本申请涉及电学调阻领域，特别是涉及电阻调阻方法、系统和计算机可读存储介质。
背景技术：
1、薄膜电阻广泛应用于集成电路、半导体器件、mems(microelectro mechanicalsystems，微机电系统)传感器及光电子芯片领域，具有性能稳定、阻值范围宽等优点。在诸如放大电路精密电阻、电桥桥臂电阻、光子计数淬灭电阻的应用实例中，要求所制备的薄膜电阻具有较高的晶圆片内和片间一致性。目前，芯片制造商主要基于化学气相淀积法制备薄膜。由于cvd(chemical vapor deposition，化学气相淀积法)中，特别是低压化学气相淀积法中，薄膜的沉积速率与沉积温度强相关，样品表面的温度梯度或沉积过程中反应气体流速的变化，都会引起沉积速率空间上的差异，从而引起电阻值一致性问题，即存在薄膜电阻偏差。由此，为了满足集成电路、传感器芯片对薄膜电阻阻值高精度的要求，就须要对所制备的薄膜电阻进行后期调阻。
2、传统的调阻方式都属于封装前工艺，即在芯片封装前甚至晶圆出厂前，对薄膜电阻的阻值进行专门的调节和修正。常见的方法有：电阻阵列调阻、激光切割调阻和激光连接调阻等。这些调阻方式都需要在晶圆产线上利用专门的设备完成，制造成本高。并且，为了实现上述传统的调阻方式，还需要在电阻上预制冗余结构，占用了芯片面积。激光切割调阻方法和激光连接调阻方法中，激光烧蚀产生的热影响区还会影响薄膜电阻的可靠性。
3、针对相关技术中存在的电阻调阻方法复杂、适用性差的问题，目前还没有提出有效的解决方案。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够解决电阻调阻方法复杂、适用性差的问题的电阻调阻方法、系统和计算机可读存储介质。
2、第一个方面，在本实施例中提供了一种电阻调阻方法，所述方法包括：
3、根据输入至目标电阻的电信号，获取所述目标电阻在当前时刻的第一阻值；
4、获取所述第一阻值与预设阻值的比较结果；
5、根据所述比较结果，调整下一时刻的电信号的参数；
6、重复上述步骤，直至所述目标电阻的阻值与预设阻值的差值小于等于预设阈值。
7、在其中的一些实施例中，所述根据所述比较结果，调整下一时刻电信号的参数，包括：
8、调节所述电信号幅值的变化量，和/或调整所述电信号的持续时间。
9、在其中的一些实施例中，在获取所述第一阻值与预设阻值的比较结果之后，所述方法还包括：
10、根据所述比较结果，获取所述目标电阻的电学参数，所述电学参数至少包括阈值电流密度；
11、根据所述电学参数和所述比较结果，调整下一时刻的电信号的参数。
12、在其中的一些实施例中，所述根据所述电学参数，调整下一时刻的电信号的参数包括：
13、调整下一时刻的电信号的参数，以使得所述电信号输入所述目标电阻时，通过所述目标电阻的电流密度不小于所述阈值电流密度。
14、在其中的一些实施例中，所述根据所述比较结果，调整下一时刻电信号的参数，包括：
15、若所述第一阻值大于所述预设阻值，并且所述第一阻值与所述预设阻值的差值大于所述预设阈值，则增加下一时刻的电信号的幅值。
16、在其中的一些实施例中，在增加所述电信号的幅值之后，所述方法还包括：
17、根据输入至目标电阻的增加幅值后的电信号，获取所述目标电阻的第二阻值；
18、若所述第二阻值小于所述预设阻值，并且所述第二阻值与所述预设阻值的差值大于所述预设阈值，则减小下一时刻的电信号的幅值。
19、在其中的一些实施例中，在根据输入至目标电阻的电信号，获取所述目标电阻在当前时刻的第一阻值之前，所述方法还包括：
20、从所述目标电阻的第一端和第二端输入所述电信号。
21、在其中的一些实施例中，从所述目标电阻的第一端和第二端输入所述电信号，包括：
22、根据所述电信号的信号源的载荷能力，将所述目标电阻分为第一电阻段和第二电阻段；
23、将所述第二电阻段的两端分别作为所述目标电阻的第一端和第二端；
24、基于所述目标电阻的第一端和第二端输入所述电信号。
25、第二个方面，在本实施例中提供了一种电阻调阻系统，所述系统包括：电流源、电阻测量设备和控制设备，所述控制设备分别与所述电流源、所述电阻测量设备连接；其中，
26、所述电流源，用于输入电信号至目标电阻；
27、所述电阻测量设备，用于检测所述目标电阻的阻值；
28、所述控制设备，用于实现上述第一个方面所述的电阻调阻方法。
29、第三个方面，在本实施例中提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述第一个方面所述的电阻调阻方法。
30、上述电阻调阻方法、系统和计算机可读存储介质，通过调整输入至目标电阻的电信号的参数，来调整电阻阻值，使得目标电阻阻值与预设阻值的差值小于等于预设阈值。相比需要晶圆产线上利用专门的设备完成电阻调阻的传统方法，向目标电阻施加电流即可实现电阻的调阻，方法实现简单且适用性好。
1.一种电阻调阻方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述比较结果，调整下一时刻电信号的参数，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在获取所述第一阻值与预设阻值的比较结果之后，所述方法还包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述电学参数，调整下一时刻的电信号的参数包括：
5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，所述根据所述比较结果，调整下一时刻电信号的参数，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在增加所述电信号的幅值之后，所述方法还包括：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据输入至目标电阻的电信号，获取所述目标电阻在当前时刻的第一阻值之前，所述方法还包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，从所述目标电阻的第一端和第二端输入所述电信号，包括：
9.一种电阻调阻系统，其特征在于，所述系统包括：电流源、电阻测量设备和控制设备，所述控制设备分别与所述电流源、所述电阻测量设备连接；其中，
10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至8中任一项所述的方法的步骤。
