本申请属于显示,尤其涉及一种显示面板的制备方法、显示面板及显示装置。
背景技术:
1、有机发光二极管(organic light emitting display,oled)以及基于发光二极管(light emitting diode,led)等技术的平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点,而被广泛的应用于手机、电视、笔记本电脑、台式电脑等各种消费性电子产品,成为显示装置中的主流。
2、但目前的oled显示产品的工艺可靠性有待提升。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供了一种显示面板的制备方法、显示面板及显示装置,能够提高显示面板的工艺可靠性。
2、本申请第一方面提供一种显示面板的制备方法,包括以下步骤:
3、提供基板,在基板上分别制备各个发光单元的第一电极和隔离结构;其中,隔离结构围合成多个隔离开口,第一电极的至少部分由隔离开口露出;
4、制备形成第一保护层;其中,至少部分第一保护层填充在第二发光单元和第三发光单元的隔离开口;
5、依次整面制备形成第一发光单元的发光层、第二电极、第一封装层;其中,第一发光单元、第二发光单元和第三发光单元的发光颜色互不相同;
6、去除第二发光单元和第三发光单元对应区域的第一封装层、第二电极、发光层和第一保护层。
7、在一些实施例中,去除第二发光单元和第三发光单元对应区域的第一封装层、第二电极、发光层和第一保护层的步骤之后还包括:
8、制备形成第二保护层;其中,至少部分第二保护层覆盖第一发光单元以及填充在第三发光单元的隔离开口;
9、依次整面制备形成第二发光单元的发光层、第二电极、第二封装层;
10、去除第一发光单元和第三发光单元对应区域的第二封装层、第二电极、发光层和第二保护层。
11、在一些实施例中,去除第一发光单元和第三发光单元对应区域的第二封装层、第二电极、发光层和第二保护层的步骤之后还包括:
12、制备形成第三保护层;其中,至少部分第三保护层覆盖第一发光单元和第二发光单元;
13、依次整面制备形成第三发光单元的发光层、第二电极、第三封装层;
14、去除第一发光单元和第二发光单元对应区域的第三封装层、第二电极、发光层和第三保护层。
15、在一些实施例中,第一保护层与隔离结构的侧壁接触。
16、在一些实施例中,在基板上分别制备各个发光单元的第一电极和隔离结构的步骤包括:
17、在基板上制备第一电极;
18、在基板上制备像素定义层;其中,像素定义层具有像素开口,第一电极的部分由像素开口露出;
19、在像素定义层上制备隔离结构;其中,隔离开口与像素开口连通。
20、在一些实施例中,在沿平行于基板的方向上,像素定义层的边缘相对于隔离结构朝向基本的一侧呈凸出设置,形成凸出部,第一保护层覆盖凸出部。
21、在一些实施例中,在垂直于基板的方向上,第一保护层背离基板的表面高于隔离结构背离基板的表面。
22、在一些实施例中,第一保护层覆盖隔离结构背离基板的一侧的至少部分。
23、在一些实施例中,隔离开口包括第一隔离子开口,第一发光单元位于第一隔离子开口内;
24、隔离结构背离基板的表面包括第一区域和第二区域,第一区域靠近第一隔离子开口,第二区域远离第二隔离子开口,第一保护层覆盖第二区域。
25、在一些实施例中,隔离开口包括第二隔离子开口和第三隔离子开口,第二发光单元位于第二隔离子开口内,第三发光单元位于第三隔离子开口内,第二子隔离开口与第三子隔离开口之间的隔离结构全部被第一保护层覆盖。
26、在一些实施例中,第一保护层包括有机材料;
27、优选的,封装层包括无机材料。
28、在一些实施例中,第一保护层的材料为光刻胶;
29、在一些实施例中,发光层通过氧化性等离子体的工艺去除。
30、在一些实施例中,第一保护层通过氧化性等离子体的工艺去除。
31、在一些实施例中,隔离结构包括沿远离基板的方向依次设置的第一隔离部和第二隔离部,第一隔离部背离基板的一侧在基板的正投影位于第二隔离部在基板的正投影内,第二电极与第一隔离部电连接。
32、在一些实施例中,第一隔离部包括沿远离基板的方向依次设置的第一子部和第二子部,第二子部在基板的正投影位于第二隔离部在基板的正投影内,第一电极覆盖第一子部的边缘,且第二电极与第二子部的侧壁搭接。
33、在一些实施例中,第一子部在基板的正投影位于第二隔离部在基板的正投影内。
34、第二方面,本申请实施例还提供了一种显示面板的制备方法,包括以下步骤:
35、提供基板,在基板上分别制备各个发光单元的第一电极和隔离结构;其中,隔离结构围合成多个隔离开口,第一电极的至少部分由隔离开口露出;
36、依次整面制备形成第一发光单元的发光层、第二电极、第一封装层;
37、采用干刻工艺去除第二发光单元和第三发光单元对应区域的第一封装层;
38、采用金属刻蚀工艺去除第二发光单元和第三发光单元对应区域的第二电极;
39、采用氧化性等离子体去除第二发光单元和第三发光单元对应区域的发光层和第一保护层。
