悬臂式探针卡装置及吸光式探针的制作方法

    专利查询2026-02-04  1


    本发明涉及一种悬臂式探针卡,尤其涉及一种悬臂式探针卡装置及吸光式探针。


    背景技术:

    1、现有悬臂式探针卡包含有一基板与安装于所述基板的多个悬臂探针,并且多个所述悬臂探针的外型大致相同。其中,每个所述悬臂探针在进行使用之前,需以一检测设备得知其针尖部所在。然而,基于所述悬臂探针的结构设计,常使得邻近所述针尖部的所述悬臂探针其他部位常会造成所述检测设备的误判。

    2、于是,本发明人认为上述缺陷可改善,乃特潜心研究并配合科学原理的运用,终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。


    技术实现思路

    1、本发明实施例的目的在于提供一种悬臂式探针卡装置及吸光式探针,其能有效地改善现有悬臂式探针卡所可能产生的缺陷。

    2、本发明实施例公开一种悬臂式探针卡装置,其包括:一基板,包含有多个焊垫;以及多个吸光式探针,固定于基板;其中,每个吸光式探针包含有:一力臂段;一主体段,位于力臂段的一侧,并且主体段具有沿一预设方向分别位于相反侧的一焊接端部与一延伸端部;一针测段,沿预设方向呈直立状且相连于力臂段的另一侧;其中,针测段包含有一针尖部及连接针尖部与力臂段的一直立部;及一吸光涂层,包覆直立部于其内,并且吸光涂层突出于针尖部的外表面;其中,于每个吸光式探针之中,针测段能于一检测设备的观测作业之中,仅以针尖部形成有一观测点位;其中,多个吸光式探针以其主体段的焊接端部分别固定于基板的多个焊垫。

    3、优选地,检测设备于观测作业之中采用一光线,其照射于多个吸光式探针,以取得每个吸光式探针的观测点位;其中,于每个吸光式探针之中,吸光涂层对应于光线的吸光率不低于60%。

    4、优选地,于每个吸光式探针之中,吸光涂层自直立部延伸,以包覆力臂段于其内,以使针测段与力臂段能于观测作业之中,仅以针尖部形成有观测点位。

    5、优选地,于每个吸光式探针之中,吸光涂层自力臂段延伸,以包覆主体段于其内,以使针测段、力臂段、与主体段能于观测作业之中,仅以针尖部形成有观测点位。

    6、优选地,多个焊垫包含有多个第一焊垫与多个第二焊垫,多个第一焊垫沿垂直预设方向的一排列方向排成一第一列,而多个第二焊垫沿排列方向排成平行且间隔于第一列的一第二列;其中,多个吸光式探针包含有:多个第一探针,各包含有主体段、力臂段及针测段,并且任一个第一探针的主体段、力臂段及针测段分别定义为一第一主体段、一第一力臂段及一第一针测段;及多个第二探针,各包含有:主体段,其定义为一第二主体段且于预设方向上具有一主体高度;一延伸段,相连于第二主体段,并且延伸段于预设方向上具有一延伸高度,其介于主体高度的5%~80%;力臂段,其定义为一第二力臂段且相连于延伸段;及针测段,其定义为一第二针测段,其沿预设方向呈直立状且相连于第二力臂段;其中,多个第一探针的第一主体段固定于多个第一焊垫,并且多个第二探针的第二主体段固定于多个第二焊垫,而多个第一探针的第一针测段与多个第二探针的第二针测段沿排列方向排成一列;其中,当多个第一探针的第一针测段与多个第二探针的第二针测段用来抵接于一待测物时,每个第一探针仅于第一力臂段产生形变,而每个第二探针仅于第二力臂段产生形变。

    7、优选地,第一列的多个第一焊垫相对于第二列的多个第二焊垫于垂直排列方向与预设方向的一延伸方向上彼此相隔有一错开距离,任一个第二探针的延伸段于延伸方向上具有一延伸距离,其为错开距离的95%~105%;其中,当多个第一探针的第一针测段与多个第二探针的第二针测段用来抵接于一待测物时,任一个第一探针的第一针测段所形成的针压,其为任一个第二探针的第二针测段所形成的针压的95%~105%。

    8、优选地,相邻的任两个第二探针之间设置有一个第一探针,并且任一个第一探针及其相邻的第二探针沿排列方向形成有介于20微米~200微米的一间隔。

    9、优选地,于每个吸光式探针之中,主体段在其外轮廓的内侧定义有一布局区域,并且焊接端部与延伸端部沿预设方向分别位于布局区域的相反侧,主体段在布局区域形成有多个穿孔,并且多个穿孔为外轮廓所围绕区域的3%~70%;布局区域与外轮廓相隔有一布局间距,其不小于任一个穿孔的内径。

