本发明涉及半导体，特别是涉及一种检测装置以及位置精度的检测方法。
背景技术：
1、在半导体领域中，通常需要在模块产品的基板上焊接探针，在两者形成稳定连接后，便于和其他部件对接以形成电连接，稳定传递电信号。
2、在上述基板与探针连接的过程中，需要确保两者的位置精度满足规范要求，也就是探针在基板上的位置需要具有精准性，从而在与外部设备对接后进行电信号的精确传递，降低电流导通的误差。
3、目前，当上述基板与探针完成连接之后，往往需要利用三维测量仪对成型的结构件进行位置精度的测量，该过程虽然能够得到检测结果，但是整体下来耗时长，检测效率较低，需要较高的人工成本。
技术实现思路
1、本发明实施例提供一种检测装置以及位置精度的检测方法，能够减少检测时长，提高检测效率，降低人工成本。
2、一方面，根据本发明实施例提出了一种检测装置，用于检测连接工装中的多个凸出部在基板上的位置精度，所述凸出部在所述基板上沿第一方向凸出设置，所述检测装置包括承载件和检测件，承载件被配置为承载所述连接工装并使所述凸出部位于所述基板背离所述承载件的一侧；检测件具有多个相互间隔的检测孔，所述检测件能够在所述第一方向上移动，以使所有所述凸出部穿过所述检测孔。
3、根据本发明实施例的一个方面，检测装置包括沿所述第一方向延伸的导向件，所述导向件设置于所述承载件上并沿背离所述承载件的一侧延伸，所述检测件具有与所述检测孔间隔设置的导向孔，所述检测件通过所述导向孔插接于所述导向件中并能够相对于所述导向件在所述第一方向上移动。
4、根据本发明实施例的一个方面，导向件包括分别沿所述第一方向延伸的第一导向部和第二导向部，所述第一导向部连接于所述承载件且所述第二导向部连接于所述第一导向部背离所述承载件的一端，所述第一导向部的径向尺寸大于所述第二导向部的径向尺寸。
5、根据本发明实施例的一个方面，检测件包括第一检测板，所述第一检测板具有第一导向孔和多个相互间隔的第一检测孔，所述第一导向孔的径向尺寸大于等于所述第一导向部的径向尺寸，所述凸出部包括针座，所述第一检测板通过所述第一导向孔插接于所述第一导向部中并能够相对于所述第一导向部在所述第一方向上移动，以使所有所述针座穿过所述第一检测孔。
6、根据本发明实施例的一个方面，检测件包括第二检测板，所述第二检测板具有第二导向孔和多个相互间隔的第二检测孔，所述第二导向孔的径向尺寸大于等于所述第二导向部的径向尺寸且小于所述第一导向部的径向尺寸，所述凸出部包括探针，所述第二检测板通过所述第二导向孔插接于所述第二导向部中并能够相对于所述第二导向部在所述第一方向上移动，以使所有所述探针穿过所述第二检测孔。
7、根据本发明实施例的一个方面，承载件上设置有限位开口，所述限位开口在所述第一方向上开口设置，所述连接工装的所述基板能够放置于所述限位开口中，所述限位开口被配置为限制所述基板的移动。
8、根据本发明实施例的一个方面，限位开口包括圆角部，所述圆角部朝向背离所述限位开口的内部方向凸出设置，所述基板包括矩形板，所述矩形板的顶角能够伸入至所述圆角部中。
9、根据本发明实施例的一个方面，承载件的边缘处设置有开口槽，所述开口槽在所述第一方向上贯穿并朝向所述限位开口的所在侧延伸，所述开口槽在所述第一方向上的正投影与所述限位开口的正投影存在交叠。
10、根据本发明实施例的一个方面，多个所述检测孔沿所述检测件的长度方向和宽度方向呈阵列排布。
11、另一个方面，根据本发明实施例提供一种位置精度的检测方法，包括：
12、提供如上所述的检测装置，将连接工装放置于所述承载件上，所述连接工装的基板位于所述承载件上且凸出部位于所述基板背离所述承载件的一侧并沿第一方向延伸；
13、将所述检测件在所述第一方向上朝向所述凸出部移动，直至所有所述凸出部穿过所述检测孔；
14、当所述检测件能够继续沿所述第一方向移动，证明所述凸出部在所述基板上的位置精度合格；
15、当所述检测件在所述第一方向上受到阻挡且无法继续移动，证明所述凸出部在所述基板上的位置精度不合格。
16、本发明实施例提供一种检测装置以及位置精度的检测方法，通过将检测装置设置为承载件和检测件，利用承载件对连接工装的基板进行承载，将连接工装倒置于承载件后，连接工装上的凸出部沿第一方向凸出设置，通过利用检测件沿第一方向上移动，使得检测件上的检测孔在第一方向上穿过连接工装上的凸出部，从而对凸出部在基板上的位置精度进行了检测，工作人员完成该过程的耗时短，操作简单便捷，节省了检测时长，提高了检测效率，降低了人工检测成本，同时也确保了检测精度，也不会影响工艺进度，具有更好的检测效果。
1.一种检测装置，其特征在于，用于检测连接工装中的多个凸出部在基板上的位置精度，所述凸出部在所述基板上沿第一方向凸出设置，所述检测装置包括：
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括沿所述第一方向延伸的导向件，所述导向件设置于所述承载件上并沿背离所述承载件的一侧延伸，所述检测件具有与所述检测孔间隔设置的导向孔，所述检测件通过所述导向孔插接于所述导向件中并能够相对于所述导向件在所述第一方向上移动。
3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述导向件包括分别沿所述第一方向延伸的第一导向部和第二导向部，所述第一导向部连接于所述承载件且所述第二导向部连接于所述第一导向部背离所述承载件的一端，所述第一导向部的径向尺寸大于所述第二导向部的径向尺寸。
4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述检测件包括第一检测板，所述第一检测板具有第一导向孔和多个相互间隔的第一检测孔，所述第一导向孔的径向尺寸大于等于所述第一导向部的径向尺寸，所述凸出部包括针座，所述第一检测板通过所述第一导向孔插接于所述第一导向部中并能够相对于所述第一导向部在所述第一方向上移动，以使所有所述针座穿过所述第一检测孔。
5.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述检测件包括第二检测板，所述第二检测板具有第二导向孔和多个相互间隔的第二检测孔，所述第二导向孔的径向尺寸大于等于所述第二导向部的径向尺寸且小于所述第一导向部的径向尺寸，所述凸出部包括探针，所述第二检测板通过所述第二导向孔插接于所述第二导向部中并能够相对于所述第二导向部在所述第一方向上移动，以使所有所述探针穿过所述第二检测孔。
6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述承载件上设置有限位开口，所述限位开口在所述第一方向上开口设置，所述连接工装的所述基板能够放置于所述限位开口中，所述限位开口被配置为限制所述基板的移动。
7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述限位开口包括圆角部，所述圆角部朝向背离所述限位开口的内部方向凸出设置，所述基板包括矩形板，所述矩形板的顶角能够伸入至所述圆角部中。
8.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述承载件的边缘处设置有开口槽，所述开口槽在所述第一方向上贯穿并朝向所述限位开口的所在侧延伸，所述开口槽在所述第一方向上的正投影与所述限位开口的正投影存在交叠。
9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，多个所述检测孔沿所述检测件的长度方向和宽度方向呈阵列排布。
10.一种位置精度的检测方法，其特征在于，包括：
