本公开涉及基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法。
背景技术：
1、在专利文献1中公开了一种基板搬运装置，其在搬运基板时，能够对基板以矫正后的状态载置于臂上的情况进行检测。
2、专利文献1：日本特开2014-130899号公报
技术实现思路
1、本公开提供一种对搬运作业的稳定化有用的基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法。
2、本公开的一个方面的基板搬运机器人具备支承基板的手部和使手部动作的臂。手部具有：吸附部，其通过吸附来保持基板的背面，并能够以上端的高度位置变低的方式伸缩；摩擦保持部，其在支承着基板的吸附部收缩后的状态下，通过摩擦来保持背面；以及非接触保持部，其在吸附部以及摩擦保持部保持着背面的状态下，以非接触状态保持背面。
3、本公开的一个方面的基板搬运系统具备：基板搬运机器人，其具有手部，通过手部支承并搬运基板；盒，由基板搬运机器人搬运前或搬运后的基板配置于所述盒；以及搬运控制部，其以在盒和与盒分离的规定位置之间搬运基板的方式控制基板搬运机器人。手部包括：吸附部，其通过吸附来保持基板的背面，并能够以上端的高度位置变低的方式伸缩；摩擦保持部，其在支承着基板的吸附部收缩后的状态下，通过摩擦来保持背面；以及非接触保持部，其在吸附部和摩擦保持部保持着背面的状态下，以非接触状态保持背面。
4、本公开的一个方面的基板搬运方法是通过具有支承基板的手部的基板搬运机器人来搬运基板的方法。手部包括：吸附部，其通过吸附来保持基板的背面，并能够以上端的高度位置变低的方式伸缩；摩擦保持部，其在支承着基板的吸附部收缩后的状态下，通过摩擦来保持背面；以及非接触保持部，其在吸附部和摩擦保持部保持着背面的状态下，以非接触状态保持背面。上述基板搬运方法包括：以在吸附部、摩擦保持部及非接触保持部分别保持着背面的状态下搬运基板的方式控制基板搬运机器人。
5、根据本公开，提供对搬运作业的稳定化有用的基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法。
1.一种基板搬运机器人，其具备：
2.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其中，
3.根据权利要求2所述的基板搬运机器人，其中，
4.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其中，
5.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其中，
6.根据权利要求5所述的基板搬运机器人，其中，
7.根据权利要求6所述的基板搬运机器人，其中，
8.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其中，
9.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其中，
10.根据权利要求9所述的基板搬运机器人，其中，
11.一种基板搬运系统，其具备：
12.根据权利要求11所述的基板搬运系统，其中，
13.根据权利要求12所述的基板搬运系统，其中，
14.根据权利要求12所述的基板搬运系统，其中，
15.根据权利要求14所述的基板搬运系统，其中，
16.根据权利要求12所述的基板搬运系统，其中，
17.根据权利要求16所述的基板搬运系统，其中，
18.根据权利要求16所述的基板搬运系统，其中，
19.根据权利要求11所述的基板搬运系统，其中，
20.根据权利要求11所述的基板搬运系统，其中，
21.一种基板搬运系统，其具备：
22.一种基板搬运方法，其通过具有支承基板的手部的基板搬运机器人来搬运所述基板，其中，
