本发明涉及划片机设备，具体为一种针对划片设备的气浮结构。
背景技术：
1、划片机是综合了水电气、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备，广泛用于半导体封测、emc导线架、硅集成电路、发光二极管、碳化硅陶瓷、太阳能电池片、金属板、pcb板等材料的划切加工。
2、现有的划片机设备运动轴采用传统的滑块与导轨机械接触式，运行精度及平稳性较低，使得整个机械系统的稳定性与可靠性较差。针对半导体领域划片设备工作时运动精度要求极高的技术问题，如何提供一种针对划片设备的气浮结构，成为了本领域技术人员研究的重点。
技术实现思路
1、本发明解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种针对划片设备的气浮结构，划片机设备运动轴使用气浮结构来保证高精度且平稳的运动，提高了整个机械系统的稳定性与可靠性。
2、为达上述目的，本发明提供了一种针对划片设备的气浮结构，包括：切割台和砂轮运动台；所述切割台上方设有砂轮运动台，所述砂轮运动台上安装有砂轮运动台y轴直线运动机构，砂轮运动台y轴直线运动机构上安装有砂轮运动台z轴直线运动机构；所述切割台包括切割台底座和x轴气浮直线运动机构，所述x轴气浮直线运动机构设置于所述切割台底座顶部。
3、进一步地，所述x轴气浮直线运动机构包括切割台导轨、切割台气浮机构、切割台滑块、切割台滑块侧板和切割台电机；所述切割台底座两侧紧固安装两根切割台导轨，所述切割台导轨上方安装切割台滑块，所述切割台滑块下方固连切割台滑块侧板，所述切割台滑块侧板呈l形，所述切割台滑块和切割台滑块侧板与切割台导轨之间设有切割台气浮机构；所述切割台滑块和切割台底座之间安装切割台电机，在切割台电机驱动作用下切割台滑块沿设备的x轴方向移动。
4、进一步地，所述砂轮运动台y轴直线运动机构包括第一立柱和第二立柱，所述第一立柱和第二立柱的顶部之间沿y轴方向设置有运动台导轨，所述运动台导轨外部套设有y轴运动台滑块；所述y轴运动台滑块与所述运动台导轨的之间设有运动台气浮机构；所述第一立柱和第二立柱上方通过横梁安装运动台电机，所述运动台电机定子固定在横梁上，运动台电机动子与y轴运动台滑块固连。
5、进一步地，所述y轴运动台滑块包括第一运动台滑块、第二运动台滑块、第三运动台滑块和第四运动台滑块；所述第一运动台滑块、第二运动台滑块、第三运动台滑块和第四运动台滑块首尾相连，呈矩形包围所述运动台导轨。
6、进一步地，所述砂轮运动台z轴直线运动机构包括z轴滑块、z轴气浮机构、导轨上连接板、z轴安装上转接板、z轴导轨、z轴电机、导轨下连接板以及z轴安装下连接板；所述导轨上连接板两端卡接z轴安装上转接板；所述导轨上连接板的上表面与砂轮运动台y轴直线运动机构下方的第四运动台滑块固连；所述导轨上连接板与位于所述导轨上连接板下方的导轨下连接板之间两侧安装有z轴导轨；z轴滑块套设在导轨上连接板、导轨下连接板和z轴导轨连接形成的支撑结构外侧；z轴滑块与z轴导轨之间设有z轴气浮机构；所述z轴安装下连接板安装在所述z轴滑块的下方；所述支撑结构内侧设置有z轴电机，在z轴电机的驱动作用下，z轴滑块沿砂轮运动台z轴直线运动机构的z轴移动。
7、进一步地，所述z轴滑块包括z轴第一滑块、z轴第二滑块、z轴第三滑块和z轴第四滑块；所述z轴第一滑块、z轴第二滑块、z轴第三滑块和z轴第四滑块首尾相连，呈框形包围所述z轴导轨。
8、本发明的有益效果在于：
9、本发明提供了一种针对划片设备的气浮结构，切割台与砂轮运动台采用气浮直线运动结构的组合实现x轴、y轴和z轴的运动控制，气浮直线运动结构相较于现使用丝杆、直线导轨与旋转电机的组合，能够实现高速移动与更加精确的运动控制，避免了容易出现切割效率低下、切割精度不足、切割崩边等问题，实现了设备物料加工效率的增加、物料加工精度的提高。
