述相似度评价平均值和相似度评价阈值进行比较。
48、如果所述相似度评价平均值小于所述相似度评价阈值，则表示所述待评价结构区域对应的各所述opc工具软件的模型的准确性存疑，所述待评价结构区域为不准区域；
49、如果所述相似度评价平均值大于等于所述相似度评价阈值，则表示所述待评价结构区域对应的各所述opc工具软件的模型的准确性满足要求。
50、进一步的改进是，还包括：在步骤二中更换所述待评价结构区域，之后重复步骤三至步骤六，实现对更换后的所述待评价结构区域对应的所述opc工具软件的模型的准确性的判断。
51、进一步的改进是，还包括：选择出所述不准区域，利用所述不准区域中的图形结构指导后续各所述opc工具软件的模型的建立或优化。
52、本发明通过将不同opc工具软件对待评价结构区域的待评价结构图形进行仿真形成的仿真图形进行叠加，再采用网格划分并设置格点权重以及根据仿真图形对网格划分形成的格点设置格点信息，对格点信息进行矩阵向量化处理并得到各矩阵向量，这样，通过opc工具软件的仿真图形的矩阵向量进行两两比较并代入到相似度评价函数中就能得到相似度评价值，基于相似度评价值就能判断对应的opc工具软件的质量，这里opc工具软件的质量主要是指待评价结构区域对应的述opc工具软件的模型的准确性，由于矩阵向量的信息都是基于仿真图形计算得到的，相似度评价值也能通过将矩阵向量的信息代入到相似度评价函数自动得到，所以，能基于计算自动判断对应的opc工具软件的质量，也即能自动判别待评价结构区域对应的不同opc工具软件的模型仿真的准确性，仿真准确性越高，对应的opc工具软件的质量也就越佳。
53、本发明还能采用不同的opc工具软件对不同产品以及不同工艺平台下的版图的待评价结构区域进行自动仿真，如，能对版图上对应工艺层次的待评价结构区域进行自动截取，能对产品的配置信息以及工艺条件信息进行自动提取，能建立各opc工具软件对应的配置文件模板和仿真沙盒，自动提取的配置信息和工艺条件信息能自动填入到配置文件模板中并形成配置文件并通过仿真沙盒实现自动仿真，所以，本发明能实现全过程的自动化，且能适用于不同产品、不同工艺平台和不同厂商的opc工具软件，所以，本发明还能进一步实现对适用于不同产品、不同工艺平台和不同厂商提高的opc工具软件的opc模型进行自动化评价分析并提升通用性。
1.一种opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.如权利要求1所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：步骤二中，所述版图包括多个工艺层次的图形，所述待评价结构图形位于选定的工艺层次中。
3.如权利要求2所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：步骤二中，截取区域大于所述待评价结构区域。
4.如权利要求3所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：各所述截取区域的边缘和对应的所述待评价结构区域的边缘间距为1微米以上。
5.如权利要求2所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：步骤三中，在进行所述仿真之前，还包括提取所述版图对应的产品的配置信息和工艺条件信息；
6.如权利要求5所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：步骤三之前，还包括：
7.如权利要求6所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：所述配置模板库中还包括各所述opc工具软件对应的仿真沙盒；
8.如权利要求1所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：步骤四中，将各所述opc工具软件对应的所述仿真图形都贴在当前界面实现叠加。
9.如权利要求1所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：步骤五中，所述网格划分形成的各所述格点都为边长相同的正方形。
10.如权利要求9所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：各所述格点的边长为小于等于1nm。
11.如权利要求9所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：各所述opc工具软件对应的所述仿真图形对应的所述格点信息的设置包括：
12.如权利要求11所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：步骤五中，根据位置区域设置所述权重，相同权重区域中的各所述格点对应的所述权重相同。
13.如权利要求12所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：步骤五中，所述矩阵向量化处理包括：
14.如权利要求13所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：所述相似度评价函数采用公式表示为：
15.如权利要求1至14中任一权项所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：步骤六中，所述opc工具软件大于3件时，对各所述opc工具软件都进行两两比较并形成对应的所述相似度评价值。
16.如权利要求15所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于：还包括：
17.如权利要求16所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于，还包括：
18.如权利要求17所述的opc不同配置模型的质量评价方法，其特征在于，还包括：
