本发明的一个方式涉及一种显示装置。本发明的一个方式涉及一种显示装置的制造方法。注意,本发明的一个方式不局限于上述。作为本说明书等所公开的本发明的一个方式的的例子,可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置、输入输出装置、这些装置的驱动方法或这些装置的制造方法。半导体装置是指能够通过利用半导体特性而工作的所有装置。
背景技术:
1、近年来,显示器面板被要求高清晰化。作为被要求高清晰的显示器面板的设备,例如有智能手机、平板终端、笔记本型计算机等。此外,电视装置、显示器装置等的固定式显示器装置也随着高分辨率化被要求高清晰化。并且,作为被要求最高清晰度的设备,例如有面向虚拟现实(vr:virtual reality)或增强现实(ar:augmented reality)的设备。
2、另外,作为可以应用于显示器面板的显示装置,典型地可以举出液晶显示装置、具有有机el(electro luminescence:电致发光)元件或发光二极管(led:light emittingdiode)等发光元件的发光装置、以电泳方式等进行显示的电子纸等。
3、例如,有机el元件的基本结构是在一对电极之间夹有包含发光有机化合物的层的结构。通过对该元件施加电压,可以得到来自发光有机化合物的发光。使用上述有机el元件的显示装置不需要液晶显示装置等所需的背光源,由此可以实现薄型、轻量、高对比度且低功耗的显示装置。例如,专利文献1公开了使用有机el元件的显示装置的一个例子。
4、[先行技术文献]
5、[专利文献]
6、[专利文献1]日本专利申请公开第2002-324673号公报
技术实现思路
1、发明所要解决的技术问题
2、本发明的一个方式的目的之一是提供一种容易实现高清晰化的显示装置。此外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种显示品质高的显示装置。此外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种对比度高的显示装置。此外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种颜色再现性高的显示装置。此外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种开口率高的显示装置。此外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置。
3、本发明的一个方式的目的之一是提供一种具有新颖结构的显示装置或显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高成品率地制造上述显示装置的方法。本发明的一个方式的目的之一是至少改善现有技术的问题中的至少一个。
4、注意,这些目的的记载并不妨碍其他目的的存在。注意,本发明的一个方式并不需要实现所有上述目的。注意,可以从说明书、附图、权利要求书等的记载抽取上述以外的目的。
5、解决技术问题的手段
6、本发明的一个方式是一种显示装置的制造方法,包括如下步骤。即,形成第一像素电极及第二像素电极,形成覆盖第一像素电极的端部及第二像素电极的端部且重叠于夹在第一像素电极与第二像素电极间的区域的第一绝缘层,在第一像素电极、第二像素电极及第一绝缘层上形成第一膜,在第一膜上形成第一牺牲膜,去除第一膜和第一牺牲膜各自的一部分来形成与第一绝缘层的一部分及第一像素电极重叠的第一层及第一牺牲层,并使第一绝缘层的其他一部分及第二像素电极露出,在第一牺牲层、第二像素电极及第一绝缘层上形成第二膜,在第二膜上形成第二牺牲膜,去除第二膜和第二牺牲膜各自的一部分来形成与第一绝缘层的其他一部分及第二像素电极重叠的第二层及第二牺牲层,并使第一牺牲层露出,形成覆盖第一牺牲层、第二牺牲层及第一绝缘层的第二绝缘层,在第二绝缘层上形成与第一绝缘层重叠的树脂层,将树脂层用作掩模通过蚀刻去除第一牺牲层、第二牺牲层及第二绝缘层的一部分,使第一膜及第二膜露出,以覆盖第一膜、第二膜及树脂层的方式形成公共电极。并且,第一膜包含发射第一光的第一发光材料,第二膜包含发射与第一光不同颜色的第二光的第二发光材料。
