本发明涉及光伏，具体而言，涉及一种光伏电池生产设备及光伏电池制备方法。
背景技术：
1、目前，在如铜铟镓硒电池等光伏电池的产线中，通常采用pvd(physical vapordeposition)工艺或者溶液法在电池基底上沉积缓冲层与窗口层。
2、通过pvd工艺或者溶液法成膜得到的缓冲层与窗口层的致密性较差，使得两种膜层的性能较差，进而导致光伏电池的效率和稳定性较差。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种光伏电池生产设备，其能够在电池基底上ald沉积缓冲层与窗口层，提升缓冲层与窗口层的致密性，从而制备得到效率和稳定性更好的光伏电池。
2、本发明的另一目的在于提供一种光伏电池制备方法，其能够在电池基底上ald沉积缓冲层与窗口层，提升缓冲层与窗口层的致密性，从而制备得到效率和稳定性更好的光伏电池。
3、本发明的实施例提供一种技术方案：
4、一种光伏电池生产设备，包括输送机构及多个功能室，多个功能室沿输送机构的输送路径依次排布，输送机构用于输送电池基底依次穿过多个功能室；多个功能室中包括第一沉积室与第二沉积室，第一沉积室与第二沉积室内均配置有ald喷淋模块及加热模块，能够对经过的电池基底进行ald沉积；第一沉积室处于第二沉积室的上游，第一沉积室用于在电池基底上ald沉积缓冲层，第二沉积室用于在缓冲层上ald沉积窗口层。
5、本发明实施例提供的光伏电池生产设备，在输送机构输送电池基底依次穿过第一沉积室与第二沉积室的过程中，第一沉积室在电池基底上ald沉积缓冲层，第二沉积室在缓冲层上ald沉积窗口层。通过ald沉积得到的缓冲层与窗口层，致密性显著提升。因此，本发明实施例提供的光伏电池生产设备，能够制备得到效率和稳定性更好的光伏电池。
6、本发明的实施例还提供一种技术方案：
7、一种光伏电池制备方法，应用于前述的光伏电池生产设备。该光伏电池制备方法包括：
8、控制所述输送机构输送电池基底依次经过多个所述功能室；
9、在所述电池基底经过所述第一沉积室的过程中，控制所述第一沉积室对所述电池基底进行ald工艺沉积，得到缓冲层；
10、在所述电池基底经过所述第二沉积室的过程中，控制所述第二沉积室对所述电池基底进行ald工艺沉积，得到窗口层。
11、受益于该光伏电池生产设备的有益效果，本发明实施例提供的光伏电池制备方法，能够制备得到效率和稳定性更好的光伏电池。
1.一种光伏电池生产设备，其特征在于，包括输送机构(110)及依次排布的多个功能室，所述输送机构(110)用于输送电池基底依次经过多个所述功能室，多个所述功能室中包括第一沉积室(120)及第二沉积室(130)，在所述输送机构(110)的输送路径上，所述第一沉积室(120)处于所述第二沉积室(130)的上游，所述第一沉积室(120)用于在所述电池基底上ald沉积缓冲层，所述第二沉积室(130)用于在所述缓冲层上ald沉积窗口层。
2.根据权利要求1所述的光伏电池生产设备，其特征在于，多个所述功能室中还包括第三沉积室(140)，所述第三沉积室(140)处于所述第二沉积室(130)的下游，所述第三沉积室(140)用于在所述窗口层上ald沉积保护层。
3.根据权利要求1所述的光伏电池生产设备，其特征在于，多个所述功能室中还包括第四沉积室(150)，所述第四沉积室(150)处于所述第二沉积室(130)的下游，所述第四沉积室(150)用于在所述保护层上pvd沉积透明导电膜层。
4.根据权利要求1所述的光伏电池生产设备，其特征在于，多个所述功能室中还包括第五沉积室(160)，所述第五沉积室(160)处于所述第二沉积室(130)的下游，所述第五沉积室(160)用于在所述透明导电膜层上cvd沉积抗反射层。
5.根据权利要求4所述的光伏电池生产设备，其特征在于，多个所述功能室中还包括加热室(170)，在所述第一沉积室(120)的上游，和/或，所述第一沉积室(120)与所述第二沉积室(130)之间设置有所述加热室(170)，所述加热室(170)用于加热所述电池基底。
6.根据权利要求1所述的光伏电池生产设备，其特征在于，多个所述功能室中还包括接驳室(180)，所述输送机构(110)的输送路径包括方向相反的第一水平路径与第二水平路径，所述接驳室(180)处于所述第一水平路径的末端与所述第二水平路径的首端之间，用于将离开所述第一水平路径的所述电池基底移载至所述第二水平路径。
7.根据权利要求1所述的光伏电池生产设备，其特征在于，多个所述功能室中还包括进料室(190)，所述进料室(190)为多个所述功能室组成的排布队列的首端；所述光伏电池生产设备(100)还包括真空系统，所述真空系统与所述进料室(190)连通。
8.根据权利要求1所述的光伏电池生产设备，其特征在于，多个所述功能室中还包括出料室(210)及冷却室(220)，所述出料室(210)处于所述冷却室(220)的上游并与所述冷却室(220)连接，所述冷却室(220)为多个所述功能室组成的排布队列的末端，用于冷却所述电池基底；所述光伏电池生产设备(100)还包括真空系统，所述真空系统与所述出料室(210)连通。
9.根据权利要求1所述的光伏电池生产设备，其特征在于，所述光伏电池生产设备(100)还包括上下料机(230)，所述上下料机(230)的上料端通过多个所述功能室与下料端连通。
10.一种光伏电池制备方法，应用于如权利要求1-9任一项所述的光伏电池生产设备，其特征在于，所述光伏电池制备方法包括：