    10、优选地,于每个吸光式探针之中,主体段以其中心为原点划分出相等的四个象限,并且任两个象限内所形成的穿孔的比例的差值不大于5%。

    11、本发明实施例也公开一种吸光式探针,其包括:一力臂段;一主体段,位于力臂段的一侧,并且主体段具有沿一预设方向分别位于相反侧的一焊接端部与一延伸端部;一针测段,沿预设方向呈直立状且相连于力臂段的另一侧;其中,针测段包含有一针尖部及连接针尖部与力臂段的一直立部;以及一吸光涂层,包覆直立部于其内,并且吸光涂层突出于针尖部的外表面;其中,针测段能于一检测设备的观测作业之中,仅以针尖部形成有一观测点位。

    12、综上所述,本发明实施例所公开的悬臂式探针卡装置及吸光式探针,其通过在邻近所述针尖部的区块(如:所述直立部)形成有所述吸光涂层,以使得所述检测设备能够较为准确地得知所述针尖部,进而利于所述悬臂式探针卡装置的运作。

    13、为能更进一步了解本发明的特征及技术内容,请参阅以下有关本发明的详细说明与附图,但是此等说明与附图仅用来说明本发明,而非对本发明的保护范围作任何的限制。



    技术特征:

    1.一种悬臂式探针卡装置,其特征在于,所述悬臂式探针卡装置包括:

    2.依据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置,其特征在于,所述检测设备于所述观测作业之中采用一光线,其照射于多个所述吸光式探针,以取得每个所述吸光式探针的所述观测点位;其中,于每个所述吸光式探针之中,所述吸光涂层对应于所述光线的吸光率不低于60%。

    3.依据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置,其特征在于,于每个所述吸光式探针之中,所述吸光涂层自所述直立部延伸,以包覆所述力臂段于其内,以使所述针测段与所述力臂段能于所述观测作业之中,仅以所述针尖部形成有所述观测点位。

    4.依据权利要求3所述的悬臂式探针卡装置,其特征在于,于每个所述吸光式探针之中,所述吸光涂层自所述力臂段延伸,以包覆所述主体段于其内,以使所述针测段、所述力臂段、与所述主体段能于所述观测作业之中,仅以所述针尖部形成有所述观测点位。

    5.依据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置,其特征在于,多个所述焊垫包含有多个第一焊垫与多个第二焊垫,多个所述第一焊垫沿垂直所述预设方向的一排列方向排成一第一列,而多个所述第二焊垫沿所述排列方向排成平行且间隔于所述第一列的一第二列;其中,多个所述吸光式探针包含有:

    6.依据权利要求5所述的悬臂式探针卡装置,其特征在于,所述第一列的多个所述第一焊垫相对于所述第二列的多个所述第二焊垫于垂直所述排列方向与所述预设方向的一延伸方向上彼此相隔有一错开距离,任一个所述第二探针的所述延伸段于所述延伸方向上具有一延伸距离,其为所述错开距离的95%~105%;其中,当多个所述第一探针的所述第一针测段与多个所述第二探针的所述第二针测段用来抵接于一待测物时,任一个所述第一探针的所述第一针测段所形成的针压,其为任一个所述第二探针的所述第二针测段所形成的针压的95%~105%。

    7.依据权利要求5所述的悬臂式探针卡装置,其特征在于,相邻的任两个所述第二探针之间设置有一个所述第一探针,并且任一个所述第一探针及其相邻的所述第二探针沿所述排列方向形成有介于20微米~200微米的一间隔。

    8.依据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置,其特征在于,于每个所述吸光式探针之中,所述主体段在其外轮廓的内侧定义有一布局区域,并且所述焊接端部与所述延伸端部沿所述预设方向分别位于所述布局区域的相反侧,所述主体段在所述布局区域形成有多个穿孔,并且多个所述穿孔为所述外轮廓所围绕区域的3%~70%;所述布局区域与所述外轮廓相隔有一布局间距,其不小于任一个所述穿孔的内径。

    9.依据权利要求8所述的悬臂式探针卡装置,其特征在于,于每个所述吸光式探针之中,所述主体段以其中心为原点划分出相等的四个象限,并且任两个所述象限内所形成的所述穿孔的比例的差值不大于5%。

    10.一种吸光式探针,其特征在于,所述吸光式探针包括:


    技术总结
    本发明公开一种悬臂式探针卡装置及吸光式探针。所述吸光式探针包含一力臂段、相连于所述力臂段两端的一主体段与一针测段及一吸光涂层。所述主体段位于所述力臂段的一侧,并且所述主体段具有沿一预设方向分别位于相反侧的一焊接端部与一延伸端部。所述针测段沿所述预设方向呈直立状且相连于所述力臂段的另一侧。所述针测段包含一针尖部及连接所述针尖部与所述力臂段的一直立部。所述吸光涂层包覆所述直立部于其内,并突出于所述针尖部的外表面。所述针测段能于一检测设备的观测作业之中,仅以所述针尖部形成有一观测点位。据此,通过在邻近所述针尖部的所述直立部形成有所述吸光涂层,以使得所述检测设备能够较为准确地得知所述针尖部。

    技术研发人员:郑皓严,赖融暘,曾照晖,苏伟志
    受保护的技术使用者:台湾中华精测科技股份有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/11/26
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