本技术属于显示,尤其涉及一种显示面板的制备方法、显示面板及显示装置。
背景技术:
1、有机发光二极管(organic light emitting diode,oled)以及基于发光二极管(light emitting diode,led)等技术的平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点,而被广泛的应用于手机、电视、笔记本电脑、台式电脑等各种消费性电子产品,成为显示装置中的主流。
2、但目前的oled显示产品的工艺性能有待提升。
技术实现思路
1、本技术实施例提供了一种显示面板的制备方法、显示面板及显示装置,旨在提升显示面板的结构稳定性。
2、本技术第一方面的实施例提供了一种显示面板的制备方法,包括:
3、在基板上依次制备形成导电材料层与隔离材料层;
4、对隔离材料层进行图案化处理,以使隔离材料层形成隔离部,隔离部围合形成初开口,部分导电材料层从初开口露出;
5、对从初开口露出的导电材料层进行图案化处理,以使导电材料层形成导电部,导电部围合形成后开口,初开口以及后开口连通形成隔离开口。
6、根据本技术第一方面的实施方式,对从初开口露出的导电材料层进行图案化处理,以使导电材料层形成的导电部朝向隔离开口凸出于隔离部设置。
7、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,在对隔离材料层进行图案化处理的步骤中包括:
8、使用第一刻蚀材料对隔离材料层进行图案化处理,以使隔离材料层形成隔离部;
9、在对从初开口露出的导电材料层进行图案化处理的步骤中包括:
10、使用与第一刻蚀材料相异的第二刻蚀材料对从初开口露出的导电材料层进行图案化处理,以使导电材料层形成导电部。
11、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,第一刻蚀材料和第二刻蚀材料均为湿法刻蚀的药液。
12、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,第一刻蚀材料的酸性大于第二刻蚀材料的酸性。
13、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,第一刻蚀材料包括乙酸、盐酸、铝酸、硫酸和硝酸中的至少一种;和/或,第二刻蚀材料包括草酸、氢氟酸、铬酸、柠檬酸和磷酸中的至少一种。
14、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,导电材料层的材料包括钼,隔离材料层的材料包括钛与铝中的至少一种。
15、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,隔离材料层包括沿远离基板的方向上依次层叠的第一隔离材料子层与第二隔离材料子层,在对隔离材料层进行图案化处理的步骤中包括:
16、使用干刻工艺在第一隔离材料子层与第二隔离材料子层上开设预开口;
17、使用第一刻蚀材料对从预开口露出的第一隔离材料子层进行刻蚀以形成隔离部。
18、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,预开口包括相互连通的第一开口部与第二开口部,第一开口部开设于第一隔离材料子层背离基板的一侧,第一开口部在显示面板的厚度方向上的尺寸小于第一隔离材料子层在显示面板的厚度方向上的尺寸,第二开口部贯穿第二隔离材料子层设置。
19、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,第一隔离材料子层的材料包括铝,第二隔离材料子层的材料包括钛。
20、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,隔离部包括第一隔离部以及位于第一隔离部背离基板一侧的第二隔离部,使用第一刻蚀材料对从预开口露出的第一隔离材料子层进行图案化处理以使形成的隔离部中的第二隔离部朝向隔离开口凸出于第一隔离部。
21、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,在基板上依次制备形成导电材料层与隔离材料层的步骤中包括:
22、在基板上制备形成多个间隔设置的第一电极;
23、在第一电极上制备形成像素定义材料层;
24、对像素定义材料层进行图案化处理以形成像素定义层,像素定义层包括像素限定部与由像素限定部围合形成的像素开口,第一电极从像素开口中露出;
25、在像素定义层背离基板的一侧依次制备形成导电材料层与隔离材料层,至少部分导电材料层覆盖于从像素开口中露出的第一电极背离基板的一侧表面。
26、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,在基板上依次制备形成导电材料层与隔离材料层的步骤中包括:
27、在基板上制备形成多个间隔设置的第一电极;
28、在第一电极上制备形成像素定义材料层;
29、在像素定义材料层上依次制备形成导电材料层与隔离材料层;
30、在对从初开口露出的导电材料层进行图案化处理的步骤后还包括:
31、对像素定义材料层进行图案化处理以形成像素定义层,像素定义层包括像素限定部与由像素限定部围合形成的像素开口,第一电极从像素开口中露出。
32、本技术第一方面的实施例还提供一种显示面板的制备方法,包括:
33、在基板上依次制备形成第一导电层与第二导电层;
34、对第二导电层进行图案化处理,以使第二导电层形成多个间隔设置的第二导电结构;
35、对第一导电层进行图案化处理,以使第一导电层形成多个间隔设置第一导电结构,第二导电结构位于第一导电结构背离基板的一侧,第一电极包括第一导电结构和第二导电结构。
36、根据本技术第一方面的实施方式,对第一导电层进行图案化处理,以使第二导电结构在基板上的正投影位于第一导电层形成的第一导电结构在基板上的正投影内。
37、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,在对第二导电层进行图案化处理的步骤中包括:
38、使用第三刻蚀材料对第二导电层进行图案化处理,以使第二导电层形成第二导电结构;
39、在对第一导电层进行图案化处理的步骤中包括:
