弹性波装置的制作方法

    专利查询2025-07-10  26


    本发明涉及弹性波装置。


    背景技术:

    1、以往,弹性波装置被广泛地用于便携式电话机的滤波器等。近年来,提出了如下述的专利文献1所记载的那样的、使用了厚度剪切模式的体波的弹性波装置。在该弹性波装置中,在支承体上设置有压电层。在压电层上设置有成对的电极。成对的电极在压电层上相互对置,并且与相互不同的电位连接。通过在上述电极间施加交流电压,来激励厚度剪切模式的体波。

    2、在先技术文献

    3、专利文献

    4、专利文献1:美国专利第10491192号说明书


    技术实现思路

    1、发明要解决的问题

    2、所谓弹性波装置,例如是指弹性波谐振器,例如用于梯型滤波器。为了在梯型滤波器中得到良好的特性,需要在多个弹性波谐振器间增大静电电容比。在该情况下,需要增大梯型滤波器中的一部分的弹性波谐振器的静电电容。

    3、为了增大弹性波谐振器的静电电容,例如,需要使弹性波谐振器变得大型。因此,在将该弹性波谐振器用于梯型滤波器的情况下,梯型滤波器易于变得大型。特别是,具有静电电容小的利用厚度剪切模式的体波的弹性波谐振器的梯型滤波器会大型化。

    4、本发明的目的在于,提供在使用于滤波器装置的情况下即使不进行大型化也能够得到适宜的滤波器波形的弹性波装置。

    5、用于解决问题的技术方案

    6、本发明涉及的弹性波装置具备:压电层,具有相互对置的第1主面以及第2主面;至少1根第1电极指,设置在所述压电层的所述第1主面,与输入电位连接;至少1根第2电极指,设置在所述压电层的所述第1主面,与输出电位连接;和至少1根第3电极指,设置在所述压电层的所述第1主面以及所述第2主面中的至少一者,与基准电位连接,在从与所述第1电极指以及所述第2电极指延伸的方向正交的电极指正交方向观察时,所述第1电极指和所述第2电极指对置,在所述电极指正交方向上,相邻的所述第1电极指和所述第2电极指相互重叠的区域为对置区域,在从所述压电层的所述第1主面和所述第2主面相互对置的主面对置方向观察时,所述第3电极指与至少1个所述对置区域的至少一部分重叠。

    7、发明效果

    8、根据本发明,能够提供在使用于滤波器装置的情况下即使不进行大型化也能够得到适宜的滤波器波形的弹性波装置。



    技术特征:

    1.一种弹性波装置,具备:

    2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,

    3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置,其中,

    4.根据权利要求1~3中的任一项所述的弹性波装置,其中,

    5.根据权利要求4所述的弹性波装置,其中,

    6.根据权利要求5所述的弹性波装置,其中,

    7.根据权利要求1~6中的任一项所述的弹性波装置,其中,

    8.根据权利要求7所述的弹性波装置,其中,

    9.根据权利要求7或8所述的弹性波装置,其中,

    10.根据权利要求9所述的弹性波装置,其中,

    11.根据权利要求10所述的弹性波装置,其中,

    12.根据权利要求1~11中的任一项所述的弹性波装置,其中,

    13.根据权利要求1~11中的任一项所述的弹性波装置,其中,

    14.根据权利要求13所述的弹性波装置,其中,

    15.根据权利要求12~14中的任一项所述的弹性波装置,其中,

    16.根据权利要求1~15中的任一项所述的弹性波装置,其中,

    17.根据权利要求12~15中的任一项所述的弹性波装置,其中,

    18.一种弹性波滤波器装置,具有至少1个权利要求1~17中的任一项所述的弹性波装置。


    技术总结
    提供在使用于滤波器装置的情况下即使不进行大型化也能够得到适宜的滤波器波形的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置具备:具有相互对置的第1主面(14a)以及第2主面的压电层(14);设置在压电层(14)的第1主面(14a)且与输入电位连接的至少1根第1电极指(25);设置在压电层(14)的第1主面(14a)且与输出电位连接的至少1根第2电极指(26);和设置在压电层(14)的第1主面(14a)以及第2主面中的至少一者且与基准电位连接的至少1根第3电极指(27)。在从与第1电极指(25)以及第2电极指(26)延伸的方向正交的电极指正交方向观察时,第1电极指(25)和第2电极指(26)对置。在电极指正交方向上,相邻的第1电极指(25)和第2电极指(26)相互重叠的区域为对置区域(F)。在从压电层(14)的第1主面(14a)和第2主面相互对置的主面对置方向观察时,第3电极指(27)与至少1个对置区域(F)的至少一部分重叠。

    技术研发人员:永友翔
    受保护的技术使用者:株式会社村田制作所
    技术研发日:
    技术公布日:2024/11/26
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