背景技术：
0、发明背景
1、可以通过电子束系统用在一个或多个区域上形成斑的电子束扫描样品的一个或多个区域来评估样品。
2、斑的形状可能受到电子束系统的各种参数的影响。
3、越来越需要提供一种用于重建电子束斑的准确方法。
技术实现思路
1、可以提供一种电子束斑形状重建单元，包括处理电路和存储器单元。处理电路被配置为通过以下操作重建电子束斑的形状：(i)获得样品的圆形目标的多组图像，其中多组图像中的不同组图像与不同的极角相关联；(ii)处理多组图像中的至少两组图像以确定第一轴边缘宽度信息和第二轴边缘宽度信息；以及(iii)基于第一轴边缘宽度信息和第二轴边缘宽度信息来重建电子束斑形状。
2、可以提供一种电子束斑形状重建的方法，该方法可以包括：(i)获得样品的圆形目标的多组图像，其中多组图像中的不同组图像与不同的极角相关联；(ii)通过电子束斑形状重建单元处理多组图像中的至少两组图像以确定第一轴边缘宽度信息和第二轴边缘宽度信息；以及(iii)基于第一轴边缘宽度信息和第二轴边缘宽度信息来重建电子束斑形状。
3、可以提供一种用于电子束斑形状重建的非暂态计算机可读介质(例如，计算机可读存储器，诸如随机存取存储器或任何其他适当的计算机可读存储器单元)，所述非暂态计算机可读介质存储指令，所述指令一旦被处理电路执行，就使得该处理电路进行：(i)获得样品的圆形目标的多组图像，其中多组图像中的不同组图像与不同的极角相关联；(ii)处理多组图像中的至少两组图像以确定第一轴边缘宽度信息和第二轴边缘宽度信息；以及(iii)基于第一轴边缘宽度信息和第二轴边缘宽度信息来重建电子束斑形状。
1.一种电子束斑形状重建单元，包括：
2.如权利要求1所述的电子束斑形状重建单元，其中所述多组图像包括至少一个虚拟旋转图像组，所述至少一个虚拟旋转图像组是通过对多个图像中的被捕获图像组中的图像进行虚拟极角旋转而生成的。
3.如权利要求2所述的电子束斑形状重建单元，其中所述被捕获图像组是通过用在所述样品上形成所述电子束斑的电子束照射样品来获得的。
4.如权利要求3所述的电子束斑形状重建单元，其中所述处理电路被配置为通过以下操作生成所述多组图像：(i)接收所述被捕获图像组，以及(ii)对所述被捕获图像组进行虚拟极角旋转以提供多个虚拟旋转图像组。
5.如权利要求1所述的电子束斑形状重建单元，其中，所述多组图像是通过执行多次照射迭代而获得的，所述多次照射迭代彼此之间的区别在于在所述样品上形成所述电子束斑的所述电子束的照射极角。
6.如权利要求1至5中任一项所述的电子束斑形状重建单元，其中所述处理电路被配置为通过寻找与所述圆形目标的边缘相关的第一轴感兴趣区域以及寻找与所述圆形目标的所述边缘相关的第二轴感兴趣区域来执行对所述多组图像中的至少两组图像的所述处理。
7.如权利要求6所述的电子束斑形状重建单元，其中所述处理电路被配置为通过基于在所述第一轴感兴趣区域内的所述圆形目标的边缘的宽度计算所述第一轴边缘宽度信息来执行对所述多组图像中的所述至少两组图像的所述处理。
8.如权利要求7所述的电子束斑形状重建单元，其中所述处理电路被配置为通过忽略所述多组图像中的所述至少两组图像的所述第一轴感兴趣区域内的边缘异常值的宽度来执行对所述第一轴边缘宽度信息的所述计算。
9.如权利要求7所述的电子束斑形状重建单元，其中所述处理电路被配置为通过计算所述多组图像中的所述至少两组图像的所述第一轴感兴趣区域内的所述圆形目标的边缘的宽度的直方图来执行对所述第一轴边缘宽度信息的所述计算。
10.如权利要求9所述的电子束斑形状重建单元，其中所述处理电路被配置为通过寻找所述直方图的峰来执行对所述第一轴边缘宽度信息的所述计算。
11.如权利要求6所述的电子束斑形状重建单元，其中所述处理电路被配置为通过计算第一轴导数图像来寻找与所述圆形目标的边缘相关的所述第一轴感兴趣区域。
12.一种电子束斑形状重建的方法，所述方法包括：
13.一种用于电子束斑形状重建的非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储指令，所述指令一旦被电子束斑形状重建单元执行就使得所述电子束斑形状重建单元进行：
14.如权利要求13所述的非暂态计算机可读介质，其中所述多组图像包括通过对所述多个图像中的被捕获图像组中的图像进行虚拟极角旋转而生成的至少一个虚拟旋转图像组，其中所述被捕获图像组是通过用在所述样品上形成所述电子束斑的电子束照射样品来获得的。
15.如权利要求14所述的非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储指令以用于通过以下操作生成所述多组图像：(i)接收所述被捕获图像组，以及(ii)对所述被捕获图像组进行数字极角旋转以提供多个虚拟旋转图像组。
16.如权利要求13至15中任一项所述的非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储指令以用于通过执行多次照射迭代来获得所述多组图像，所述多次照射迭代彼此之间的区别在于在所述样品上形成所述电子束斑的所述电子束的照射极角。
17.如权利要求13至15中任一项所述的非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储指令以用于寻找与所述圆形目标的边缘相关的第一轴感兴趣区域以及与所述圆形目标的所述边缘相关的第二轴感兴趣区域。
18.如权利要求17所述的非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储指令以用于基于所述第一轴感兴趣区域内的所述圆形目标的边缘的宽度来计算所述第一轴边缘宽度信息。
19.如权利要求18所述的非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储指令以用于计算所述多组图像中的所述至少两组图像的所述第一轴感兴趣区域内的所述圆形目标的边缘的宽度的直方图。
20.如权利要求19所述的非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储指令以用于寻找所述直方图的峰。
