本发明涉及抓取装置，具体为一种晶圆清洗花篮抓取装置。
背景技术：
1、晶圆清洗花篮是半导体制造过程中用于清洗晶圆的重要工具，其设计和材质对于保证晶圆清洗的效率和洁净度至关重要，晶圆清洗花篮，又称晶圆清洗架、晶圆承载器等，主要用于半导体晶圆片、玻璃、液晶屏等材料的清洗、腐蚀过程中的承载，它能够在清洗设备中稳定地支撑和固定晶圆，确保晶圆在清洗过程中不受损伤，并达到高洁净度的要求；晶圆清洗花篮的材质多样，常见的有聚四氟乙烯、聚四氟乙烯、聚丙烯等，这些材质具有优异的耐腐蚀性、耐高温性、低溶出和析出特性，能够满足半导体制造过程中的严苛要求，例如，pfa材质的花篮能够耐受强酸、强碱和各种有机溶剂，且金属元素空白值低，不会对晶圆造成污染，在晶圆加工过程中，需要使用槽式清洗机对晶圆表面进行清洗，而花篮是槽式清洗机中不可缺少的部件，其可以用来对晶圆工件进行有效的盛放、定位，从而便于对晶圆进行放置和取出。
2、经检索，公告号为cn114256114b的中国专利，公开了一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，包括与输送轨道滑动安装的支架，所述支架的端部下方设置有悬座；该具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮可以便捷地对晶圆进行夹持定位，且可以进行稳定的缓震搬运，避免晶圆之间发生碰撞、损坏，且可以在清洁过程中利用浮力驱动晶圆进行旋转调节，从而实现全面清洗，实用性。
3、然后现有技术在进行使用时仍存在着一定的不足，例如：在对花篮进行抓取时，主要通过电动推杆上下运动，使得夹杆以悬座和夹杆连接处的转动销为圆形做圆周运动，进而使得夹杆与花篮的上沿处相卡接完成对花篮的固定，此种抓取方式在使用时，夹杆与花篮之间的接触面较小，且无法保证夹杆与花篮的上沿处紧密贴合，从而导致花篮容易发生脱落，安全性较差；为此，我们提出一种晶圆清洗花篮抓取装置。
4、而我们结合上述的问题就会发现，目前市场上现有的晶圆清洗花篮抓取装置在使用时夹持效果较差，在进行使用的时候，很难同时去规避上述提出的问题，并且即便是能够解决，也需要通过外部工具配合进行解决，从而无法达到我们所期望的效果，故而，我们提出一种晶圆清洗花篮抓取装置。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种晶圆清洗花篮抓取装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆清洗花篮抓取装置，包括支架和花篮机构，所述花篮机构包括清洗花篮篮体，所述清洗花篮篮体的的侧板上开设有通孔通孔，所述清洗花篮篮体的顶部设置有浮板，所述清洗花篮篮体的内壁中部固定连接有分隔板，所述支架的底部设置有旋转沥水机构，所述旋转沥水机构用于对所述花篮机构进行旋转；
3、所述旋转沥水机构的底部设置有固定机构，所述固定机构包括夹持单元和驱动单元，所述夹持单元和所述驱动单元配合使用，所述固定机构用于对所述花篮机构进行夹持。
4、优选的，所述旋转沥水机构包括连接在所述支架底端的悬座，所述悬座的底部固定连接有旋转电机，所述旋转电机的输出端固定连接有传动杆，所述传动杆的底端固定连接有连接板，所述固定机构设置在所述连接板的底部。
5、优选的，所述悬座的下表面固定连接有多个承重板，所述承重板的底部固定连接有限位块，所述连接板的上表面开设有导向滑槽，所述导向滑槽的内部底端开设有限位环槽，所述承重板活动套接于所述导向滑槽的内部，所述限位块活动套接于所述限位环槽的内部。
6、优选的，所述夹持单元包括u形架，所述u形架的外侧开设有四个移动槽，所述移动槽的内腔设置有移动板，所述移动板的前表面开设有限位槽，所述限位槽的内部滑动套接有限位板，所述限位板的一端与所述移动槽的内壁固定连接，所述移动板的底部固定连接有夹持板。
7、优选的，所述夹持板的数量为四个，四个所述夹持板两两为一组分为两组，两组所述夹持板的相对面均固定连接有卡接板。
8、优选的，所述驱动单元包括驱动块，所述驱动块位于任意相邻两个所述移动板的中部，所述移动板的一侧开设有第二容纳槽，所述驱动块的一侧开设有第一容纳槽，所述第一容纳槽和所述第二容纳槽对应设置，所述第一容纳槽和所述第二容纳槽的内腔均设置有两个调节板，所述驱动块和所述移动板的外侧均固定套接有定位销，所述定位销与所述调节板之间转动连接，所述驱动块的顶部固定连接有气压杆，所述气压杆固定连接于所述连接板的底部。
9、优选的，所述气压杆的伸缩端与所述u形架之间活动套接，所述气压杆的外侧设置有防护套筒，所述防护套筒的顶部与所述连接板的底部固定连接，所述防护套筒的底部与所述u形架的顶部固定连接，所述驱动块和所述u形架之间预留有调节间隙。
10、优选的，所述清洗花篮篮体的内腔设置有限位机构，所述限位机构包括四个弧形定位板，四个所述弧形定位板两两为一组分为两组，所述弧形定位板固定连接于所述清洗花篮篮体的内腔底部，所述弧形定位板的内侧开设有弧形卡接槽。
11、优选的，所述分隔板的两侧均固定连接有u形板，所述u形板的内侧设置有两个弹性板，所述u形板和所述弹性板的内侧均固定连接有多个防水弹簧。
12、优选的，所述弹性板的上表面开设有贯通槽，所述清洗花篮篮体的内部底端开设有排水槽。
13、与现有技术相比，本发明的有益效果是：
14、1、本发明通过设置固定机构，可以在使用时，通过带动向上或者向下运动，可以使得两个移动板相向或者反向运动，从而可以完成对清洗花篮篮体的夹持，同时通过设置卡接板，可以与清洗花篮篮体的上沿处相卡合，以此可以增大固定机构与清洗花篮篮体之间的接触面积同时可以对清洗花篮篮体进行夹持，避免清洗花篮篮体发生掉落。
