本发明涉及半导体，具体地，涉及一种半导体工艺设备的传输腔室及半导体工艺设备。
背景技术：
1、在太阳能电池的生产制造过程中，硅片等待加工件均需要经过多个工艺过程，使得硅片上依次制备形成多个膜层。图1示出了硅片的制备工艺流程，半导体工艺设备设有多个工艺腔室200和传输腔室100，工艺腔室200和传输腔室100呈线性排列，且每个传输腔室100位于两个工艺腔室200之间，传输腔室100用于将相邻的前一工艺腔室内的硅片转移到相邻的后一工艺腔室中，使得硅片由前向后依次在各个腔室内流转。
2、具体的，传输腔室内设置有传输装置来切换硅片的位置。目前，传输装置通常具有机械手和两个驱动源，机械手用于承载硅片，其中一个驱动源用于驱动机械手旋转，机械手转动换向以改变所对应的工艺腔室，另一个驱动源用于驱动机械手伸缩，使得机械手能够伸入工艺腔室或者从工艺腔室退出。
3、但是，采用该传输腔室来转移硅片，驱动源的数量多，结构复杂。
技术实现思路
1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种半导体工艺设备的传输腔室及半导体工艺设备。
2、为实现本发明的目的而提供一种半导体工艺设备的传输腔室，包括：腔体和传输装置；腔体相对的两个腔壁上均设有传片口；
3、传输装置包括驱动件及设置于腔体内的第一板体、第二板体、一级联动机构和二级联动机构；第一板体和第二板体沿的延伸方向平行，第二板体位于第一板体的上方，第二板体背向第一板体的一面用于承载待加工件，第二板体可相对于第一板体沿其延伸方向移动；驱动件与第一板体传动连接，用于驱动第一板体沿其延伸方向往复平移；
4、一级联动机构用于将第一板体的平移运动转换成旋转动力传递给二级联动机构；二级联动机构用于将旋转动力转换成直线动力传递给第二板体，以用于驱动第二板体沿其延伸方向往复平移；且第二板体由初始位置平移至第一行程终点时，待加工件由两个传片口中的一个移出腔体，第二板体由初始位置平移至第二行程终点时，待加工件由两个传片口中的另一个移出腔体。
5、如上所述的传输腔室，其中，一级联动机构包括第一齿条和联动齿轮，第一齿条的延伸方向与第一板体的延伸方向平行，联动齿轮啮合于第一齿条并被配置成随第一板体平移而转动，且联动齿轮的转动轴线平行于水平面，联动齿轮的转动轴线的延伸方向与第一板体的延伸方向垂直；二级联动机构包括与联动齿轮传动连接的第二齿条，第二齿条的延伸方向与第二板体的延伸方向平行并与第二板体朝向第一板体的一面紧固连接。
6、如上所述的传输腔室，其中，还包括设置于腔体内并与腔壁紧固连接的固定板，固定板位于第一板体的下方，固定板的延伸方向与第一板体的延伸方向平行；第一齿条与固定板朝向第一板体的一面紧固连接，第一板体上设有通孔，联动齿轮位于通孔内并与第一板体转动连接，联动齿轮与第二齿条啮合。
7、如上所述的传输腔室，其中，第一板体上形成有至少一个滑道，滑道的延伸方向与第一板体的延伸方向平行；固定板和第二板体中的至少一者紧固连接有滑动件，滑动件与滑道滑动配合。
8、如上所述的传输腔室，其中，第一板体具有侧面，侧面与传片口的中心线平行且垂直于水平面，滑道形成在侧面上。
9、如上所述的传输腔室，其中，滑动件包括连杆和滚轮，滚轮可转动的与连杆的一端连接，连杆的另一端与固定板及第二板体中的一者紧固连接。
10、如上所述的传输腔室，其中，驱动件用于提供转动动力，传输装置还包括传动装置，传动装置用于将驱动件提供的转动动力转换成直线动力传递给第一板体。
11、如上所述的传输腔室，其中，传动装置包括主动齿轮和从动齿条，驱动件与主动齿轮传动连接，主动齿轮与从动齿条啮合，从动齿条与第一板体紧固连接，从动齿条的延伸方向与第一板体的延伸方向平行。
12、如上所述的传输腔室，其中，从动齿条与第一板体朝向固定板的一面紧固连接。
13、如上所述的传输腔室，其中，固定板上形成有台阶，台阶包括第一台阶面和第二台阶面，第一台阶面与固定板背向第一板体的一面之间的距离为第一距离，第二台阶面与固定板背向第一板体的一面之间的距离为第二距离，第一距离大于第二距离；从动齿条与第一台阶面贴合，主动齿轮的转动轴线的延伸方向与第一板体的延伸方向以及水平面均垂直；第一齿条与第二台阶面连接。
