本发明涉及电源测量单元的电压电流的产生。
背景技术：
1、电源测量单元(smu)为如下仪器，即，使得直流电压/电流的产生(电源)和测定(测量)功能实现一体化，能够将指定值的恒压或恒流供给至负载，并且能够测定负载的实际电压或电流。通常，电源测量单元用于半导体及电子部件等设备的特性评价及检查等。在电源测量单元中，为了评价及检查的高效化，对于电压及电流的产生要求向目标值的整定时间较短。在专利文献1中记载有关于电源测量单元的技术。
2、专利文献1：美国专利第8797025说明书
3、然而，专利文献1中记载的电源测量单元需要设定用户难以计算的参数，操作困难。
技术实现思路
1、因此，本发明的目的在于，能够通过简易的设定而实现电源测量单元的输出的响应改善。
2、关于几个实施方式涉及的电压电流发生器，
3、(1)具有：
4、操作部，其接受来自用户的操作；
5、输出部，其对负载输出电信号；
6、检测部，其对所述输出部输出的所述电信号的测定值进行检测；以及
7、控制运算部，其基于由所述用户经由所述操作部而设定的所述电信号的目标值、与所述检测部检测出的所述电信号的测定值的偏差，以使得所述电信号的测定值接近所述目标值的方式对所述输出部的动作进行控制，
8、所述控制运算部基于由所述用户经由所述操作部而设定的所述负载的阻抗值，进行包含用于将所述输出部的输出电阻及所述负载的作为低通滤波器的作用消除的补偿动作的控制。
9、因此，用户不考虑难以从外部获知的输出部的输出电阻而仅进行负载的阻抗值的设定之类的简易的设定，就能够改善电压电流发生器的输出的响应。
10、在一个实施方式中，
11、(2)在所述(1)的电压电流发生器的基础上，可以是，
12、所述控制运算部与由所述用户经由所述操作部而设定的所述电信号的范围相应的所述输出部的输出电阻，进行包含用于将所述输出电阻及所述负载的作为低通滤波器的作用消除的所述补偿动作的控制。
13、因此，即使用户不设定与难以从外部获知的范围相应的输出电阻，电压电流发生器也能够通过细致的控制而改善输出的响应。
14、在一个实施方式中，
15、(3)在所述(1)或(2)的电压电流发生器的基础上，可以是，
16、所述输出部对所述负载输出恒压信号作为所述电信号，
17、所述检测部作为所述测定而对所述输出部输出的所述电信号的电压值进行检测，
18、所述控制运算部基于由所述用户经由所述操作部而设定的所述电信号的电压的目标值、与所述检测部检测出的所述电信号的电压值的偏差，对所述输出部的动作进行控制，
19、并且，作为所述负载的阻抗值而基于由所述用户经由所述操作部而设定的所述负载的电阻值及电容值，进行包含用于将所述输出电阻及所述负载的作为低通滤波器的作用消除的所述补偿动作的控制。
20、因此，用户仅通过进行简易的设定，就能够改善电压电流发生器的恒压输出的响应。
21、在一个实施方式中，
22、(4)在所述(1)至(3)中任一项的电压电流发生器的基础上，可以是，
23、所述输出部对所述负载输出恒流信号作为所述电信号，
24、所述检测部作为所述测定而对所述输出部输出的所述电信号的电流值进行检测，
25、所述控制运算部基于由所述用户经由所述操作部而设定的所述电信号的电流的目标值、与所述检测部检测出的所述电信号的电流值的偏差，对所述输出部的动作进行控制，
26、并且，作为所述负载的阻抗值而基于由所述用户经由所述操作部而设定的所述负载的电阻值及电感值，进行包含用于将所述输出电阻及所述负载的作为低通滤波器的作用消除的所述补偿动作的控制。
27、因此，用户仅通过进行简易的设定，就能够改善电压电流发生器的恒流输出的响应。
28、在一个实施方式中，
29、(5)在所述(1)至(4)中任一项的电压电流发生器的基础上，可以是，
30、作为用于将所述负载的作为低通滤波器的作用消除的所述控制，所述控制运算部进行以附加限制了针对大于或等于规定频率的频带的所述电信号的增益的最大值的特性的方式调整后的控制。
31、因此，即使在负载未与电压电流发生器连接的情况下，也能够防止电压电流发生器的动作变得不稳定。
32、发明的效果
33、根据本发明的一个实施方式，能够通过简易的设定而实现电源测量单元的输出的响应改善。
1.一种电压电流发生器，其中，
2.根据权利要求1所述的电压电流发生器，其中，
3.根据权利要求1或2所述的电压电流发生器，其中，
4.根据权利要求1或2所述的电压电流发生器，其中，
5.根据权利要求1或2所述的电压电流发生器，其中，
