本申请要求于2023年5月17日提交的标题为“positioning system(定位系统)”的美国专利申请第18/198,778号的权益和优先权，所述专利申请通过引用以其全文并入本文。
背景技术：
1、定位系统(诸如机械台)用于在真空腔室内沿着一个或多个轴移动样品。
2、样品可以使用线性电机沿着与轴相对应的路径移动，所述线性电机包括沿着整个路径拉伸的磁体和沿着路径的长度方向延伸的移动线圈。
3、移动线圈接收单个致动信号，并且在通过线性电机移动样品期间倾向于发热。
4、热量在真空中不耗散(或几乎不耗散)，并且移动线圈的发热可能损坏线性电机。
5、使用水管散热移动线圈或冷却移动线圈是不切实际的或危险的。
6、越来越需要提供一种在样品移动期间几乎不发热的定位系统。
技术实现思路
1、可以提供一种定位系统，所述定位系统包括(a)线性电机，包括可移动磁性单元和线圈定子，所述线圈定子包括一组线圈定子段；其中机械支撑单元机械地耦合到可移动磁性单元；(b)机械支撑元件，用于在真空腔室内支撑样品；(c)电源供应器，被配置为独立地将功率供应到线圈定子段中的不同线圈定子段，以引起可移动磁性单元关于线圈定子沿着轴的移动；(d)减热元件，被配置为降低线圈定子的温度；以及(e)控制器，被配置为通过控制将功率供应到不同线圈定子段来控制可移动磁性单元的移动。
2、可以提供一种用于在真空腔室内移动样品的方法，所述方法可以包括(a)通过线性电机移动可移动磁性单元；其中可移动磁性单元的移动导致位于真空腔室内并且支撑样品的机械支撑元件移动；其中可移动磁性单元的移动包括独立地将功率供应到线性电机的线圈定子段中的不同线圈定子段；以及(b)通过减热元件来降低线圈定子的温度。
1.一种定位系统，包括：
2.根据权利要求1所述的定位系统，其中所述电源供应器被配置为在移动周期期间的不同时刻将功率供应到线圈定子段的不同子组。
3.根据权利要求2所述的定位系统，其中在给定时刻，所述电源供应器被配置为将功率供应到在给定时刻经受由所述可移动磁性单元产生的磁通量的线圈定子段的子组。
4.根据权利要求1所述的定位系统，其中所述减热元件包括热耦合到所述线圈定子的一个或多个散热器。
5.根据权利要求1所述的定位系统，其中所述减热元件包括热耦合到所述线圈定子的一个或多个静态水冷却管道。
6.根据权利要求1所述的定位系统，其中所述可移动磁性单元的上边缘定位在所述线圈定子上方。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的定位系统，进一步包括用于感测可移动磁性单元的移动的移动传感器。
8.根据权利要求7所述的定位系统，其中所述控制器被配置为至少部分地基于由所述移动传感器产生的移动信息来控制所述可移动磁性单元的所述移动。
9.根据权利要求1至6中任一项所述的定位系统，其中所述线性电机是第一线性电机，并且其中所述定位系统进一步包括：
10.一种用于在真空腔室内移动样品的方法，所述方法包括：
11.根据权利要求10所述的方法，其中独立地供应功率是在控制器的控制下执行的。
12.根据权利要求10或11所述的方法，进一步包括在移动周期期间的不同时刻将功率供应到线圈定子段的不同子组。
13.根据权利要求11所述的方法，其中在给定时刻将功率供应到在所述给定时刻经受由所述可移动磁性单元产生的磁通量的线圈定子段的子组。