14、如上所述的传输腔室，其中，主动齿轮位于第一台阶面和第一板体之间。
15、如上所述的传输腔室，其中，驱动件包括：
16、主轴，主轴的一端伸入腔体内，以为传动装置提供转动动力，主轴的另一端延伸至腔体的外部；
17、旋转电机，设置于腔体外并与主轴的另一端传动连接；
18、密封件，用于密封腔体，使得腔体与外部环境隔绝。
19、如上所述的传输腔室，其中，密封件为设置于腔体外的磁流体密封传动件，磁流体密封传动件用于将旋转电机的转动动力传递给主轴。
20、如上所述的传输腔室，其中，第二板体背向第一板体的一面上设置有多个防滑垫；传输腔室还包括载板，载板放置于防滑垫上，载板背向第二板体的一面用于承载待加工件。
21、作为另一个技术方案，本发明还提供一种半导体工艺设备，包括：多个工艺腔室和至少一个本发明实施例提供的任一项传输腔室，每个传输腔室位于两个工艺腔室之间。
22、本发明具有以下有益效果：
23、本发明提供了一种半导体工艺设备的传输腔室及半导体工艺设备，传输腔室仅设置有一个驱动件，因此，驱动源的数量少，结构简单，且只需控制一个驱动件便能转移待加工件，控制操作简单。
24、而且，用于承接待加工件的第二板体通过往复平移以实现换向，无需旋转进行换向。这样，待加工件在相邻两个工艺腔室转移所消耗的时间短，提高了传输效率。
1.一种半导体工艺设备的传输腔室，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的传输腔室，其特征在于，所述一级联动机构包括第一齿条和联动齿轮，所述第一齿条的延伸方向与所述第一板体的延伸方向平行，所述联动齿轮啮合于所述第一齿条并被配置成随所述第一板体平移而转动，且所述联动齿轮的转动轴线平行于水平面，所述联动齿轮的转动轴线的延伸方向与所述第一板体的延伸方向垂直；
3.根据权利要求2所述的传输腔室，其特征在于，还包括设置于所述腔体内并与所述腔壁紧固连接的固定板，所述固定板位于所述第一板体的下方，所述固定板的延伸方向与所述第一板体的延伸方向平行；
4.根据权利要求3所述的传输腔室，其特征在于，所述第一板体上形成有至少一个滑道，所述滑道的延伸方向与所述第一板体的延伸方向平行；
5.根据权利要求4所述的传输腔室，其特征在于，所述第一板体具有侧面，所述侧面与所述传片口的中心线平行且垂直于水平面，所述滑道形成在所述侧面上。
6.根据权利要求4所述的传输腔室，其特征在于，所述滑动件包括连杆和滚轮，所述滚轮可转动的与所述连杆的一端连接，所述连杆的另一端与所述固定板及所述第二板体中的一者紧固连接。
7.根据权利要求3至6任一项所述的传输腔室，其特征在于，所述驱动件用于提供转动动力，所述传输装置还包括传动装置，所述传动装置用于将所述驱动件提供的转动动力转换成直线动力传递给所述第一板体。
8.根据权利要求7所述的传输腔室，其特征在于，所述传动装置包括主动齿轮和从动齿条，所述驱动件与所述主动齿轮传动连接，所述主动齿轮与所述从动齿条啮合，所述从动齿条与所述第一板体紧固连接，所述从动齿条的延伸方向与所述第一板体的延伸方向平行。
9.根据权利要求8所述的传输腔室，其特征在于，所述从动齿条与所述第一板体朝向所述固定板的一面紧固连接。
10.根据权利要求9所述的传输腔室，其特征在于，所述固定板上形成有台阶，所述台阶包括第一台阶面和第二台阶面，所述第一台阶面与所述固定板背向所述第一板体的一面之间的距离为第一距离，所述第二台阶面与所述固定板背向所述第一板体的一面之间的距离为第二距离，第一距离大于第二距离；
11.根据权利要求10所述的传输腔室，其特征在于，所述主动齿轮位于所述第一台阶面和所述第一板体之间。
12.根据权利要求1至6任一项所述的传输腔室，其特征在于，所述第二板体背向所述第一板体的一面上设置有多个防滑垫；
13.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括：多个工艺腔室和至少一个如权利要求1至12任一项所述的半导体工艺设备的传输腔室，每个所述传输腔室位于两个所述工艺腔室之间。
