本申请属于显示,尤其涉及一种阵列基板及其制备方法、显示面板。
背景技术:
1、随着显示技术的发展,对显示面板的可靠度要求越来越高。显示面板中包括阵列基板,阵列基板中包括显示区和非显示区,非显示区内包括绑定区,绑定区用于实现驱动芯片与阵列基板中的驱动电路的连接。
2、为了简化制程,降低成本,显示面板需要删减一些光刻制程,从而达到成本预期,如阵列基板上的平坦化层,平坦化层用于平坦制备薄膜晶体管或者信号走线后,由于相关膜层图形化而造成的阵列基板表面起伏,当在阵列基板上涂布平坦化层后,若平坦化层之后制备的电性膜层需要与平坦化层之前制备的电性膜层进行电连接,那么平坦化层需要开口,则此开口可以跟着平坦化层之后制备的膜层在同一制程中实现,即开口同时贯穿平坦化层和此膜层之间的膜层。
3、在绑定区,驱动芯片上的引脚与绑定端子进行电连接,需要对绑定端子上的膜层进行开口,绑定端子上的部分膜层是采用一道光刻工艺进行开口,因此此工艺形成的开口存在侧壁较厚或完全暴露绑定端子的问题,从而严重影响驱动芯片与阵列基板中的驱动电路的绑定可靠度,影响了显示面板的性能。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种阵列基板及其制备方法、显示面板,可以提升绑定区的绑定可靠度。
2、本申请实施例第一方面的实施例提供了一种阵列基板,包括显示区和绑定区,所述阵列基板包括:
3、衬底;
4、第一金属层,形成于所述衬底上,包括位于所述显示区的第一部分和位于所述绑定区的第二部分;
5、第一绝缘层,形成于所述第一金属层背离所述衬底的一侧,包括用于暴露所述第二部分的第一开口;
6、第一电极层,形成于所述第一绝缘层背离所述衬底的一侧,包括第二开口,所述第二开口、所述第一开口在所述衬底上的正投影至少部分交叠;
7、第二绝缘层,位于所述显示区,且形成于所述第一电极层背离所述衬底的一侧
8、本申请第二方面的实施例还提供了一种显示面板,包括本申请第一方面提供的任意一种阵列基板。
9、本申请提供的阵列基板中,包括衬底以及层叠设置于衬底上的第一金属层、第一绝缘层、第一电极层和第二绝缘层。第一金属层包括位于显示区的第一部分以及位于绑定区的第二部分,第二部分即为绑定端子,用以实现显示面板中的驱动芯片与阵列基板的电路连接。位于第一金属层背离衬底一侧的第一绝缘层包括用于暴露第二部分的第一开口,以便于实现第二部分与驱动芯片的电连接。第一绝缘层背离衬底的一侧形成有图案化的第一电极层,第一电极层包括第二开口,第二开口、第一开口在衬底上的正投影至少部分交叠,形成用于暴露第二部分的总开口。在第一电极层背离衬底的一侧形成第二绝缘层后,可对第二绝缘层位于绑定区的部分去除,避免由于第二绝缘层位于绑定区而使得总开口的侧壁厚度增加,此时,第一电极层位于绑定区的部分可作为刻蚀阻挡层,使得第一开口的形成与第二绝缘层位于绑定区的部分的去除可采用一次工艺,节省了制备工艺,同时由于刻蚀阻挡层(第一电极层)的存在,可防止在去除第二绝缘层时损伤第一绝缘层中作为第一开口侧壁的部分。本申请提供的阵列基板中,用于暴露第二部分的总开口的侧壁厚度较薄,从而使得显示面板中的驱动芯片与阵列基板的电路通过导电胶连接时,可更好的挤压导电胶,使得驱动芯片与阵列基板的电路连接更为稳定,可靠度得以提高。
1.一种阵列基板,其特征在于,包括显示区和绑定区,所述阵列基板包括:
2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,包括第二绝缘层,所述第二绝缘层位于所述显示区,且形成于所述第一电极层背离所述衬底一侧,所述第二绝缘层在所述衬底上的正投影与所述第二部分在所述衬底上的正投影不交叠。
3.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述第一绝缘层为有机材料。
4.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述第一绝缘层、所述第一电极层在所述衬底上的正投影均覆盖所述第二部分在所述衬底上的正投影的边缘。
5.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,还包括图案化的第二电极层,所述第二电极层包括保护作用部,所述保护作用部位于所述绑定区,且所述保护作用部与所述第二部分接触。
6.根据权利要求5所述的阵列基板,其特征在于,相邻所述保护作用部之间通过隔断间隙绝缘,所述隔断间隙位于相邻所述第二部分之间,所述隔断间隙贯穿所述保护作用部以及所述第一电极层,且所述隔断间隙在所述衬底上的正投影位于所述第一绝缘层在所述衬底上的正投影内。
7.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板还包括位于所述第一金属层与所述衬底之间且沿远离所述衬底方向层叠设置的第二金属层和层间介质层,在所述绑定区内,所述第一金属层、所述第二金属层在所述衬底上的正投影至少部分交叠。
8.根据权利要求7所述的阵列基板,其特征在于,所述层间介质层包括第一开孔,所述第一开孔在所述衬底上的正投影位于相邻所述第一开口在所述衬底上的正投影之间。
9.根据权利要求8所述的阵列基板,其特征在于,所述第一开孔为由所述层间介质层背离所述衬底的一侧表面向所述衬底一侧凹陷的凹槽,或者,所述第一开孔为贯穿所述层间介质层的通孔。
10.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板还包括位于所述衬底上的缓冲层,所述缓冲层包括第二开孔,所述第二开孔在所述衬底上的正投影位于相邻所述第一开口在所述衬底上的正投影之间。
11.一种阵列基板的制备方法,其特征在于,包括:
12.根据权利要求11所述的制备方法,其特征在于,在位于所述绑定区中所述第一金属层和所述第一电极层背离所述衬底的一侧形成第二电极层,在所述绑定区内所述第二电极层位于相邻所述第一开口之间的部分形成贯穿所述第二电极层以及所述第一电极层的隔断间隙。
13.一种显示面板,其特征在于,包括如权利要求1-10任一项所述的阵列基板。