1.一种针对划片设备的气浮结构，其特征在于，包括：切割台(1)和砂轮运动台；所述切割台(1)上方设有砂轮运动台，所述砂轮运动台上安装有砂轮运动台y轴直线运动机构(2)，砂轮运动台y轴直线运动机构(2)上安装有砂轮运动台z轴直线运动机构(3)；所述切割台(1)包括切割台底座(101)和x轴气浮直线运动机构，所述x轴气浮直线运动机构设置于所述切割台底座(101)顶部。
2.如权利要求1所述的一种针对划片设备的气浮结构，其特征在于，所述x轴气浮直线运动机构包括切割台导轨(103)、切割台气浮机构(104)、切割台滑块(102)、切割台滑块侧板(106)和切割台电机(105)；所述切割台底座(101)两侧紧固安装两根切割台导轨(103)，所述切割台导轨(103)上方安装切割台滑块(102)，所述切割台滑块(102)下方固连切割台滑块侧板(106)，所述切割台滑块侧板(106)呈l形，所述切割台滑块(102)和切割台滑块侧板(106)与切割台导轨(103)之间设有切割台气浮机构(104)；所述切割台滑块(102)和切割台底座(101)之间安装切割台电机(105)，在切割台电机(105)驱动作用下切割台滑块(102)沿设备的x轴方向移动。
3.如权利要求1或2所述的一种针对划片设备的气浮结构，其特征在于，所述砂轮运动台y轴直线运动机构(2)包括第一立柱(201)和第二立柱(209)，所述第一立柱(201)和第二立柱(209)的顶部之间沿y轴方向设置有运动台导轨(203)，所述运动台导轨(203)外部套设有y轴运动台滑块；所述y轴运动台滑块与所述运动台导轨(203)的之间设有运动台气浮机构(207)；所述第一立柱(201)和第二立柱(209)上方通过横梁安装运动台电机(208)，所述运动台电机(208)定子固定在横梁上，运动台电机(208)动子与y轴运动台滑块固连。
4.如权利要求3所述的一种针对划片设备的气浮结构，其特征在于，所述y轴运动台滑块包括第一运动台滑块(204)、第二运动台滑块(205)、第三运动台滑块(206)和第四运动台滑块(210)；所述第一运动台滑块(204)、第二运动台滑块(205)、第三运动台滑块(206)和第四运动台滑块(210)首尾相连，呈矩形包围所述运动台导轨(203)。
5.如权利要求4所述的一种针对划片设备的气浮结构，其特征在于，所述砂轮运动台z轴直线运动机构(3)包括z轴滑块、z轴气浮机构(303)、导轨上连接板(304)、z轴安装上转接板(305)、z轴导轨(308)、z轴电机(309)、导轨下连接板(310)以及z轴安装下连接板(311)；所述导轨上连接板(304)两端卡接z轴安装上转接板(305)；所述导轨上连接板(304)的上表面与砂轮运动台y轴直线运动机构(2)下方的第四运动台滑块(210)固连；所述导轨上连接板(304)与位于所述导轨上连接板(304)下方的导轨下连接板(310)之间两侧安装有z轴导轨(308)；z轴滑块套设在导轨上连接板(304)、导轨下连接板(310)和z轴导轨(308)连接形成的支撑结构外侧；z轴滑块与z轴导轨(308)之间设有z轴气浮机构(303)；所述z轴安装下连接板(311)安装在所述z轴滑块的下方；所述支撑结构内侧设置有z轴电机(309)，在z轴电机(309)的驱动作用下，z轴滑块沿砂轮运动台z轴直线运动机构(3)的z轴移动。
6.如权利要求5所述的一种针对划片设备的气浮结构，其特征在于，所述z轴滑块包括z轴第一滑块(301)、z轴第二滑块(302)、z轴第三滑块(306)和z轴第四滑块(307)；所述z轴第一滑块(301)、z轴第二滑块(302)、z轴第三滑块(306)和z轴第四滑块(307)首尾相连，呈框形包围所述z轴导轨(308)。