15、2、本发明通过设置旋转沥水机构，可以在晶圆清洗完成后，通过旋转电机和传动杆带动固定机构进行转动，进而可以使得固定在固定机构内部的晶圆进行转动，在离心力的作用下，可以将晶圆上附着的水珠甩掉，利于晶圆后续处理的快速干燥。
16、3、本发明通过设置弧形定位板上的弧形卡接槽，可以对晶圆进行卡接限位，通过设置u形板、防水弹簧和弹性板，可以在将晶圆上附着的水珠甩掉时，避免晶圆从弧形卡接槽的内部脱离，进一步的增加了晶圆放置的稳定性。
1.一种晶圆清洗花篮抓取装置，包括支架(1)和花篮机构(2)，所述花篮机构(2)包括清洗花篮篮体(201)，所述清洗花篮篮体(201)的侧板上开设有通孔(202)，所述清洗花篮篮体(201)的顶部设置有浮板(203)，所述清洗花篮篮体(201)的内壁中部固定连接有分隔板(204)，其特征在于：所述支架(1)的底部设置有旋转沥水机构(3)，所述旋转沥水机构(3)用于对所述花篮机构(2)进行旋转；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗花篮抓取装置，其特征在于：所述旋转沥水机构(3)包括连接在所述支架(1)底端的悬座(301)，所述悬座(301)的底部固定连接有旋转电机(302)，所述旋转电机(302)的输出端固定连接有传动杆(303)，所述传动杆(303)的底端固定连接有连接板(304)，所述固定机构(4)设置在所述连接板(304)的底部。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗花篮抓取装置，其特征在于：所述悬座(301)的下表面固定连接有多个承重板(305)，所述承重板(305)的底部固定连接有限位块(306)，所述连接板(304)的上表面开设有导向滑槽(308)，所述导向滑槽(308)的内部底端开设有限位环槽(307)，所述承重板(305)活动套接于所述导向滑槽(308)的内部，所述限位块(306)活动套接于所述限位环槽(307)的内部。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗花篮抓取装置，其特征在于：所述夹持单元(41)包括u形架(4101)，所述u形架(4101)的外侧开设有四个移动槽(4102)，所述移动槽(4102)的内腔设置有移动板(4103)，所述移动板(4103)的前表面开设有限位槽(4104)，所述限位槽(4104)的内部滑动套接有限位板(4105)，所述限位板(4105)的一端与所述移动槽(4102)的内壁固定连接，所述移动板(4103)的底部固定连接有夹持板(4106)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗花篮抓取装置，其特征在于：所述夹持板(4106)的数量为四个，四个所述夹持板(4106)两两为一组分为两组，两组所述夹持板(4106)的相对面均固定连接有卡接板(4107)。
6.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗花篮抓取装置，其特征在于：所述驱动单元(42)包括驱动块(4201)，所述驱动块(4201)位于任意相邻两个所述移动板(4103)的中部，所述移动板(4103)的一侧开设有第二容纳槽(4203)，所述驱动块(4201)的一侧开设有第一容纳槽(4202)，所述第一容纳槽(4202)和所述第二容纳槽(4203)对应设置，所述第一容纳槽(4202)和所述第二容纳槽(4203)的内腔均设置有两个调节板(4204)，所述驱动块(4201)和所述移动板(4103)的外侧均固定套接有定位销(4205)，所述定位销(4205)与所述调节板(4204)之间转动连接，所述驱动块(4201)的顶部固定连接有气压杆(4206)，所述气压杆(4206)固定连接于所述连接板(304)的底部。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆清洗花篮抓取装置，其特征在于：所述气压杆(4206)的伸缩端与所述u形架(4101)之间活动套接，所述气压杆(4206)的外侧设置有防护套筒(4207)，所述防护套筒(4207)的顶部与所述连接板(304)的底部固定连接，所述防护套筒(4207)的底部与所述u形架(4101)的顶部固定连接，所述驱动块(4201)和所述u形架(4101)之间预留有调节间隙(4208)。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗花篮抓取装置，其特征在于：所述清洗花篮篮体(201)的内腔设置有限位机构(5)，所述限位机构(5)包括四个弧形定位板(501)，四个所述弧形定位板(501)两两为一组分为两组，所述弧形定位板(501)固定连接于所述清洗花篮篮体(201)的内腔底部，所述弧形定位板(501)的内侧开设有弧形卡接槽(502)。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆清洗花篮抓取装置，其特征在于：所述分隔板(204)的两侧均固定连接有u形板(503)，所述u形板(503)的内侧设置有两个弹性板(505)，所述u形板(503)和所述弹性板(505)的内侧均固定连接有多个防水弹簧(504)。
10.根据权利要求9所述的一种晶圆清洗花篮抓取装置，其特征在于：所述弹性板(505)的上表面开设有贯通槽(506)，所述清洗花篮篮体(201)的内部底端开设有排水槽(507)。