40、使用与第三刻蚀材料相异的第四刻蚀材料对第一导电层进行图案化处理,以使第一导电层形成第一导电结构。
41、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,第三刻蚀材料和第四刻蚀材料均为湿法刻蚀的药液。
42、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,第三刻蚀材料的酸性大于第四刻蚀材料的酸性。
43、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,第三刻蚀材料包括乙酸、盐酸、铝酸、硫酸和硝酸中的至少一种;和/或,第四刻蚀材料包括草酸、氢氟酸、铬酸、柠檬酸和磷酸中的至少一种。
44、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,第一导电层的材料包括氧化铟锡,第二导电层的材料包括银。
45、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,第二导电层包括沿远离基板的方向上依次层叠的第一导电子层以及第二导电子层,在对第二导电层进行图案化处理的步骤中包括:
46、使用第三刻蚀材料对第一导电子层与第二导电子层进行图案化处理,以使第一导电子层形成多个间隔设置的第一导电子结构,且使第二导电子层形成多个间隔设置的第二导电子结构,第二导电子结构位于第一导电子结构背离基板的一侧,第二导电结构包括第一导电子结构以及第二导电子结构。
47、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,第二导电子结构在基板上的正投影位于第一导电子结构在基板上的正投影内。
48、根据本技术第一方面的前述任一实施方式,第一导电子层的材料包括银,第二导电子层的材料包括氧化铟锡。
49、本技术第二方面的实施例提供一种显示面板,包括:基板;第一电极,设置于基板的一侧,第一电极的数量为多个,多个第一电极间隔设置,第一电极包括沿远离基板的方向上依次层叠的第一导电结构以及第二导电结构,第二导电结构在基板上的正投影位于第一导电结构在基板上的正投影内;发光单元,设置于第一电极背离基板的一侧;第二电极,设置于发光单元背离基板的一侧。
50、根据本技术第二方面的实施方式,第一导电结构的材料包括氧化铟锡,第二导电结构的材料包括银。
51、根据本技术第二方面的前述任一实施方式,第二导电结构包括依次层叠的第一导电子结构与第二导电子结构,第二导电子结构在基板上的正投影位于第一导电子结构在基板上的正投影内。
52、根据本技术第二方面的前述任一实施方式,第一导电子结构的材料包括银,第二导电子结构的材料包括氧化铟锡。
53、根据本技术第二方面的前述任一实施方式,显示面板还包括设置于基板一侧的像素定义层,像素定义层包括像素限定部以及由像素限定部围合形成的像素开口,第一电极、发光单元以及第二电极至少部分位于像素开口内。
54、本技术第三方面的实施例提供一种显示装置,显示装置包括上述任一实施方式的制备方法制备的显示面板,或包括上述任一实施方式的显示面板。
55、在本技术实施例提供的显示面板的制备方法中,通过将对隔离材料层进行图案化处理的步骤,与对导电材料层进行图案化处理的步骤分开进行,使得可较好的独立调节隔离部与导电部的尺寸。
56、并且,通过先对隔离材料层进行图案化处理以形成隔离部,使得在后续对导电材料层进行图案化处理的过程中,刻蚀材料也可对隔离部上围合形成初开口的内壁进行刻蚀,即使得在后续对导电材料层进行图案化处理的过程中,刻蚀材料可同步对导电材料层以及位于导电材料层上方的隔离部进行刻蚀,使得导电部不易相对于隔离部内收,从而能够较好的提升显示面板的结构稳定性。
1.一种显示面板的制备方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,对从所述初开口露出的所述导电材料层进行图案化处理,以使导电材料层形成的所述导电部朝向所述隔离开口凸出于所述隔离部设置。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在对所述隔离材料层进行图案化处理的步骤中包括:
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述第一刻蚀材料包括乙酸、盐酸、铝酸、硫酸和硝酸中的至少一种;
5.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述隔离材料层包括沿远离所述基板的方向上依次层叠的第一隔离材料子层与第二隔离材料子层,在对所述隔离材料层进行图案化处理的步骤中包括:
6.根据权利要求1至5任一项所述的制备方法,其特征在于,在基板上依次制备形成导电材料层与隔离材料层的步骤中包括:
7.根据权利要求1至5任一项所述的制备方法,其特征在于,在基板上依次制备形成导电材料层与隔离材料层的步骤中包括:
8.一种显示面板的制备方法,其特征在于,包括:
9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,对所述第一导电层进行图案化处理,以使所述第二导电结构在所述基板上的正投影位于所述第一导电层形成的所述第一导电结构在所述基板上的正投影内。
10.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,在对所述第二导电层进行图案化处理的步骤中包括:
11.根据权利要求10所述的制备方法,其特征在于,所述第三刻蚀材料包括乙酸、盐酸、铝酸、硫酸和硝酸中的至少一种;
12.根据权利要求8至11任一项所述的制备方法,其特征在于,所述第二导电层包括沿远离所述基板的方向上依次层叠的第一导电子层以及第二导电子层,在对所述第二导电层进行图案化处理的步骤中包括:
13.一种显示面板,其特征在于,包括:
14.根据权利要求13所述的显示面板,其特征在于,所述第一导电结构的材料包括氧化铟锡,所述第二导电结构的材料包括银;
15.一种显示装置,其特征在于,包括使用如权利要求1至12任一项所述的制备方法制备的显示面板,或包括如权利要求13或14所述的显示面板。
