一种对芯片全生命周期进行失效分析的方法和装置与流程

    专利查询2026-02-01  5


    本发明涉及芯片测试,特别是涉及一种对芯片全生命周期进行失效分析的方法和装置。


    背景技术:

    1、芯片通常在进行cp(circuit probing,晶圆测试)测试之后就需要切割开进行封装,但是cp阶段能测到的特性参数比较少,通常在ft(final test,最终测试)、slt(systemlevel test,系统级测试)、bench等测试阶段进行测试,但因缺少关键生产信息,无法判断芯片失效是否与芯片生产有关系,也无法追溯到封装及晶圆阶段定位问题来改进生产工艺。

    2、鉴于此,克服该现有技术所存在的缺陷是本技术领域亟待解决的问题。


    技术实现思路

    1、本发明要解决的技术问题是现有技术中无法实现芯片的工艺追溯,难以定位工艺风险。

    2、本发明采用如下技术方案:

    3、第一方面,本发明提供了一种对芯片全生命周期进行失效分析的方法,在芯片中增加存储器,所述方法包括:

    4、在芯片中增加存储器,所述方法包括:

    5、在进行芯片的晶圆测试时,获取探针落在芯片位置时所对应的位置坐标;

    6、根据所述位置坐标、芯片所在晶圆的批次信息以及所述晶圆的晶圆信息,生成芯片的标志号,将芯片的标志号写入到芯片的存储器中;

    7、将芯片的工艺参数与芯片的标志号关联存储,将芯片各测试阶段的测试结果与芯片的标志号关联存储,以便于根据芯片的标志号,进行工艺的失效分析。

    8、优选的,所述将芯片各测试阶段的测试结果与芯片的标志号关联存储,具体包括:

    9、以芯片的标志号作为索引,以进行晶圆测试得到的晶圆测试记录、芯片进行最终测试得到的ft特性参数和/或芯片进行系统级测试得到的slt特性参数作为所述索引对应的值存储到数据库中。

    10、优选的,所述根据芯片的标志号,进行工艺的失效分析,具体包括:

    11、根据芯片的标志号,获取芯片各测试阶段的测试结果;

    12、根据芯片各测试阶段的测试结果,进行芯片的失效分析,以确认芯片在生产阶段是否失效;

    13、若相应芯片在生产阶段失效,则将该芯片作为目标芯片,根据目标芯片的标志号,获取目标芯片的工艺参数,根据目标芯片的工艺参数,进行相应工艺的失效分析。

    14、优选的,当芯片存在一套工艺参数时,所述根据目标芯片的工艺参数,进行相应工艺的失效分析,具体包括:

    15、根据目标芯片的工艺参数,获取与所述目标芯片具有相同工艺参数的第一芯片;

    16、根据第一芯片的标志号,获取第一芯片各测试阶段的测试结果,根据第一芯片各测试阶段的测试结果,进行第一芯片的失效分析;

    17、根据所有第一芯片的失效分析结果,进行工艺的失效分析。

    18、优选的,所述根据所有第一芯片的失效分析结果,进行工艺的失效分析,具体包括:

    19、若在所有第一芯片的失效分析结果中,在生产阶段失效的芯片的数量占比达到预设占比,则分析得到所述目标芯片的工艺参数所对应工艺存在风险。

    20、若在所有第一芯片的失效分析结果中,在生产阶段失效的芯片的数量占比达到预设占比,则分析得到所述目标芯片的工艺参数所对应工艺存在风险。

    21、优选的,当芯片存在多套工艺参数时,所述根据目标芯片的工艺参数,进行相应工艺的失效分析,具体包括:

    22、以目标芯片的每一套工艺参数分别作为第一工艺参数,进行相应的工艺失效分析,具体包括:

    23、获取所有具有第二工艺参数的第一芯片;其中,所述第二工艺参数为所述目标芯片的多套工艺参数中,第一工艺参数以外的所有工艺参数;

    24、将第一芯片划分为具有第一工艺参数的第二芯片,以及不具有第一工艺参数的第三芯片;

    25、根据第二芯片的标志号,获取第二芯片各测试阶段的测试结果,根据第二芯片各测试阶段的测试结果,进行第二芯片的失效分析;

    26、根据第三芯片的标志号,获取第三芯片各测试阶段的测试结果,根据第三芯片各测试阶段的测试结果,进行第三芯片的失效分析;

