本发明涉及一种特气的加热方法，特别涉及一种特气加热方法及系统，属于半导体设备。
背景技术：
1、在半导体产业中，气体输送设备gc/bsgs是其中的重要一环。在半导体生产中，如何能满足日益增大的机台生产使用流量是关键，例如大流量供应的气体，以及低蒸发压的特殊气体介质，在日常gc/bsgs供应中，需要对气体源即钢瓶进行加热保温，以提高输送流量，不同的加热方法加热效率不同，目前半导体行业广泛应用的是电阻式加热，即加热毯加热，使用加热毯加热时，由于采用包裹方式进行加热，测温点可能无法完全紧贴钢瓶，并且加热毯本身的温度也可能对测温点产生影响，就会形成加热毯测温点升温快，钢瓶实际温度上升较慢的问题，无法在短时间内有效的对钢瓶内的气体进行控温。
2、而电磁加热提高了加热效率，增大了气体输送设备的供应能力，是一种高效加热方法，相比于传统加热毯加热方法，新型的高效加热方法更快速，测温点也更能反映出气体的真实温度。但温度上升过快导致的温度过冲问题依旧不可忽视。
技术实现思路
1、本发明所要解决的技术问题在于：提供一种特气加热方法及系统，解决了气体加热温度上升过快等的问题。
2、本发明所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现：
3、本发明提供一种特气加热方法，包括如下步骤：
4、步骤s1，配置实时温度为t1，配置设定温度为t2，配置标定温度为bd，配置标定温度bd之间的差值为t3，配置初始加热温度为t4；
5、步骤s2，进行加热；
6、步骤s3，配置t4+t3为目标温度mb；
7、步骤s4，当加热到到目标温度mb后，其为实时温度t1，以当前的所述实时温度t1加上t3为新的目标温度mb，循环进行加热；
8、步骤s5，步骤s4中，每循环加热后进行温度判断；
9、步骤s6，在设定温度t2减去实时温度t1的差值小于或等于t3时，以设定温度t2为目标温度mb，完成加热。
10、作为本发明的一种优选技术方案，实时温度t1的基准包括通过气体介质的压力-温度曲线，得出气体介质压力与温度的对应关系，以此通过压力值计算出对应的气体介质温度，作为实时温度。
11、作为本发明的一种优选技术方案，配置加热器温度为t5，配置加热器限温值为t6，配置加热器返回值为t7，当t5大于或等于t6时，关闭加热器；当t5小于或等于t6-t7时，重启加热器。
12、作为本发明的一种优选技术方案，在需要快速升温加热时，使设定温度t2始终维持在(t6-t7)～t6之间。
13、作为本发明的一种优选技术方案，配置预设时间，在预设时间后，如实时温度t1未增加，则进行告警。
14、作为本发明的一种优选技术方案，标定温度bd配置为多个。。
15、本发明还提供了一种特气加热系统，应用于前述的一种特气加热方法，包括用于传递从加热设备和/或加热器采集到的信息的收发模块，其中，
16、所述收发模块连接有控制模块；
17、所述收发模块包括接收模块和发送模块。
18、本发明的有益效果是：本发明采用阶梯加热方式，由于目标温度和实时温度的差值始终维持在较小水平、且为梯度形式的加热，因此可以防止瞬时功率过大导致的温度过冲问题；加热器升温过高保护功能可以使加热器温度始终保持在合理范围内，既保证加热效率，又不会导致温差过大，影响钢瓶温度；避免了长时不升温报警可以防止钢瓶放置不到位，测温点失效等问题；以钢瓶口气体压力值为基准控制温度可以实现没有温度传感器也能控温的效果，可以用于不方便使用或不能使用温度传感器进行控温的场合；避免了温度上升过快导致的温度过冲问题依旧不可忽视。
1.一种特气加热方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种特气加热方法，其特征在于，实时温度t1的基准包括通过气体介质的压力-温度曲线，得出气体介质压力与温度的对应关系，以此通过压力值计算出对应的气体介质温度，作为实时温度。
3.根据权利要求1所述的一种特气加热方法，其特征在于，配置加热器温度为t5，配置加热器限温值为t6，配置加热器返回值为t7，当t5大于或等于t6时，关闭加热器；当t5小于或等于t6-t7时，重启加热器。
4.根据权利要求3所述的一种特气加热方法，其特征在于，在需要快速升温加热时，使设定温度t2始终维持在(t6-t7)～t6之间。
5.根据权利要求1所述的一种特气加热方法，其特征在于，配置预设时间，在预设时间后，如实时温度t1未增加，则进行告警。
6.根据权利要求1所述的一种特气加热方法，其特征在于，标定温度bd配置为多个。
7.一种特气加热系统，应用于如权利要求1至8中任一项所述的一种特气加热方法，其特征在于，包括用于传递从加热设备(3)和/或加热器(4)采集到的信息的收发模块(2)，其中，