7、另外,本发明的另一个方式是一种显示装置的制造方法,包括如下步骤。即,形成第一像素电极及第二像素电极,形成覆盖第一像素电极的端部及第二像素电极的端部且重叠于夹在第一像素电极与第二像素电极间的区域的第一绝缘层,在第一像素电极、第二像素电极及第一绝缘层上形成第一膜,在第一膜上形成第一牺牲膜,去除第一膜和第一牺牲膜各自的一部分来形成与第一绝缘层的一部分及第一像素电极重叠的第一层及第一牺牲层,并使第一绝缘层的其他一部分及第二像素电极露出,在第一牺牲层、第二像素电极及第一绝缘层上形成第二膜,在第二膜上形成第二牺牲膜,去除第二膜和第二牺牲膜各自的一部分来形成与第一绝缘层的其他一部分及第二像素电极重叠的第二层及第二牺牲层,并使第一牺牲层露出,形成覆盖第一牺牲层、第二牺牲层及第一绝缘层的第二绝缘层,在第二绝缘层上形成与第一绝缘层重叠的树脂层,将树脂层用作掩模通过蚀刻去除第二绝缘层的一部分,然后使第一牺牲层及第二牺牲层薄膜化,进行加热处理,将树脂层用作掩模通过蚀刻去除第一牺牲层及第二牺牲层的一部分,使第一膜及第二膜露出,以覆盖第一膜、第二膜及树脂层的方式形成公共电极。并且,第一膜包含发射第一光的第一发光材料,第二膜包含发射与第一光不同颜色的第二光的第二发光材料。
8、另外,在上述制造方法中,第一绝缘层优选使用感光有机树脂形成。此时,第一绝缘层优选包含选自丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、环氧树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺酰胺树脂、硅氧烷树脂、苯并环丁烯类树脂、酚醛树脂及上述树脂的前体中的一个以上。
9、另外,在上述制造方法中,第一绝缘层优选使用无机绝缘材料形成。此时,第一绝缘层优选包含选自氧化硅、氧氮化硅、氮氧化硅、氮化硅、氧化铝、氧氮化铝及氧化铪中的一个以上。
10、另外,在上述制造方法中,加热处理优选在50℃以上且200℃以下的温度下进行。
11、另外,在上述制造方法中,优选通过加热处理使树脂层变形。
12、另外,在上述任一制造方法中,第一牺牲膜、第二牺牲膜及第二绝缘层的蚀刻都优选通过湿蚀刻进行。
13、另外,在上述任一制造方法中,第一牺牲膜、第二牺牲膜及第二绝缘层优选通过原子层沉积法形成。
14、另外,在上述任一制造方法中,第一牺牲膜、第二牺牲膜及第二绝缘层都优选包含氧化铝。
15、另外,在上述任一制造方法中,优选的是,第一光为蓝色,第二光为绿色或红色。
16、发明效果
17、根据本发明的一个方式,可以提供一种容易实现高清晰化的显示装置。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种显示品质高的显示装置。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种对比度高的显示装置。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种颜色再现性高的显示装置。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种开口率高的显示装置。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种可靠性高的显示装置。
18、此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种具有新颖结构的显示装置或显示装置的制造方法。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种以高成品率制造上述显示装置的方法。此外,根据本发明的一个方式,可以至少改善现有技术的问题中的至少一个。
19、注意,这些效果的记载并不妨碍其他效果的存在。注意,本发明的一个方式并不需要具有所有上述效果。注意,可以从说明书、附图、权利要求书等的记载抽取上述以外的效果。
1.一种显示装置的制造方法,包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法,
3.根据权利要求2所述的显示装置的制造方法,
4.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法,
5.根据权利要求4所述的显示装置的制造方法,
6.一种显示装置的制造方法,包括如下步骤:
7.根据权利要求6所述的显示装置的制造方法,
8.根据权利要求7所述的显示装置的制造方法,
9.根据权利要求6所述的显示装置的制造方法,
10.根据权利要求9所述的显示装置的制造方法,
11.根据权利要求6所述的显示装置的制造方法,
12.根据权利要求6所述的显示装置的制造方法,
13.根据权利要求1至12中任一项所述的显示装置的制造方法,
14.根据权利要求1至12中任一项所述的显示装置的制造方法,
15.根据权利要求1至12中任一项所述的显示装置的制造方法,
16.根据权利要求1至12中任一项所述的显示装置的制造方法,