    27、根据所有第二芯片的失效分析结果和所有第三芯片的失效分析结果,进行所述第一工艺参数所对应工艺的失效分析。

    28、优选的,所述根据第二芯片的失效分析结果和第三芯片的失效分析结果,进行所述第一工艺参数所对应工艺的失效分析,具体包括:

    29、计算在生产阶段失效的第二芯片在所有第二芯片中的第一数量占比,计算在生产阶段失效的第三芯片在所有第三芯片中的第二数量占比,若第一数量占比与第二数量占比的差值大于预设差值,则分析得到相应第一工艺参数所对应工艺存在风险。

    30、优选的,所述多套工艺参数包括生产工艺参数、封装工艺参数、流片工艺参数中的至少一种。

    31、优选的,所述存储器为efuse一次性可编程存储器或otp一次性可编程存储器。

    32、第二方面,本发明还提供了一种对芯片全生命周期进行失效分析的装置,用于实现第一方面所述的对芯片全生命周期进行失效分析的方法,所述装置包括:

    33、至少一个处理器;以及,与所述至少一个处理器通信连接的存储器;其中,所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令,所述指令被所述处理器执行,用于执行第一方面所述的对芯片全生命周期进行失效分析的方法。

    34、第三方面,本发明还提供了一种非易失性计算机存储介质,所述计算机存储介质存储有计算机可执行指令,该计算机可执行指令被一个或多个处理器执行,用于完成第一方面所述的对芯片全生命周期进行失效分析的方法。

    35、本发明通过使用芯片的位置信息、晶圆的批次信息和晶圆的晶圆信息共同生成芯片的标志号,将该标志号携带至芯片存储,并使该标志号与芯片的工艺参数、芯片的测试结果相关联,从而使芯片的整个生产周期的信息均可通过标志号进行追溯,从而定位工艺风险,从而为芯片的工艺改良提供有效依据。



    技术特征:

    1.一种对芯片全生命周期进行失效分析的方法,其特征在于,在芯片中增加存储器,所述方法包括:

    2.根据权利要求1所述的对芯片全生命周期进行失效分析的方法,其特征在于,所述将芯片各测试阶段的测试结果与芯片的标志号关联存储包括:

    3.根据权利要求1所述的对芯片全生命周期进行失效分析的方法,其特征在于,所述根据芯片的标志号,进行工艺的失效分析包括:

    4.根据权利要求3所述的对芯片全生命周期进行失效分析的方法,其特征在于,当芯片存在一套工艺参数时,所述根据目标芯片的工艺参数,进行相应工艺的失效分析包括:

    5.根据权利要求4所述的对芯片全生命周期进行失效分析的方法,其特征在于,所述根据所有第一芯片的失效分析结果,进行工艺的失效分析包括:

    6.根据权利要求3所述的对芯片全生命周期进行失效分析的方法,其特征在于,当芯片存在多套工艺参数时,所述根据目标芯片的工艺参数,进行相应工艺的失效分析包括:

    7.根据权利要求6所述的对芯片全生命周期进行失效分析的方法,其特征在于,所述根据第二芯片的失效分析结果和第三芯片的失效分析结果,进行所述第一工艺参数所对应工艺的失效分析包括:

    8.根据权利要求6所述的对芯片全生命周期进行失效分析的方法,其特征在于,所述多套工艺参数包括生产工艺参数、封装工艺参数、流片工艺参数中的至少一种。

    9.根据权利要求1至8中任一项所述的对芯片全生命周期进行失效分析的方法,其特征在于,所述存储器为efuse一次性可编程存储器或otp一次性可编程存储器。

    10.一种对芯片全生命周期进行失效分析的装置,其特征在于,包括:


    技术总结
    本发明涉及芯片测试技术领域,提供了一种对芯片全生命周期进行失效分析的方法和装置。其中所述方法包括:测试机台在进行芯片的晶圆测试时,从探针台获取探针落在芯片位置时所对应的位置坐标;根据所述位置坐标、芯片所在晶圆的批次信息以及所述晶圆的晶圆信息,生成芯片的标志号,将芯片的标志号写入到芯片的存储器中;将芯片的工艺参数与芯片的标志号关联存储,将芯片各测试阶段的测试结果与芯片的标志号关联存储,以便于根据芯片的标志号,进行工艺的失效分析。本发明使芯片的整个生产周期的信息均可通过标志号进行追溯,从而定位工艺风险,从而为芯片的工艺改良提供有效依据。

    技术研发人员:粟鑫,林观荣,杜俊,李欢,吴传波
    受保护的技术使用者:芯动微电子科技(武汉)有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/11/26
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