40、第三方面,本申请实施例还提供了一种显示面板,采用上述制备方法制备得到;隔离结构包括沿远离基板的方向依次设置的第一隔离部和第二隔离部,第一隔离部包括靠近基板一侧的第一端面以及背离基板一侧的第二端面;在平行于基板的方向上,第一发光单元、第二发光单元和第三发光单元对应区域的至少部分第二隔离部相对于对应的第二端面的伸出长度相等。
41、第四方面,本申请实施例还提供了一种显示装置,包括上述显示面板。
42、本申请实施例提供一种显示面板的制备方法、显示面板和显示装置。首先在基板上分别制备各个发光单元的第一电极和隔离结构,然后制备形成第一保护层;其中,至少部分第一保护层填充在第二发光单元和第三发光单元的隔离开口中;依次整面制备形成第一发光单元的发光层、第二电极、第一封装层;其中,第一发光单元、第二发光单元和第三发光单元的发光颜色互不相同;最后去除第二发光单元和第三发光单元上的第一封装层、第二电极、发光层和第一保护层,完成第一发光单元的图案化。由于第二发光单元和第三发光单元的对应结构被第一保护层保护,在后续进行第一发光单元的图案化的步骤中的刻蚀工艺时,不损伤。
1.一种显示面板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述去除所述第二发光单元和所述第三发光单元对应区域的第一封装层、第二电极、发光层和第一保护层的步骤之后还包括:
3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述去除所述第一发光单元和所述第三发光单元对应区域的第二封装层、第二电极、发光层和第二保护层的步骤之后还包括:
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第一保护层与所述隔离结构的侧壁接触。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述在所述基板上分别制备各个发光单元的第一电极和隔离结构的步骤包括:
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,在沿平行于所述基板的方向上,所述像素定义层的边缘相对于所述隔离结构朝向所述基本的一侧呈凸出设置,形成凸出部,所述第一保护层覆盖所述凸出部。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在垂直于所述基板的方向上,所述第一保护层背离所述基板的表面高于所述隔离结构背离所述基板的表面。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述第一保护层覆盖所述隔离结构背离所述基板的一侧的至少部分。
9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述隔离开口包括第一隔离子开口,所述第一发光单元位于所述第一隔离子开口内;
10.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述隔离开口包括第二隔离子开口和第三隔离子开口,所述第二发光单元位于所述第二隔离子开口内,所述第三发光单元位于所述第三隔离子开口内,所述第二子隔离开口与所述第三子隔离开口之间的所述隔离结构全部被所述第一保护层覆盖。
11.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第一保护层包括有机材料;
12.根据权利要求11所述的制备方法,其特征在于,所述第一保护层的材料为光刻胶。
13.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述发光层通过氧化性等离子体的工艺去除。
14.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第一保护层通过氧化性等离子体的工艺去除。
15.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述隔离结构包括沿远离所述基板的方向依次设置的第一隔离部和第二隔离部,所述第一隔离部背离所述基板的一侧在所述基板的正投影位于所述第二隔离部在所述基板的正投影内,所述第二电极与所述第一隔离部电连接。
16.根据权利要求15所述的制备方法,其特征在于,所述第一隔离部包括沿远离所述基板的方向依次设置的第一子部和第二子部,所述第二子部在所述基板的正投影位于所述第二隔离部在所述基板的正投影内,所述第一电极覆盖所述第一子部的边缘,且所述第二电极与所述第二子部的侧壁搭接。
17.根据权利要求16所述的制备方法,其特征在于,所述第一子部在所述基板的正投影位于所述第二隔离部在所述基板的正投影内。
18.一种显示面板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
19.一种显示面板,其特征在于,采用权利要求1~18任一项所述的制备方法制备得到;
20.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求19所述的显示面板。
